曝光机用的发光装置、及具备其的曝光机制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种发光装置，即使在用于“多灯式”的曝光机的情况下，产生不良情况的可能性也低；以及具备所述发光装置的曝光机。发光装置(100)由放电灯(110)、反射镜(150)、绝缘基体(170)构成。另外，放电灯(110)由发光管部(112)和一对密封部(114)构成。而且，在绝缘基体(170)上形成将密封部插设孔(156)与外部相互连通的一对通气口(178)。进而，将与插设于密封部插设孔(156)的密封部相反的另一个密封部(114)的长度L设为26mm以上且40mm以下，且将发光管部(112)的直径D1、和另一个密封部(114)的直径D2之比设为1.63以上且2.4以下，由此能够解决上述课题。

【技术实现步骤摘要】
曝光机用的发光装置、及具备其的曝光机
本技术涉及用于制造半导体元件或液晶基板的曝光机中所使用的发光装置。
技术介绍
作为制造半导体元件或液晶基板时使用的曝光机的照明，通常使用紫外线光。在曝光机上安装有发这种紫外线光的发光装置，存在仅设置一个能够放射曝光所需的光量的发光装置的“一灯式”的曝光机。但是，在“一灯式”时，在进行发光装置的维护等时必须要使曝光机整体停止等，在曝光机的连续运行这一点上产生问题，因此，提案有设置多个发光装置的“多灯式”的曝光机(例如专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-58924号公报技术的内容技术所要解决的课题发光装置将发光量多的放电灯和具有碗状的反射面的反射镜组合而构成，但因为发光中的放电灯的温度非常高，所以寻求适宜进行冷却。但是，放电灯的发光管被容纳于反射镜的碗状的反射面内，存在碗状的反射面内容易充满热的问题，而且，在“多灯式”的曝光机的情况下，因为将多个发光装置相互相邻地配置，所以放电灯不仅受到自身发出的热，而且还受到来自位于相邻的位置的发光装置的放电灯的热。因此，发光装置的放电灯可能因热而破损。而且，放电灯中的发光管部的温度如上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种发光装置，其具备：放电灯，其具有球状的发光管部、及从所述发光管部延伸的一对密封部；反射镜，其具有碗状的反射面，所述反射面在底部形成有插设所述放电灯中的一个所述密封部的密封部插设孔，在插设了所述密封部的状态下，将所述放电灯的所述发光管部容纳于所述反射面内；以及绝缘基体，其以从外侧覆盖所述反射镜的所述密封部插设孔的方式安装，所述发光装置的特征在于，所述绝缘基体在与所插设的所述密封部插设孔的端部附近对应的位置具有将所述密封部插设孔和外部相互连通的一对通气口，与插设于所述密封部插设孔的密封部相反的另一个所述密封部的长度为26mm以上且40mm以下，且所述发光管部的直径与另一个所述密封部的直径之比为...

【技术特征摘要】
2017.05.26 JP 2017-0023611.一种发光装置，其具备：放电灯，其具有球状的发光管部、及从所述发光管部延伸的一对密封部；反射镜，其具有碗状的反射面，所述反射面在底部形成有插设所述放电灯中的一个所述密封部的密封部插设孔，在插设了所述密封部的状态下，将所述放电灯的所述发光管部容纳于所述反射面内；以及绝缘基体，其以从外侧覆盖所述反射镜的所述密封部插设孔的方式安装，所述发光装置的特征在于，所述绝缘基体在与所插设的所述密封部插设孔的端部附近对应的位置具有将所述密封部插设孔和外部相互连通的一对通气口，与插设于所述密封部插设孔的密封部相反的另一个所述密封部的长度为26mm以上且40mm以下，且所述发光管部的直径与另一个所述密封部的直径之比为1.63以上且2.4以下。2.根据权利要求1所述的发光装置，其特征在于，另一个所述密封部的长度为30mm以上且4...

【专利技术属性】
技术研发人员：池田富彦，山本达夫，
申请(专利权)人：凤凰电机公司，
类型：新型
国别省市：日本,JP