【技术实现步骤摘要】
键合丝连铸炉
本技术涉及设备,具体的说是涉及键合丝连铸炉。
技术介绍
键合丝是封装的关键材料之一,它的功能是实现半导体芯片与引脚的电连接,起着芯片与外界的电流导入和导出的作用。现有技术中,键合丝材料在真空炉熔化,再经模具锻压,由于模具的长度限制,键合丝只能制成固定长度,而且生产出的键合丝缺陷较多,其具体缺陷如下:1.产品杂质较多,品质不稳定;2.合金均匀性差;3.产能低;4.产品表面易氧化,结晶效果较差;5.冷凝控制不好,合金排布不均匀;6.在做超细键合丝过程时容易断裂;因此,迫切需要一种键合丝连铸炉设备来解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术中的不足,本技术要解决的技术问题在于提供了键合丝连铸炉,该键合丝连铸炉能够在高真空状态下连铸,不间断铸造键合丝。为解决上述技术问题,本技术通过以下方案来实现:键合丝连铸炉,该连铸炉包括集成线路的馈线柜、安装于馈线柜邻侧的安装架,该安装架设有两层,中间是安装板,所述连铸炉还包括:金属熔料部,所述金属熔料部置于连铸炉的顶部,其设有加热装置、偏心搅拌装置,加热装置用于将金属熔化,偏心搅拌装置还连接有二次加料装置,金属熔化成液态后偏心搅拌装置持续搅拌,液态金属均匀后牵引棒向下运动;冷却部,所述冷却部与金属熔料部下端连接,其包括冷却铜模及设置于冷却铜模内的水冷却循环管路,冷却铜模中部是导引孔,牵引棒沿该导引孔向下运动,冷却铜模和水冷却循环管路对液态金属冷却固化,形成键合丝;真空部,所述真空部与所述金属熔料部、冷却部连通,在抽真空后,真空部、金属熔料部、冷却部连通的腔室全部是真空状态,所述真空部置于冷却部的下端、所述安装板的上表面, ...
【技术保护点】
键合丝连铸炉,该连铸炉包括集成线路的馈线柜(4)、安装于馈线柜(4)邻侧的安装架,该安装架设有两层,中间是安装板,其特征在于,所述连铸炉还包括:金属熔料部(1),所述金属熔料部(1)置于连铸炉的顶部,其设有加热装置、偏心搅拌装置,加热装置用于将金属熔化,偏心搅拌装置还连接有二次加料装置,金属熔化成液态后偏心搅拌装置持续搅拌,液态金属均匀后牵引棒向下运动;冷却部(2),所述冷却部(2)与金属熔料部(1)下端连接,其包括冷却铜模(201)及设置于冷却铜模(201)内的水冷却循环管路(202),冷却铜模(201)中部是导引孔,牵引棒沿该导引孔向下运动,冷却铜模(201)和水冷却循环管路(202)对液态金属冷却固化,形成键合丝;真空部(3),所述真空部(3)与所述金属熔料部(1)、冷却部(2)连通,在抽真空后,真空部(3)、金属熔料部(1)、冷却部(2)连通的腔室全部是真空状态,所述真空部(3)置于冷却部(2)的下端、所述安装板的上表面,其外侧壁设有能够打开的观察窗(301)、与真空泵连接的端口,所述真空部(3)内腔底面中部设有导引装置,导引装置设有导引孔,牵引棒沿该导引孔向下,牵拉固化后的键 ...
