防掉片PECVD设备的自动上下料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置，通过在每个桨位下方增加硅片防掉装置，减少掉片导致的破片情况，降低工艺异常频率，减少返工比例，方便后续碎片的清理，减少了掉片的数量。

Automatic feeding and unloading device for anti - off PECVD equipment

The utility model relates to the technical field of vacuum coating equipment, especially relates to an automatic anti falling device PECVD on the feeding device, through each oar bottom increase wafer anti dropping device, reduce the situation caused by fragment off chip, reduce the frequency of abnormal process, reduce rework ratio, convenient debris clean-up, reduce the number of off sheet.

【技术实现步骤摘要】
防掉片PECVD设备的自动上下料装置
本技术涉及真空镀膜设备
，尤其涉及一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置。
技术介绍
在硅太阳能电池制造过程中，在进行硅片表面镀膜时，首先将未镀膜的硅片插入石墨舟中，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备(以下简称PECVD设备)腔体中，采用合适的PECVD工艺对硅片进行镀膜。镀膜结束后，从真空镀膜设备腔体中取出石墨舟然后再将经过镀膜的硅片从石墨舟上取下来。目前PECVD真空镀膜设备中，桨下方无防护，当舟内存在片子上片不到位的情况时，上舟过程中的晃动可能导致上片不到位的硅片掉落，造成破片；工艺温度较高，工艺结束出舟时，硅片发生变形后易掉落导致破片。上方炉管掉片有可能掉落至下方正在上舟的石墨舟内，造成破片或者工艺异常(破片卡在两片舟片间)导致的返工片。硅片掉落后，碎片较多，员工需频繁清理。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为了解决现有技术中硅片破片后容易影响设备零部件以及工艺正常进行的技术问题，本技术提供一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置，包括机架，机架内的一侧从上到下固定设置有多个缓存支架，机架内的另一侧的挡板从上到下设置有多个桨位，每个桨位未工作状态时的正下方固定安装有硅片防掉装置。本技术设备主要是在桨的下方增加一硅片防掉装置，减少上下舟时的掉片情况。进一步，具体地，所述硅片防掉装置包括硅片接盘、框架和连接板，硅片接盘的上端和框架固定连接，连接板的一端和框架固定连接，连接板的另一端和挡板固定连接，硅片接盘位于对应桨位的正下方。由于上下料装置内温度较高，防止碎片弹出，所述硅片接盘采用耐火纤维，框架的下端面上设置有多个挂钩，所述耐火纤维通过挂钩可拆卸的安装在框架的下端面上。通过挂钩连接，可以便于清理硅片接盘的碎片，重复使用。为了能够承载一定量的掉落的硅片，所述硅片接盘的上表面具有多个弧形凹槽，每个弧形凹槽之间为挂钩的连接处。本技术的有益效果是，本技术的防掉片PECVD设备的自动上下料装置，通过在每个桨位下方增加硅片防掉装置，减少掉片导致的破片情况，降低工艺异常频率，减少返工比例，方便后续碎片的清理，减少了掉片的数量。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术防掉片PECVD设备的自动上下料装置最优实施例的结构示意图。图2是图1中硅片防掉装置的放大结构示意图。图3是图2的俯视图。图中：1、机架，2、缓存支架，3、桨位，4、硅片防掉装置，41、硅片接盘，411、弧形凹槽，42、框架，43、连接板，44、挂钩，5、挡板。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。如图1-3所示，是本技术最优实施例，一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置，包括机架1，机架1内的一侧从上到下固定设置有多个缓存支架2，机架1内的另一侧的挡板5从上到下设置有多个桨位3，每个桨位3未工作状态时的正下方固定安装有硅片防掉装置4。硅片防掉装置4包括硅片接盘41、框架42和连接板43，硅片接盘41的上端和框架42固定连接，连接板43的一端和框架42固定连接，连接板43的另一端和挡板5通过螺栓固定连接，硅片接盘41位于对应桨位3的正下方。硅片接盘41采用耐火纤维，框架42的下端面上设置有多个挂钩44，耐火纤维通过挂钩44可拆卸的安装在框架42的下端面上。硅片接盘41的上表面具有多个弧形凹槽411，每个弧形凹槽411之间为挂钩的连接处。工作原理：防掉片PECVD设备的自动上下料装置在工作时，硅片放置在桨位3上，通过桨位3将硅片送入加热装置内，桨位3工作时的运动状态，会导致硅片掉落，正好在舟口外设置了硅片防掉装置4，硅片防掉装置4能够接住每个桨位3掉下的硅片，防止掉下的硅片破坏下面桨位3上的硅片。硅片接盘41可以定期取下清理和维护。清理出来的硅片如果没有破，还可以继续利用。以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)内的一侧从上到下固定设置有多个缓存支架(2)，机架(1)内的另一侧的挡板(5)从上到下设置有多个桨位(3)，每个桨位(3)未工作状态时的正下方固定安装有硅片防掉装置(4)。

【技术特征摘要】
1.一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)内的一侧从上到下固定设置有多个缓存支架(2)，机架(1)内的另一侧的挡板(5)从上到下设置有多个桨位(3)，每个桨位(3)未工作状态时的正下方固定安装有硅片防掉装置(4)。2.如权利要求1所述的防掉片PECVD设备的自动上下料装置，其特征在于：所述硅片防掉装置(4)包括硅片接盘(41)、框架(42)和连接板(43)，硅片接盘(41)的上端和框架(42)固定连接，连接板(43)的一端和框架(42)固...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄之屹，孙铁囤，姚伟忠，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32