一种显示屏用酸性蚀刻液制造技术

本发明专利技术公开了一种显示屏用酸性蚀刻液，其是由如下重量百分比的原料组成：硝酸23‑25％、氢氟酸30‑50％、磷酸盐5‑14％、醋酸5‑25％、含氟化合物0.01‑3％、三氯化铁1.2‑1.8％、氟化铵8.5‑9.4％、表面活性剂8‑12％、添加剂5‑8％和去离子水。本发明专利技术在蚀刻液中加入含氟化合物和合适的添加剂，不引入任何金属离子和阴离子，蚀刻后的氧化层表面无残留，且能赋予蚀刻液较低的表面张力，增大蚀刻液渗透性；表面活性剂具有高表面活性疏水疏油的性质，与等量的其他表面活性剂相比，能极大的降低溶液的表面张力，因此其用量少，生产成本较低。

An acid etching solution for a display screen

The invention discloses a display screen with acidic etching solution, which is composed of the following raw materials in percentage by weight: 25%, 23 nitric acid 30 50%, 14%, 5 phosphate 5 acetic acid, 25% fluorine compound 0.01 3%, 1.8%, 1.2 ferric ammonium fluoride 8.5 9.4% surfactant 8 12%, 5 and 8% additive deionized water. The present invention adds fluorine compound and suitable additives in the etching solution, without introducing any metal ions and anions, no residual oxide layer on the surface after etching, the surface tension and gives the etching liquid low, increasing etching liquid permeability; surfactant has the properties of high surface activity of hydrophobic and oleophobic, compared with other surfactants equivalent, can reduce the surface tension of the solution greatly, so the less amount, low production cost.

