The invention discloses a regeneration method for the inner panel of a dry engraving machine. The regeneration method is to make the inner wall plate after sandblasting, anodizing, coating and plasma spraying yttrium oxide coating, and then after ultrasonic cleaning and drying, the inner wall plate for coating regeneration is obtained. The invention improves the service life and the work performance of the ceramic wall panel by dry etching process, and has higher hardness, higher wear resistance, heat resistance, corrosion resistance and better insulation performance.
【技术实现步骤摘要】
一种干刻机台内壁板再生方法
本专利技术属于镀膜再生
,具体涉及一种干刻机台内壁板再生方法。
技术介绍
目前国内平板显示行业和半导体行业蓬勃发展,但是给平板显示行业和半导体行业提供相配套的核心电子零部件制造的企业很少,尤其是国内本土行业更是少之又少,平板显示行业和半导体行业一直面对国外厂商的竞争,尤其是价格的竞争,所以各厂商急需寻找到服务能力强且价格又有竞争力的供应商。当前少有的几家供应商都是日资、韩资、台资企业,而没有国产化的中资公司。液晶面板行业的零部件清洗再生主要在国外完成,国内与之相配套的清洗再生产能仅有一家,且只能配套部件尺寸较小的半导体行业,完全无法满足日益增长的国内需求。半导体及液晶显示屏等制造工序中使用到干法刻蚀工艺,干刻机台的内壁板在工作期间处于高温高真空环境中,并且历经等离子体溅射,气氛的腐蚀和侵害。内壁板是由铝合金材料制成,为了提高其使用寿命和满足工作性能,以往通过铝阳极氧化,形成几个到几百微米的氧化铝薄膜,使其绝缘性、耐蚀性、耐磨性和耐环境腐蚀性能等得提高和改善。但是Al的阳极氧化效果并不理想,产生膜厚不均匀多孔性膜氧化铝膜,氧化铝膜的性能并不能满足当前液晶面板和半导体产品生产的环境苛刻的要求。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本专利技术提供一种干刻机台内壁板再生方法,目的是提高干刻机台内壁板的使用寿命和工作性能。为了实现上述目的,本专利技术采取的技术方案为:一种干刻机台内壁板再生方法,所述再生方法是将内壁板依次经喷砂、阳极氧化镀膜和等离子喷涂氧化钇镀膜后,再经过超声清洗、烘干后得到镀膜再生的 ...
【技术保护点】
一种干刻机台内壁板再生方法,其特征在于,所述再生方法是将内壁板依次经喷砂、阳极氧化镀膜和等离子喷涂氧化钇镀膜后,再经过超声清洗、烘干后得到镀膜再生的内壁板。
【技术特征摘要】
1.一种干刻机台内壁板再生方法,其特征在于,所述再生方法是将内壁板依次经喷砂、阳极氧化镀膜和等离子喷涂氧化钇镀膜后,再经过超声清洗、烘干后得到镀膜再生的内壁板。2.根据权利要求1所述干刻机台内壁板再生方法,其特征在于,所述再生方法还包括在喷砂之前对内壁板依次进行酸洗、水洗和干燥的步骤。3.根据权利要求2所述干刻机台内壁板再生方法,其特征在于,所述酸洗的时间为8~12s。4.根据权利要求1所述干刻机台内壁板再生方法,其特征在于,所述喷砂的压力为0.1~0.2Mpa,喷砂高度为一米。5.根据权利要求1所述干刻机台内壁板再生方法,其特征在于,所述阳极氧化镀膜是对内壁板工件镀40~55μm厚...
【专利技术属性】
技术研发人员:王慧,赵浩,黄艳芳,
申请(专利权)人:芜湖通潮精密机械股份有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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