The invention discloses a clamping device for semiconductor cleaning device, which solves the technical problem: for the existing technology mentioned in the background technology, there is not only the problem of low efficiency of semiconductor parts cleaning, but also the technical problem of high scrap rate of parts. The technical scheme adopted is a clamping device for semiconductor cleaning device, which includes a frame, two slide rails, two connecting rods, a plurality of clamping parts and an adjusting locking mechanism. Advantages: the clamping device of the semiconductor cleaning device is removable, and can be damaged or contaminated to replace its accessories and save cost. The frame is designed by hollowing, so that parts cleaning is not affected.
【技术实现步骤摘要】
一种半导体清洗装置用夹持装置
本专利技术涉及一种半导体清洗装置用夹持装置。
技术介绍
在半导体反应腔的预防性维护中,石英和硅刻蚀工艺中使用的组件需要进行超声波清洗。目前半导体工厂中使用的晶圆尺寸多为300mm直径,故工艺组件零件大多为圆环形结构,如插入环、对光环、边缘环等,其内径为(300+x)mm,外径为(300+x+y)mm,其中,x、y的值根据不同厂商机型设计略有差距。为了防止组件零件损坏,这些组件零件不能堆叠放置。在清洗过程中,这些零件只能平放在超声波清洗槽中,而清洗槽容积有限,一次最多只能清洗2到4件零件;即使一层仅放置两件零件2,也可能发生互相刮蹭问题而导致零件报废。现有技术中不仅存在半导体零件清洗效率较低的问题,浪费了大量时间和空间,还存在零件报废率较高的问题,导致半导体企业生产成本提高。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是:针对
技术介绍
中提及的现有技术中不仅存在半导体零件清洗效率较低的问题,还存在零件报废率较高的技术问题。本专利技术的设计思想是,提供一种新型半导体零件清洗承载装置,以充分利用清洗槽空间,并不对零件产生破坏。为解决上述技术问题,本专利技术采用的技术方案是:一种半导体清洗装置用夹持装置,包括由四个带有通槽的板围成的四边形框架,在框架的两个相对的宽度边顶部均设置截面呈“H”型的滑轨,在两个滑轨之间跨设两根连杆,两根连杆的两端均通过滑槽滑动设置在滑轨上;在两根连杆上均间隔设置数量相等的多个夹紧件,并且两根连杆上的夹紧件一一对应设置;夹紧件包括水平设置在连杆上的夹紧基座,在夹紧基座的内端面上外凸设置悬臂,在悬臂上转动设置夹紧滚轮 ...
【技术保护点】
一种半导体清洗装置用夹持装置,其特征在于,包括由四个带有通槽的板围成的四边形框架(1),在框架(1)的两个相对的宽度边顶部均设置截面呈“H”型的滑轨(2),在两个滑轨(2)之间跨设两根连杆(3),两根连杆(3)的两端均通过滑槽(6)滑动设置在滑轨(2)上;在两根连杆(3)上均间隔设置数量相等的多个夹紧件(4),并且两根连杆(3)上的夹紧件(4)一一对应设置;夹紧件(4)包括水平设置在连杆(3)上的夹紧基座(4‑1),在夹紧基座(4‑1)的内端面上外凸设置悬臂(4‑2),在悬臂(4‑2)上转动设置夹紧滚轮(4‑3),在夹紧滚轮(4‑3)的外周设置有容置清洗件边缘的凹槽(4‑4);在两根连杆(3)之间设置至少一组用于锁紧两根连杆(3)之间相对位置的调节锁紧机构(5);锁紧机构(5)包括两个拉簧(5‑1)、一根带有“T”型滑道的滑板(5‑2)、一个带有“T”型滑槽的滑槽板(5‑3)和两个安装支腿(5‑4),两个安装支腿(5‑4)分别安装在两根连杆(3)的背面且两个安装支腿(5‑4)均一一对应垂直于两根连杆(3)安装,两个拉簧(5‑1)一端均一一对应连接两个安装支腿(5‑4),两个拉簧(5‑1 ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗装置用夹持装置,其特征在于,包括由四个带有通槽的板围成的四边形框架(1),在框架(1)的两个相对的宽度边顶部均设置截面呈“H”型的滑轨(2),在两个滑轨(2)之间跨设两根连杆(3),两根连杆(3)的两端均通过滑槽(6)滑动设置在滑轨(2)上;在两根连杆(3)上均间隔设置数量相等的多个夹紧件(4),并且两根连杆(3)上的夹紧件(4)一一对应设置;夹紧件(4)包括水平设置在连杆(3)上的夹紧基座(4-1),在夹紧基座(4-1)的内端面上外凸设置悬臂(4-2),在悬臂(4-2)上转动设置夹紧滚轮(4-3),在夹紧滚轮(4-3)的外周设置有容置清洗件边缘的凹槽(4-4);在两根连杆(3)之间设置至少一组用于锁紧两根连杆(3)之间相对位置的调节锁紧机构(5);锁紧机构(5)包括两个拉簧(5-1)、一根带有“T”型滑道的滑板(5-2)、一个带有“T”型滑槽的滑槽板(5-3)和两个安装支腿(5...
【专利技术属性】
技术研发人员:张跃宏,
申请(专利权)人:镇江佳鑫精工设备有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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