【技术特征摘要】
1.键合丝连铸炉,该连铸炉包括集成线路的馈线柜(4)、安装于馈线柜(4)邻侧的安装架,该安装架设有两层,中间是安装板,其特征在于,所述连铸炉还包括:金属熔料部(1),所述金属熔料部(1)置于连铸炉的顶部,其设有加热装置、偏心搅拌装置,加热装置用于将金属熔化,偏心搅拌装置还连接有二次加料装置,金属熔化成液态后偏心搅拌装置持续搅拌,液态金属均匀后牵引棒向下运动;冷却部(2),所述冷却部(2)与金属熔料部(1)下端连接,其包括冷却铜模(201)及设置于冷却铜模(201)内的水冷却循环管路(202),冷却铜模(201)中部是导引孔,牵引棒沿该导引孔向下运动,冷却铜模(201)和水冷却循环管路(202)对液态金属冷却固化,形成键合丝;真空部(3),所述真空部(3)与所述金属熔料部(1)、冷却部(2)连通,在抽真空后,真空部(3)、金属熔料部(1)、冷却部(2)连通的腔室全部是真空状态,所述真空部(3)置于冷却部(2)的下端、所述安装板的上表面,其外侧壁设有能够打开的观察窗(301)、与真空泵连接的端口,所述真空部(3)内腔底面中部设有导引装置,导引装置设有导引孔,牵引棒沿该导引孔向下,牵拉固化后的键合丝向下运动;导向部(6),所述导向部(6)安装于馈线柜(4)的侧部,其包括若干导向机构,导向机构用于夹持引导牵引棒及对键合丝的牵引并导向。2.根据权利要求1所述的键合丝连铸炉,其特征在于:所述金属熔料部(1)包括熔料炉(112)、保温层(111)、保温盖(118)、石英玻璃套管(108)、加热装置、偏心搅拌装置、二次加料装置;所述熔料炉(112)为石墨坩埚,其底面为倒锥面,锥面中心设有下料孔,牵引棒未工作前是将所述下料孔封堵,所述熔料炉(112)置于所述保温层(111)内,其上端盖有保温盖(118),所述保温层(111)外套有石英玻璃套管(108),所述保温层(111)和石英玻璃套管(108)下端都置于所述冷却铜模(201)上端,并在冷却铜模(201)连接处设置密封胶垫,所述石英玻璃套管(108)上端设有套管盖(106),并在其连接处设有密封胶垫,所述保温层(111)、保温盖(118)均为高温棉;所述套管盖(106)的盖体中部通孔处安装有偏心搅拌装置,所述偏心搅拌装置包括电机安装架(103)、电机(116)、驱动杆(104)、搅拌器(105)、双气缸(121),所述套管盖(106)中部通孔边缘设置有带通孔的圆柱,圆柱上端设置电机安装架(103),所述电机安装架(103)水平外延伸一段距离,在电机安装架(103)的外侧端垂直于电机安装架(103)的方向上安装有电机(116),另一侧套于驱动杆(104)上,并在驱动杆(104)的杆体上设置有被动轮,驱动杆(104)下端连接所述搅拌器(105),所述搅拌器(105)包括连接杆和圆盘(1051),所述圆盘(1051)下端设置有偏心轴杆,所述圆盘(1051)及偏心轴杆设于石墨坩埚内腔中;所述电机(116)上设置有主动轮,主动轮通过皮带(117)带动被动轮,所述驱动杆(104)的下端与搅拌器(105)上的连接杆连接,所述连接杆中部为通孔,该通孔与所述石墨坩埚内腔连通,所述驱动杆(104)中部通孔,其通孔与连接杆中部通孔连通;所述搅拌器(105)还连接有双气缸(121),所述双气缸(121)用于下降或上升搅拌器(105);所述驱动杆(104)上端连接所述二次加料装置,所述二次加料装置包括二次加料抽杆(101)、加料料斗仓(102),所述加料料斗仓(102)置于偏心搅拌装置的上端,其下端出料口与驱动杆(104)上端口部连通,所述二次加料抽杆(101)置于加料料斗仓(102)的盖体中部,其杆体下端延伸至加料料斗仓(102)的出料口,在不加料时将出料口封堵;所述石英玻璃套管(108)外侧、石墨坩埚的高度区域内设置有加热装置,所述加热装置包括非金属绕线套筒(109)、电磁线圈(107),所述电磁线圈(107)绕制于非金属绕线套筒(109)外侧壁上。3.根据权利要求2所述的键合丝连铸炉,其特征在于:所述熔料炉(112)底面设有凹圈,在该凹圈内设有温度传感器(110...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈永金,吴应海,鲍胜燕,陈海健,陈伙辉,钟远标,龙满星,
申请(专利权)人:深圳市金鼎丰贵金属设备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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