防掉片PECVD设备的自动上下料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置，通过在每个桨位下方增加硅片防掉装置，减少掉片导致的破片情况，降低工艺异常频率，减少返工比例，方便后续碎片的清理，减少了掉片的数量。

Automatic feeding and unloading device for anti - off PECVD equipment

The utility model relates to the technical field of vacuum coating equipment, especially relates to an automatic anti falling device PECVD on the feeding device, through each oar bottom increase wafer anti dropping device, reduce the situation caused by fragment off chip, reduce the frequency of abnormal process, reduce rework ratio, convenient debris clean-up, reduce the number of off sheet.

【技术实现步骤摘要】
防掉片PECVD设备的自动上下料装置
本技术涉及真空镀膜设备
，尤其涉及一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置。
技术介绍
在硅太阳能电池制造过程中，在进行硅片表面镀膜时，首先将未镀膜的硅片插入石墨舟中，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备(以下简称PECVD设备)腔体中，采用合适的PECVD工艺对硅片进行镀膜。镀膜结束后，从真空镀膜设备腔体中取出石墨舟然后再将经过镀膜的硅片从石墨舟上取下来。目前PECVD真空镀膜设备中，桨下方无防护，当舟内存在片子上片不到位的情况时，上舟过程中的晃动可能导致上片不到位的硅片掉落，造成破片；工艺温度较高，工艺结束出舟时，硅片发生变形后易掉落导致破片。上方炉管掉片有可能掉落至下方正在上舟的石墨舟内，造成破片或者工艺异常(破片卡在两片舟片间)导致的返工片。硅片掉落后，碎片较多，员工需频繁清理。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为了解决现有技术中硅片破片后容易影响设备零部件以及工艺正常进行的技术问题，本技术提供一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置，包括机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)内的一侧从上到下固定设置有多个缓存支架(2)，机架(1)内的另一侧的挡板(5)从上到下设置有多个桨位(3)，每个桨位(3)未工作状态时的正下方固定安装有硅片防掉装置(4)。

【技术特征摘要】
1.一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)内的一侧从上到下固定设置有多个缓存支架(2)，机架(1)内的另一侧的挡板(5)从上到下设置有多个桨位(3)，每个桨位(3)未工作状态时的正下方固定安装有硅片防掉装置(4)。2.如权利要求1所述的防掉片PECVD设备的自动上下料装置，其特征在于：所述硅片防掉装置(4)包括硅片接盘(41)、框架(42)和连接板(43)，硅片接盘(41)的上端和框架(42)固定连接，连接板(43)的一端和框架(42)固...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄之屹，孙铁囤，姚伟忠，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32