涂布机喷嘴及涂布机制造技术

本实用新型专利技术涉及设备优化，公开了一种涂布机喷嘴，该涂布机喷嘴包括通过光阻管路依次连接的：光阻入口、输入槽、第一缓存囊以及喷涂狭缝，该涂布机喷嘴还包括：至少一个第二缓存囊，该至少一个第二缓存囊与所述第一缓存囊串联连接在所述喷涂狭缝和所述输入槽之间。该涂布机喷嘴可以改善涂布膜厚均一性，减少因调整涂布喷嘴狭缝所花费的时间，提高设备稼动率。

Coating machine nozzle and coating machine

The utility model relates to equipment optimization, a coating machine nozzle open, the coater nozzle comprises a light blocking pipe through: resist entrance, input slot, the first buffer capsule and spraying the slit coater nozzle further includes at least one cache second capsule, the at least one cache and second capsule the first cache sac connected in series in the spraying slot and the input slot. The coating machine nozzle can improve the thickness uniformity of coating film, reduce the cost because of the adjustment of nozzle slit coating time, improve equipment utilization rate.

【技术实现步骤摘要】
涂布机喷嘴及涂布机
本技术涉及设备优化，具体地涉及一种涂布机喷嘴及涂布机。
技术介绍
在TFTLCD制程的Array和CF工艺或半导体制程中，光阻涂布机的涂布膜厚的均一性要求较高(小于3％)，而决定涂布膜厚精度的结构主要是喷嘴和涂布泵，但涂布机在涂布过程中，沿喷嘴行走方向的两边膜厚会较中间部分要偏小，导致涂布的均一性不好，且就现有涂布喷嘴结构来说，其涂布的均一性的提升很难。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术存在的问题，提供一种涂布机喷嘴及涂布机，该涂布机喷嘴及涂布机可以改善涂布膜厚均一性，减少因调整涂布喷嘴狭缝所花费的时间，提高设备稼动率。为了实现上述目的，本技术提供一种涂布机喷嘴，该涂布机喷嘴包括通过光阻管路依次连接的：光阻入口、输入槽、第一缓存囊以及喷涂狭缝，该涂布机喷嘴还包括：至少一个第二缓存囊，该至少一个第二缓存囊与所述第一缓存囊串联连接在所述喷涂狭缝和所述输入槽之间。优选地，所述涂布机喷嘴包括至少一个通道，该至少一个通道设置在与所述输入槽连接的缓存囊与所述输入槽之间。优选地，所述光阻管路具有至少两个光阻入口。优选地，所述至少一个通道的数量为三个。优选地，三个通道分别位于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布机喷嘴，该涂布机喷嘴包括通过光阻管路依次连接的：光阻入口、输入槽、第一缓存囊以及喷涂狭缝，其特征在于，该涂布机喷嘴还包括：至少一个第二缓存囊，该至少一个第二缓存囊与所述第一缓存囊串联连接在所述喷涂狭缝和所述输入槽之间。

【技术特征摘要】
1.一种涂布机喷嘴，该涂布机喷嘴包括通过光阻管路依次连接的：光阻入口、输入槽、第一缓存囊以及喷涂狭缝，其特征在于，该涂布机喷嘴还包括：至少一个第二缓存囊，该至少一个第二缓存囊与所述第一缓存囊串联连接在所述喷涂狭缝和所述输入槽之间。2.根据权利要求1所述的涂布机喷嘴，其特征在于，所述涂布机喷嘴包括至少一个通道，该至少一个通道设置在与所述输入槽连接的缓存囊与所述输入槽之间。3.根据权利要求1所述的涂布机喷嘴，其特征在于，所述光阻管路具有至少两个光阻入口。4.根据权利要求2所述的涂布机喷嘴，其特征在于，所述至少一个通道的数量为三个。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪杰，陈聪文，聂行健，赵敏，
申请(专利权)人：东旭昆山显示材料有限公司，东旭集团有限公司，东旭科技集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32