热处理装置用的腔室及热处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供热处理装置用的腔室及热处理装置，对于热处理装置用的腔室，即使是大型的，也能够进一步减少制作所花费的劳力和时间。热处理装置(1)的腔室(4)具有：筒状的侧壁(12)，其用于包围被处理物；以及端壁(13)，其封闭侧壁(12)的一方的开口部(12b)。腔室(4)是将以氧化硅为主要成分的多个部件(侧壁(12)、端壁(13)、柱状连结部件(14)、梁状连结部件(15))机械结合起来而形成的。

Chamber and heat treatment device for heat treatment device

The invention provides a chamber and heat treatment device for the heat treatment device. For the chamber of the heat treatment device, even large, it can further reduce the labor and time spent in manufacturing. The chamber (4) of the heat treatment device (1) has a cylindrical sidewall (12), which is used to encircled the treated object, and the opening part (12b) of the side wall (12) of the end wall (13). The chamber (4) is formed by mechanical combination of multiple components (silicon dioxide as the main component) (side wall (12), end wall (13), columnar connection part (14) and beam connection component (15)).

【技术实现步骤摘要】
热处理装置用的腔室及热处理装置本申请是申请号为201410356050.3、申请日为2014年7月24日、专利技术名称为“热处理装置用的腔室及热处理装置”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及用于在被加热的环境下对被处理物进行处理的热处理装置的腔室、以及热处理装置。
技术介绍
公知有用于对玻璃基板等处理基板进行热处理的热处理装置(例如，参照专利文献1)。作为热处理装置的一个例子，专利文献1中记载的热处理装置具有热处理容器。该热处理容器是石英管。在先技术文献专利文献1：日本特开2010－177653号公报(0017段)近年来，随着处理基板的大型化，石英管的尺寸也有大型化的倾向。其中，由于强度方面的理由等，难以用金属制的管来代替石英管。因此，谋求更大尺寸的石英管。然而，制作大型的石英管难易程度高。具体来说，上述的石英管是单独一个部件。因此，例如在制作石英管时，会产生这样的作业：分别制作石英管的侧壁和端壁，然后，将这些大型的侧壁和端壁焊接起来。这样的焊接作业是花费劳力和时间的。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述情况，其目的在于，对于热处理装置用的腔室，即使是大型的，也能够进一步减少制作所花费的劳力和时间。(1)为了解决上述课题，该专利技术的某个方面的热处理装置用的腔室的特征在于，其具备：筒状的侧壁，其用于包围被处理物；以及端壁，其封闭所述侧壁的一方的开口部，所述腔室是将以氧化硅为主要成分的多个部件机械结合起来而形成的。另外，上述的“机械结合”是指，将多个部件在维持彼此为单个部件的(能够分离的)状态的状态下，相互结合起来。根据该结构，腔室由以氧化硅为主要成分的部件形成。由此，腔室的强度和耐热性优异，能够充分地承受在高温环境下的使用。并且，腔室是将多个部件机械结合起来而形成的。根据该结构，在制作腔室时，能够尽可能减少焊接多个部件这样的花费劳力和时间的作业。因此，能够不受腔室的尺寸的限制，进一步减少腔室的制作所花费的劳力和时间。依照上述内容，根据本专利技术，对于热处理装置用的腔室，即使是大型的，也能够进一步减少制作所花费的劳力和时间。(2)优选的是，所述多个部件的材质包括玻璃、石英和陶瓷中的至少一种。根据该结构，能够比较容易地实现强度和耐热性优异的腔室。(3)优选的是，所述多个部件包括多个平板状部件和多个第1连结部件，多个所述平板状部件以整体上构成筒形的方式排列，所述第1连结部件将邻接的所述平板状部件彼此连结起来。根据该结构，通过组合多个平板状部件，能够实现筒状的侧壁。并且，多个平板状部件例如能够以重叠的状态进行输送。因此，能够容易地进行平板状部件的输送作业、即侧壁的输送作业。并且，通过组合平面形状的平板状部件，能够形成立体形状的侧壁。由此，能够进一步减少侧壁的制造所花费的劳力和时间。(4)更优选的是，所述多个部件包括梁状的第2连结部件，所述第2连结部件以将多个所述平板状部件彼此连结起来的方式架设于多个所述平板状部件。根据该结构，多个平板状部件利用梁部件而相互结合。由此，能够防止侧壁的平板状部件倾倒。(5)优选的是，所述端壁形成为平板状，并被载置于所述侧壁的一端。根据该结构，通过在侧壁的一端载置平板状的端壁这样的简易的作业就能够实现利用端壁覆盖侧壁的一端的结构。