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一种半导体制造设备的储存/备份装置，包括一壳体、一控制模块、一工作硬盘、一备份硬盘及一显示单元，该控制模块设于该壳体中并连接到一半导体制造设备，该工作硬盘为固态硬盘，该备份硬盘为传统硬盘，且可插设于该壳体中与该控制模块电性连接，该显示单元设...
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