The invention discloses a novel vacuum microelectronic pressure sensor comprises a sensor body, a sensor body comprises a base and a positioning, positioning the surface of the base is arranged inside the groove two Unicom, Unicom slot is arranged inside the electrode wire, wire electrode end and the lead terminals are connected together, and the other end of the electrode lead wire electrodes connected together. The gold electrode and the silicon diaphragm second, respectively the first silicon diaphragm electrically connected together, second silicon diaphragm installed on the surface of the silicon cup, the silicon cup is arranged on the surface of the radiation tip, the correspondence between the first and second silicon silicon diaphragm membrane sheet, a positioning base is arranged inside the air inlet channel, the first silicon diaphragm is arranged on the surface of elastic silicon intake passage through the branch pipe gas into the elastic silicon surface is arranged on the top of shell pass compression, the device not only can detect The external direct contact pressure, and the accurate detection of the small pressure produced by the air flow, is practical and worthy of promotion.
【技术实现步骤摘要】
一种新型真空微电子压力传感器
本专利技术涉及传感器
,具体为一种新型真空微电子压力传感器。
技术介绍
智能压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置,压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成,按不同的测试压力类型,压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器,压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业,下面就简单介绍一些常用传感器原理及其应用。另有医用压力传感器,但是现在一般的压力传感器功能单一,不能同时检测不同的压力,而且检测精度不高。
技术实现思路
为了克服现有技术方案的不足,本专利技术提供一种新型真空微电子压力传感器,不仅可以检测外部的直接接触压力,而且可以精确的检测气流产生的微小压力,检测精准快速,实用性强,值得推广。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种新型真空微电子压力传感器,包括传感器主体,所述传感器主体包括定位底座和壳体,所述壳体连接在定位底座顶端,所述定位底座表面内部设置有两个联通槽,所述联通槽贯穿定位底座,所述联通槽内部设置有电极引线,所述电极引线通过焊锡在联通槽内部固定,所述电极引线一端和引线端子连接在一起,所述电极引线另一端和金线电极连接在一起,且所述金线电极分别和第一硅膜片、第二硅膜片电性连接在一起,所述第二硅膜片安装在硅杯表面,所述硅杯表面设置有放射尖端,所述第一硅膜片、第二硅膜片之间相互对应,所述定位底座内部设置有进气通 ...
【技术保护点】
一种新型真空微电子压力传感器,其特征在于:包括传感器主体(1),所述传感器主体(1)包括定位底座(2)和壳体(3),所述壳体(3)连接在定位底座(2)顶端,所述定位底座(2)表面内部设置有两个联通槽(201),所述联通槽(201)贯穿定位底座(2),所述联通槽(201)内部设置有电极引线(202),所述电极引线(202)通过焊锡在联通槽(201)内部固定,所述电极引线(202)一端和引线端子(203)连接在一起,所述电极引线(202)另一端和金线电极(204)连接在一起,且所述金线电极(204)分别和第一硅膜片(205)、第二硅膜片(206)电性连接在一起,所述第二硅膜片(206)安装在硅杯(207)表面,所述硅杯(207)表面设置有放射尖端(208),所述第一硅膜片(205)、第二硅膜片(206)之间相互对应,所述定位底座(2)内部设置有进气通道(4),所述第一硅膜片(205)表面设置有弹性硅片(6),所述进气通道(4)通过分支管(5)将气体排入到弹性硅片(6)表面,所述弹性硅片(6)和壳体(3)之间通过金属片(7)连接在一起,且所述壳体(3)和定位底座(2)之间的空间采用抽真空处理 ...
【技术特征摘要】
1.一种新型真空微电子压力传感器,其特征在于:包括传感器主体(1),所述传感器主体(1)包括定位底座(2)和壳体(3),所述壳体(3)连接在定位底座(2)顶端,所述定位底座(2)表面内部设置有两个联通槽(201),所述联通槽(201)贯穿定位底座(2),所述联通槽(201)内部设置有电极引线(202),所述电极引线(202)通过焊锡在联通槽(201)内部固定,所述电极引线(202)一端和引线端子(203)连接在一起,所述电极引线(202)另一端和金线电极(204)连接在一起,且所述金线电极(204)分别和第一硅膜片(205)、第二硅膜片(206)电性连接在一起,所述第二硅膜片(206)安装在硅杯(207)表面,所述硅杯(207)表面设置有放射尖端(208),所述第一硅膜片(205)、第二硅膜片(206)之间相互对应,所述定位底座(2)内部设置有进气通道(4),所述第一硅膜片(205)表面设置有弹性硅片(6),所述进气通道(4)通过分支管(5)将气体排入到弹性硅片(6)表面,所述弹性硅片(6)和壳体(3)之间通过金属片(7)连接在一起,且所述壳体(3)和定位底座(2)之间的空间采用抽真空处理,所述弹性硅片(6)和金属片(7)之间组成密闭空间,所述壳体(3)顶端设置有传压片(8),所述传压片(8)通过振动膜(9)将压力传输到弹性硅片(6)表面。...
【专利技术属性】
技术研发人员:强俊,阜稳稳,孔智慧,陈恩涛,盛周璇,彭壮,李远洋,
申请(专利权)人:安徽工程大学,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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