(6)为了解决上述课题，该专利技术的某个方面的热处理装置具备：上述的热处理装置用的腔室；以及气压调整机构，其用于使所述腔室内的空间的气压比所述腔室外的空间的气压高。根据该结构，腔室由以氧化硅为主要成分的部件形成。由此，腔室的强度和耐热性优异，能够充分地承受在高温环境下的使用。并且，腔室是将多个部件机械结合起来而形成的。根据该结构，在制作腔室时，能够尽可能减少焊接多个部件这样的花费劳力和时间的作业。因此，能够不受腔室的尺寸的限制，进一步减少腔室的制作所花费的劳力和时间。依照上述内容，根据本专利技术，对于热处理装置用的腔室，即使是大型的，也能够进一步减少制作所花费的劳力和时间。并且，气压调整机构以使腔室内的空间的气压比腔室外的空间的气压高的方式进行动作。由此，能够抑制在腔室的外部存在的异物(颗粒)侵入到腔室内的空间。因此，即使在组装式的腔室的侧壁和端壁之间等产生间隙，也能够抑制腔室的外部的异物侵入到腔室内的空间。因此，能够抑制上述异物附着于被处理物的情况。由此，根据本专利技术的热处理措施，与腔室形成为单独一个部件的情况同样地，能够抑制因异物附着到被处理物造成的、被处理物产生不良的情况。专利技术效果根据本专利技术，对于热处理装置用的腔室，即使是大型的，也能够进一步减少制作所花费的劳力和时间。附图说明图1是本专利技术的实施方式的热处理装置的剖视图。图2是热处理装置的腔室的立体图。图3是腔室的分解立体图。图4是腔室的剖视图，并示出从上方观察腔室的状态。图5是图3的主要部分的放大图。图6是变形例的主要部分的剖视图。标号说明1：热处理装置；4：腔室；9：气体供给装置(气压调整机构)；12：侧壁(多个部件)；13：端壁(多个部件)；14：第1连结部件(多个部件)；15：第2连结部件(多个部件)；16：平板状部件；100：被处理物。具体实施方式下面，参照附图对用于实施本专利技术的方式进行说明。另外，本专利技术能够广泛适用于对被处理物进行热处理的热处理装置。图1是本专利技术的实施方式的热处理装置1的剖视图，示出了从侧方观察热处理装置1的状态。图2是热处理装置1的腔室4的立体图。图3是腔室4的分解立体图。图4是腔室4的剖视图，并示出从上方观察腔室4的状态。参照图1，热处理装置1构成为能够对被处理物100的表面实施热处理。更具体来说，热处理装置1构成为，能够通过朝向被处理物100供给被加热的气体，来对被处理物100的表面实施热处理。被处理物100例如是玻璃基板或半导体基板等，在本实施方式中，形成为矩形的平板状。热处理装置1具有：基板2、加热器3、腔室4、密封部件5、6、支承体(boat)7、升降机构8以及气体供给装置9。基板2被设置为支承加热器3和腔室4的部件。在基板2的中央形成有贯通孔。加热器3被配置成从上方盖住该贯通孔。加热器3例如是电热加热器，在本实施方式中，构成为能够将气体加热至600℃左右。加热器3整体上形成为箱状，并具有朝下敞开的开口部3a。加热器3的开口部3a被基板2支承。在被加热器3包围的空间配置有腔室4。腔室4构成为用于对被处理物100进行热处理的处理室。腔室4整体上形成为箱状，并具有朝下敞开的开口部4a。腔室4的开口部4a与密封部件5接触，并经由该密封部件5而支承于基板2。密封部件5是具有耐热性的环状部件，其将腔室4的开口部4a和基板2的上表面之间气密地密封起来。腔室4内的空间4b穿过基板2的贯通孔而连续至基板2的下方的空间。腔室4的详细结构在后面叙述。在热处理装置1进行热处理动作时，在腔室4内的空间4b配置有被处理物100。被处理物100例如以垂直地立起的状态被支承于支承体7。支承体7是为了将被处理物100配置在腔室4内而设置的。支承体7例如形成为圆板状，并在中央具有台座。在该台座上固定多个被处理物100的下端部。各被处理物100以相互平行地排列的状态被支承于台座。在支承体7的外周部的上表面配置有密封部件6。密封部件6是具有耐热性的环状部件，其将支承体7的外周部的上表面和基板2的下表面之间气密地密封本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热处理装置用的腔室，其特征在于，所述热处理装置用的腔室具备：筒状的侧壁，其用于包围被处理物；以及端壁，其封闭所述侧壁的一方的开口部，所述腔室是将以氧化硅为主要成分的多个部件机械结合起来而形成的，所述多个部件包括用于形成所述侧壁的多个侧壁用平板状部件、用于形成所述端壁的多个端壁用平板状部件和梁状连结部件，所述端壁具有多个所述端壁用平板状部件被依次配置的结构，从而整体上形成为平板状，多个所述侧壁用平板状部件以整体上构成筒形的方式排列，所述梁状连结部件以将多个所述侧壁用平板状部件中的相互平行地并列的2个所述侧壁用平板状部件彼此连结起来的方式架设于多个所述侧壁用平板状部件。

【技术特征摘要】
2013.07.26 JP JP2013-1559161.一种热处理装置用的腔室，其特征在于，所述热处理装置用的腔室具备：筒状的侧壁，其用于包围被处理物；以及端壁，其封闭所述侧壁的一方的开口部，所述腔室是将以氧化硅为主要成分的多个部件机械结合起来而形成的，所述多个部件包括用于形成所述侧壁的多个侧壁用平板状部件、用于形成所述端壁的多个端壁用平板状部件和梁状连结部件，所述端壁具有多个所述端壁用平板状部件被依次配置的结构，从而整体上形成为平板状，多个所述侧壁用平板状部件以整体上构成筒形的方式排列，所述梁状连结部件以将多个所述侧壁用平板状部件中的相互平行地并列的2个所述侧壁用平板状部件彼此连结起来的方式架设...

【专利技术属性】
技术研发人员：笠次克尚，西村圭介，浦崎义彦，森川清彦，中西裕也，
申请(专利权)人：光洋热系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP