真空镀膜机真空泵的保养维护装置制造方法及图纸

真空镀膜机真空泵的保养维护装置，包括一个机体(1)，在机体(1)上设置温度感应模块(2)、间隙感应模块(3)、传输模块(4)、管理模块(5)，温度感应模块(2)感应真空镀膜机电机的温度以及被抽气体的温度情况，间隙感应模块(3)感应旋片与定子之间的间隙大小，感应到的信息通过传输模块(4)传输至管理模块(5)进行处理；在机体(1)上设置运作感应模块(6)，感应真空镀膜机真空泵有无冒烟或漏油现象；能够防止真空镀膜机真空泵出现冒烟和漏油现象，保证真空泵的真空度，更加有效的保障了真空镀膜机的正常运行。

Maintenance and maintenance device for vacuum pump of vacuum coating machine

Vacuum coating machine vacuum pump maintenance device, comprising a body (1), the body (1) is arranged on a temperature sensing module (2), (3) the gap sensor module and transmission module (4), (5) management module, temperature sensor module (2) temperature of induction motor vacuum coating machine the temperature and by pumping the gas sensing module (3), clearance clearance between vane and stator induction, induction to the information through the transmission module (4) transmitted to the management module (5) for processing; in the body (1) is arranged on the operation of induction module (6), induction vacuum pump vacuum coating machine there is no smoke or oil leakage; can prevent the vacuum coating machine vacuum pump appeared smoke and oil leakage, ensure the vacuum degree of the vacuum pump, more effectively protect the normal operation of the vacuum coating machine.

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机真空泵的保养维护装置
本专利技术涉及一种真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，而真空泵是真空镀膜机中最重要的零部件，但真空泵常常会出现一些故障导致镀膜设备没法正常工作，存在一定的不足之处。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于提供一种真空镀膜机真空泵的保养维护装置。本专利技术是这样实现的。真空镀膜机真空泵的保养维护装置，包括一个机体，在机体上设置温度感应模块、间隙感应模块、传输模块、管理模块，温度感应模块感应真空镀膜机电机的温度以及被抽气体的温度情况，间隙感应模块感应旋片与定子之间的间隙大小，感应到的信息通过传输模块传输至管理模块进行处理。真空镀膜机真空泵的保养维护装置，在机体上设置运作感应模块，感应真空镀膜机真空泵有无冒烟或漏油现象。真空镀膜机真空泵的保养维护装置，设置提示模块，当真空镀膜机电机温度过高或运作异常时发出提示信息。真空镀膜机真空泵的保养维护装置，提示信息的方式为声音或LED灯光显示。真空镀膜机真空泵的保养维护装置，在机体上设置油量感应模块，感应真空镀膜机泵腔内的油量情况。上述真空镀膜机真空泵的保养维护装置，能够防止真空镀膜机真空泵出现冒烟和漏油现象，保证真空泵的真空度，更加有效的保障了真空镀膜机的正常运行。附图说明附图为一种真空镀膜机真空泵的保养维护装置的结构示意图。图中标号分别为：1-机体、2-温度感应模块、3-间隙感应模块、4-传输模块、5-管理模块、6-运作感应模块、7-提示模块、8-油量感应模块。具体实施方式实施例：如附图所示。真空镀膜机真空泵的保养维护装置，包括一个机体(1)，在机体(1)上设置温度感应模块(2)、间隙感应模块(3)、传输模块(4)、管理模块(5)，温度感应模块(2)感应真空镀膜机电机的温度以及被抽气体的温度情况，间隙感应模块(3)感应旋片与定子之间的间隙大小，感应到的信息通过传输模块(4)传输至管理模块(5)进行处理。真空镀膜机真空泵的保养维护装置，在机体(1)上设置运作感应模块(6)，感应真空镀膜机真空泵有无冒烟或漏油现象。真空镀膜机真空泵的保养维护装置，设置提示模块(7)，当真空镀膜机电机温度过高或运作异常时发出提示信息。真空镀膜机真空泵的保养维护装置，提示信息的方式为声音或LED灯光显示。真空镀膜机真空泵的保养维护装置，在机体(1)上设置油量感应模块(8)，感应真空镀膜机泵腔内的油量情况。上述真空镀膜机真空泵的保养维护装置，能够防止真空镀膜机真空泵出现冒烟和漏油现象，保证真空泵的真空度，更加有效的保障了真空镀膜机的正常运行。本文档来自技高网...

【技术保护点】
真空镀膜机真空泵的保养维护装置，其特征在于包括一个机体(1)，在机体(1)上设置温度感应模块(2)、间隙感应模块(3)、传输模块(4)、管理模块(5)，温度感应模块(2)感应真空镀膜机电机的温度以及被抽气体的温度情况，间隙感应模块(3)感应旋片与定子之间的间隙大小，感应到的信息通过传输模块(4)传输至管理模块(5)进行处理。

【技术特征摘要】
1.真空镀膜机真空泵的保养维护装置，其特征在于包括一个机体(1)，在机体(1)上设置温度感应模块(2)、间隙感应模块(3)、传输模块(4)、管理模块(5)，温度感应模块(2)感应真空镀膜机电机的温度以及被抽气体的温度情况，间隙感应模块(3)感应旋片与定子之间的间隙大小，感应到的信息通过传输模块(4)传输至管理模块(5)进行处理。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机真空泵的保养维护装置，其特征在于在机体(1)上设置运作感应模...

【专利技术属性】
技术研发人员：章少英，
申请(专利权)人：新昌县澄潭镇博纳机械厂，
类型：发明
国别省市：浙江,33