微型多阵列加热器和微型多阵列传感器制造技术

提供了一种微型多阵列加热器和设置有微型多阵列加热器的微型多阵列传感器。微型多阵列加热器包括：衬底以及形成在衬底上的加热器电极。加热器电极包括具有第一热生成图案的第一加热器电极和具有第二热生成图案的第二加热器电极。第一热生成图案和第二热生成图案形成为具有不同的热生成量。

【技术实现步骤摘要】
微型多阵列加热器和微型多阵列传感器
本专利技术涉及一种微型多阵列加热器和微型多阵列传感器。更具体地，本专利技术涉及一种设置有在热生成量上不同的第一加热器电极和第二加热器电极的微型多阵列加热器，和微型多阵列传感器。
技术介绍
近些年来，随着对于环境的兴趣逐渐增加，已经存在了对于能够在短时间周期内精确获得不同类型信息的小尺寸传感器的研发的需求。具体地，为了使居住空间愉悦、应对有害的工业环境和管理饮料和食品的生成工艺的目的，已经致力于获得尺寸减小、精度提高和价格降低的微型多阵列传感器，例如用于容易地测量气体浓度或类似物的气体传感器。由于半导体工艺技术的应用，当前可用的气体传感器由陶瓷烧结气体传感器或厚膜型气体传感器逐渐发展到具有微电子机械系统(MEMS)结构的微型气体传感器。从测量方法上看，在气体被吸收到传感材料时测量传感器的传感材料的电性能变化的方法最频繁地用在当前可用的气体传感器中。典型地，诸如SnO2的金属氧化物用作测量导电率根据测量目标气体的浓度变化的传感材料。这种测量方法的优点在于使用该方法相对容易。当金属氧化物传感材料被加热到高温并且在高温下操作时，测量值的变化变得明显。因此，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型多阵列加热器，该微型多阵列加热器包括：衬底；以及形成在衬底上的加热器电极，其中，加热器电极包括具有第一热生成图案的第一加热器电极和具有第二热生成图案的第二加热器电极，以及第一热生成图案和第二热生成图案形成为具有不同的热生成量。

【技术特征摘要】
2016.07.01 KR 10-2016-00834171.一种微型多阵列加热器，该微型多阵列加热器包括：衬底；以及形成在衬底上的加热器电极，其中，加热器电极包括具有第一热生成图案的第一加热器电极和具有第二热生成图案的第二加热器电极，以及第一热生成图案和第二热生成图案形成为具有不同的热生成量。2.根据权利要求1所述的微型多阵列加热器，其中，第一热生成图案和第二热生成图案并联连接。3.根据权利要求1或2所述的微型多阵列加热器，其中，第一热生成图案和第二热生成图案形成为具有不同的长度。4.根据权利要求1或2所述的微型多阵列加热器，其中，第一热生成图案和第二热生成图案形成为具有不同的厚度。5.根据权利要求1或2所述的微型多阵列加热器，其中，布置在第一热生成图案和第二热生成图案之间的至少一个气隙形成在衬底中。6.根据权利要求5所述的微型多阵列加热器，其中，所述气隙包括包围第一热生成图案的第一气隙和包围第二热生成图案的第二气隙。7.根据权利要求6所述的微型多阵列加热器，其中，所述气隙包括与第一气隙和第二气隙连通的第三气隙，并且第三气隙布置在第一热生成图案和第二热生成图案之间。8.根据权利要求5所述的微型多阵列加热器，其中，所述气隙是形成为从衬底的上表面延伸到衬底的下表面的空间。9.根据权利要求1或2所述的微型多阵列加热器，其中，所述衬底是通过阳极化金属的基底材料然后去除基底材料获得的阳极氧化膜。10.根据权利要求5所述的微型多阵列加热器，其中，伪金属形成在衬底上，以布置在所述气隙和第一热生成图案或者第二热生成图案之间。11.一种微型多阵列传感器，该微型多阵列传感器包括：衬底；形成在衬底上的传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：安范模，朴胜浩，边圣铉，
申请(专利权)人：普因特工程有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR