下载一种智能嗅觉气味阵列传感器及制作方法的技术资料

文档序号:17160777

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本发明公开了一种智能嗅觉气味阵列传感器,其组成包括:芯片,所述的芯片上表面设置有电绝缘层,所述的电绝缘层内设置有加热器和测温器,所述的测温器设置在加热器之间,所述的电绝缘层上表面设置有不同类型的气味传感器膜层,不同类型所述的气味传感器膜层成...
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