A sensing device includes: a substrate support structure, and at least 2 stress sensing elements; the support structure includes a bottom and a touching end, the bottom end is arranged on the substrate, each stress sensing component includes a first electrode, a piezoelectric material layer arranged on the first electrode and arranged in second the electrode of piezoelectric materials on the surface of the first electrode and the second electrode are respectively connected with the piezoelectric material layer, the first electrode arc, each first electrode includes a first end and a second end, each of the first end and the substrate is fixed, and the first end of each of the first electrodes are evenly distributed on the bottom to support structure the center, with a first end and the bottom end of the distance is formed on the radius of the circle, each of the second end is fixed on the bottom and the touch between the ends of the same height, touch the end of the support structure for the convex At the second end, when the touch end of the support structure is subjected to external pressure, at least 2 stress sensing components are used to measure the size of the external pressure respectively.
【技术实现步骤摘要】
感测装置
本专利技术涉及传感器领域,尤其涉及一种能同时感测三维应力与测量与障碍物距离的感测装置。
技术介绍
压力感测器的应用相当普遍,包含机器人、信息计算机领域、工业生产自动化、生医领域、无线生理监控及游戏机之游戏杆或手把等方面都可见压力感测器的利用。现有技术中压力感测器大部分系限于一维方向上应力的量测。
技术实现思路
有鉴于此,有必要提供一种能够多维测量应力的感测装置。一种感测装置,其包括:基板,支撑结构,以及至少2个应力感测部件;该支撑结构包括底端以及与底端相背的触摸端,该支撑结构的底端设置在基板上,每个应力感测部件包括第一电极,设置在第一电极上的压电材料层以及设置在压电材料表面的第二电极,该第一电极与第二电极分别与该压电材料电性连接,该第一电极呈弧形形状,每个第一电极包括第一端与第二端,每个第一电极的第一端与基板固定,且每个第一电极的第一端均匀分布在以支撑结构的底端为圆心、以其中的一个第一端与底端的距离为半径所形成的圆周上,每个第一电极的第二端固定在支撑结构的底端与触摸端之间的同一高度处,该支撑结构的触摸端凸出于每个第一电极的该第二端,每个压电材料层的中心与该基板的距离相等,该支撑结构的触摸端受到外界的压力时,该至少2个应力感测部件分别用于感测外界的压力的大小。与现有技术相比,本专利技术提供的感测装置,可以用于三维应力的测量,改变了传统的应力测量装置仅限于Z轴(一维)方向上应力的测量。附图说明图1是本专利技术提供的感测装置的示意图。图2图1所示的感测装置的俯视图。图3是图1所示的感测装置的仰视图。主要元件符号说明感测装置100基板10上表面11信号线11 ...
【技术保护点】
一种感测装置,其包括:基板,支撑结构,以及至少2个应力感测部件;该支撑结构包括底端以及与底端相背的触摸端,该支撑结构的底端设置在基板上,每个应力感测部件包括第一电极,设置在第一电极上的压电材料层以及设置在压电材料表面的第二电极,该第一电极与第二电极分别与该压电材料层电性连接,其特征在于:该第一电极呈弧形形状,每个第一电极包括第一端与第二端,每个第一电极的第一端与该基板固定,且每个第一电极的第一端均匀分布在以支撑结构的底端为圆心、以其中的一个第一端与底端的距离为半径所形成的圆周上,每个第一电极的第二端固定在该支撑结构上的底端与触摸端之间的同一高度处,该支撑结构的触摸端凸出于每个该第一电极的该第二端,每个该压电材料层的中心与该基板的距离相等。
【技术特征摘要】
1.一种感测装置,其包括:基板,支撑结构,以及至少2个应力感测部件;该支撑结构包括底端以及与底端相背的触摸端,该支撑结构的底端设置在基板上,每个应力感测部件包括第一电极,设置在第一电极上的压电材料层以及设置在压电材料表面的第二电极,该第一电极与第二电极分别与该压电材料层电性连接,其特征在于:该第一电极呈弧形形状,每个第一电极包括第一端与第二端,每个第一电极的第一端与该基板固定,且每个第一电极的第一端均匀分布在以支撑结构的底端为圆心、以其中的一个第一端与底端的距离为半径所形成的圆周上,每个第一电极的第二端固定在该支撑结构上的底端与触摸端之间的同一高度处,该支撑结构的触摸端凸出于每个该第一电极的该第二端,每个该压电材料层的中心与该基板的距离相等。2.如权利要求1所述的感测装置,其特征在于,该应力感测部件的数量为4个,每个应力感测部件在该基板上的投影与其相邻的应力感测部件在该基板上的投影相互垂直,且相对的两个应力感测部件在该基板上的投影位于同一条直线上。3.如权利要求1所述的感测装置,其特征在于,该主体部由弹性材料制作而成。4.如权利要求2所述的感测装置,其特征在于,还包括设置在该基板的下表...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴宗儒,张仁淙,
申请(专利权)人:鸿富锦精密工业深圳有限公司,鸿海精密工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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