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本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种防掉片PECVD设备的自动上下料装置，通过在每个桨位下方增加硅片防掉装置，减少掉片导致的破片情况，降低工艺异常频率，减少返工比例，方便后续碎片的清理，减少了掉片的数量。...
该专利属于常州亿晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。

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