一种智能嗅觉气味阵列传感器及制作方法技术

本发明专利技术公开了一种智能嗅觉气味阵列传感器，其组成包括：芯片，所述的芯片上表面设置有电绝缘层，所述的电绝缘层内设置有加热器和测温器，所述的测温器设置在加热器之间，所述的电绝缘层上表面设置有不同类型的气味传感器膜层，不同类型所述的气味传感器膜层成阵列布置，所述的气味传感器膜层里嵌入不同类型气味传感器，所述的不同类型气味传感器上设置有传感器电极，所述的电绝缘层上表面两侧设置有数个电极引线柱。该传感器以微电子技术为主体，实现多传感器的阵列于同一芯片，用薄膜技术使传感器进入微米级，以纳米技术制造传感器，最大提高表面体积比，使传感器的灵敏度有质量上的超越。

An intelligent olfactory odorant array sensor and its fabrication method

The invention discloses an intelligent odor sensor array, comprises a chip, the chip is arranged on the surface of electrically insulating layer, the insulating layer is arranged in a heater and a temperature measuring device, temperature measuring device arranged on the heater, the electric insulating layer on the surface equipped with different types of film smell sensors, different types of the smell sensors array film into the film layout, smell sensors embedded in the different types of odor sensors, different types of odor sensor is arranged on the sensor electrode, the electrical insulation with a plurality of electrode leads arranged on both sides of the surface layer. The sensor takes microelectronic technology as the main body, realizes the array of multi-sensor on the same chip, uses the thin film technology to enable the sensor to enter the micron level, and makes the sensor with the nanometer technology, improves the surface volume ratio maximun, and makes the sensor's sensitivity surpass the quality.

【技术实现步骤摘要】
一种智能嗅觉气味阵列传感器及制作方法
本专利技术涉及气味传感器
，具体为一种智能嗅觉气味阵列传感器及制作方法。
技术介绍
迄今为止，牵涉气体探测，主要有四种常规技术：1、金属氧化物半导体（MOS）气体传感器，对许多还原气体都敏感，缺点是选择性很差，2、催化燃烧，利用催化剂助燃烧产生热量使传感器电阻变大的原理，缺点是只对可燃性气体响应、灵敏度低。3、电化学传感器对一些重要气体有一定选择性响应，缺点是寿命短，稳定性差。4、光学气体传感器：利用部分气体在红外光区有吸收谱，使用红外光光源发生器，滤波器，和红外探测器制成气体传感器、选择性好，缺点是仪器复杂、本身就相当于一部仪器，造价昂贵。这些常规气体传感器的共同点是制造复杂，基本上是一个个手工单一装配，造成性能低，一致性差，无法实现大批量规模的生产。世上目前用量最大的是半导体MOS结构的传感器，传感器需工作于200℃以上的温度，制造方法是高温燃烧，称为第一代，第二代采用丝绢漏印技术把传感器和加热器都印刷在陶瓷基片上，称为第二代产品。这类气体传感器的灵敏度取决于传感颗粒面积与体积比，颗粒越小，面积与体积比越大，灵敏度越高。就是取决于传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种智能嗅觉气味阵列传感器，其组成包括：芯片（1），其特征是：所述的芯片（1）上表面设置有电绝缘层（3），所述的电绝缘层（3）内设置有加热器（2）和测温器（6），所述的测温器（6）设置在加热器（2）之间，所述的电绝缘层（3）上表面设置有不同类型的气味传感器膜层（5），不同类型所述的气味传感器膜层（5）成阵列布置，所述的气味传感器膜层（5）里嵌入不同类型气味传感器（7），所述的不同类型气味传感器（7）上设置有传感器电极（4），所述的电绝缘层（3）上表面两侧设置有数个电极引线柱（8）。

【技术特征摘要】
1.一种智能嗅觉气味阵列传感器，其组成包括：芯片（1），其特征是：所述的芯片（1）上表面设置有电绝缘层（3），所述的电绝缘层（3）内设置有加热器（2）和测温器（6），所述的测温器（6）设置在加热器（2）之间，所述的电绝缘层（3）上表面设置有不同类型的气味传感器膜层（5），不同类型所述的气味传感器膜层（5）成阵列布置，所述的气味传感器膜层（5）里嵌入不同类型气味传感器（7），所述的不同类型气味传感器（7）上设置有传感器电极（4），所述的电绝缘层（3）上表面两侧设置有数个电极引线柱（8）。2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴青海，吴云翔，张辉，
申请(专利权)人：智能厦门传感器有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35