【技术实现步骤摘要】
一种显示屏用酸性蚀刻液
本专利技术涉及蚀刻液
，具体涉及一种显示屏用酸性蚀刻液。
技术介绍
平板显示装置中，在基板上形成金属配线的过程通常包括以下工序：溅射形成金属膜；在金属膜上涂覆、曝光、显影光致抗蚀剂，从而在选择性区域形成光致抗蚀剂；及对金属膜进行蚀刻。另外，还包括个别单位工序前后的洗净工序等。这种蚀刻工序是指将光致抗蚀剂用作掩膜，以在选择性区域残留金属膜的工序。通常采用的蚀刻工序为使用等离子等的干式蚀刻、或使用蚀刻液的湿式蚀刻。
技术实现思路
本专利技术旨在提供了一种显示屏用酸性蚀刻液。本专利技术提供如下技术方案：一种显示屏用酸性蚀刻液，其是由如下重量百分比的原料组成：硝酸23-25％、氢氟酸30-50％、磷酸盐5-14％、醋酸5-25％、含氟化合物0.01-3％、三氯化铁1.2-1.8％、氟化铵8.5-9.4％、表面活性剂8-12％、添加剂5-8％和去离子水。所述含氟化合物为选自由氟化铵、氟化钠、氟化磷酸、氟化氢铵、二氟氢化钠及二氟化磷酸所组成的组中的一种或两种以上。所述磷酸盐为选自由磷酸氢二铵及磷酸二氢钾所组成的组中的一种或两种以上。所述添加剂为聚乙二醇单全氟壬烯基醚、全氟己基磺酸聚甘油酯、辛胺、聚甘油全氟壬烯基醚、聚乙二醇全氟壬烯基甲基醚、全氟己基磺酸聚乙二醇酯中的一种或几种。所述表面活性剂为N-烷基葡糖酰胺、聚异丁烯/马来酸酐衍生物、N-芳氧基多羟基-脂肪酸酰胺中的一种或几种混合物。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术在蚀刻液中加入含氟化合物和合适的添加剂，不引入任何金属离子和阴离子，蚀刻后的氧化层表面无残留，且能赋予蚀刻液较低的表面张力，增大蚀刻液渗透性；表面活性剂具有高表面活性疏水疏油的性质，与等量的其他表面活性剂相比，能极大的降低溶液的表面张力，因此其用量少，生产成本较低。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例1一种显示屏用酸性蚀刻液，其是由如下重量百分比的原料组成：硝酸23％、氢氟酸30％、磷酸盐5％、醋酸5％、含氟化合物0.01％、三氯化铁1.2％、氟化铵8.5％、表面活性剂8％、添加剂5％和去离子水。所述含氟化合物为选自由氟化铵、氟化钠、氟化磷酸、氟化氢铵、二氟氢化钠及二氟化磷酸所组成的组中的一种或两种以上。所述磷酸盐为选自由磷酸氢二铵及磷酸二氢钾所组成的组中的一种或两种以上。所述添加剂为聚乙二醇单全氟壬烯基醚、全氟己基磺酸聚甘油酯、辛胺、聚甘油全氟壬烯基醚、聚乙二醇全氟壬烯基甲基醚、全氟己基磺酸聚乙二醇酯中的一种或几种。所述表面活性剂为N-烷基葡糖酰胺、聚异丁烯/马来酸酐衍生物、N-芳氧基多羟基-脂肪酸酰胺中的一种或几种混合物。实施例2一种显示屏用酸性蚀刻液，其是由如下重量百分比的原料组成：硝酸25％、氢氟酸50％、磷酸盐14％、醋酸25％、含氟化合物3％、三氯化铁1.8％、氟化铵9.4％、表面活性剂12％、添加剂8％和去离子水。所述含氟化合物为选自由氟化铵、氟化钠、氟化磷酸、氟化氢铵、二氟氢化钠及二氟化磷酸所组成的组中的一种或两种以上。所述磷酸盐为选自由磷酸氢二铵及磷酸二氢钾所组成的组中的一种或两种以上。所述添加剂为聚乙二醇单全氟壬烯基醚、全氟己基磺酸聚甘油酯、辛胺、聚甘油全氟壬烯基醚、聚乙二醇全氟壬烯基甲基醚、全氟己基磺酸聚乙二醇酯中的一种或几种。所述表面活性剂为N-烷基葡糖酰胺、聚异丁烯/马来酸酐衍生物、N-芳氧基多羟基-脂肪酸酰胺中的一种或几种混合物。实施例3一种显示屏用酸性蚀刻液，其是由如下重量百分比的原料组成：硝酸24％、氢氟酸40％、磷酸盐11％、醋酸15％、含氟化合物1.4％、三氯化铁1.5％、氟化铵8.6％、表面活性剂10％、添加剂7％和去离子水。所述含氟化合物为选自由氟化铵、氟化钠、氟化磷酸、氟化氢铵、二氟氢化钠及二氟化磷酸所组成的组中的一种或两种以上。所述磷酸盐为选自由磷酸氢二铵及磷酸二氢钾所组成的组中的一种或两种以上。所述添加剂为聚乙二醇单全氟壬烯基醚、全氟己基磺酸聚甘油酯、辛胺、聚甘油全氟壬烯基醚、聚乙二醇全氟壬烯基甲基醚、全氟己基磺酸聚乙二醇酯中的一种或几种。所述表面活性剂为N-烷基葡糖酰胺、聚异丁烯/马来酸酐衍生物、N-芳氧基多羟基-脂肪酸酰胺中的一种或几种混合物。对于本领域技术人员而言，显然本专利技术不限于所述示范性实施例的细节，而且在不背离本专利技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本专利技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本专利技术的范围由所附权利要求而不是所述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本专利技术内。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于，其是由如下重量百分比的原料组成：硝酸23‑25％、氢氟酸30‑50％、磷酸盐5‑14％、醋酸5‑25％、含氟化合物0.01‑3％、三氯化铁1.2‑1.8％、氟化铵8.5‑9.4％、表面活性剂8‑12％、添加剂5‑8％和去离子水。

【技术特征摘要】
1.一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于，其是由如下重量百分比的原料组成：硝酸23-25％、氢氟酸30-50％、磷酸盐5-14％、醋酸5-25％、含氟化合物0.01-3％、三氯化铁1.2-1.8％、氟化铵8.5-9.4％、表面活性剂8-12％、添加剂5-8％和去离子水。2.根据权利要求1所述的一种显示屏用酸性蚀刻液，其特征在于：所述含氟化合物为选自由氟化铵、氟化钠、氟化磷酸、氟化氢铵、二氟氢化钠及二氟化磷酸所组成的组中的一种或两种以上。3.根据权利要求1所述的所述一种显示...

【专利技术属性】
技术研发人员：白航空，
申请(专利权)人：合肥惠科金扬科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34