多密封系统漏率测量方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多密封系统总漏率测试的测量系统，主要包括标准漏率装置、多种示漏气体气源、真空容器、抽气单元、取样单元、四极质谱分析单元和数据处理单元，其中，将待测组件放入容器内，抽真空得到特征峰对应的离子流大小，作为本底值；再依次分别引入不同示漏气体的标准漏率，得到不同标准漏率对应的离子流大小；向待测组件充入不同的示漏气体，经质谱分析，得到泄漏后反应出来的实际离子流大小；根据标准漏率和离子流的比值，得到实际漏率值。本发明专利技术可以准确检测多个独立密封系统的总漏率，克服了过去氦质谱检漏中，每次只能检测一个独立密封系统的缺陷，节省了人力，缩短了检漏时间。

Method and device for measuring leakage rate of multi seal system

The invention discloses a system for measuring the total leak rate test of the seal system mainly includes the standard leak rate device and a plurality of leak gas, vacuum container, pumping unit, sampling unit, quadrupole mass spectrometry analysis unit and data processing unit, wherein the detected components into the container, vacuum ion characteristics the peak flow size, as the background value; then introduced the different leak gas standard leak rate, ion leakage rate corresponding to the different standard flow size; to the component filling into different leak gases, by mass spectrometry, ion leakage after the reaction to the actual flow out according to size; the ratio of the standard leak rate and ion flow, get the actual leakage rate value. The invention can accurately detect the total leakage rate of a plurality of independent sealing systems, and overcome the defect that only one independent sealing system can be detected at the time of helium mass spectrum leak detection, which saves manpower and shortens leak detection time.

【技术实现步骤摘要】
多密封系统漏率测量方法和装置
本专利技术属于真空质谱检漏测试
，具体来说，本专利技术涉及一种利用真空容器进行总漏率测试的测量系统以及利用该装置进行漏率测量的方法。
技术介绍
目前，评价航天器密封系统的总漏率是否满足在轨长寿命需求所采用的测量方法，是将航天器总装后放在真空容器中，将真空容器抽空达到检漏压力后，在待测试的密封系统中分别充入不同的示漏气体，利用四极质谱分析单元对真空容器中示漏气体进行检测，这样就得到了不同密封系统泄漏出来的示漏气体的多少与四极质谱分析单元检测到的数值的关系。为了得到该密封系统的准确漏率值，还需要利用相应的不同示漏气体的标准漏率对四极质谱分析单元检测到的对应数据进行标定，得到该真空质谱检漏系统中标准漏率与四极质谱分析单元采集到的数据之间的定量关系，这样就能得到航天器不同密封系统的总漏率。现在的真空氦质谱检漏测试方法有一个显著的缺点。首先在试验过程中，每次测试只能对一个密封系统进行氦检漏，如有多个系统，就需要多次充放氦气，以便得到不同密封系统的漏率，这样浪费了大量试验时间，提高了试验费用。其次，同一次试验中多次充放氦气，真空容器内氦本底难以清除，从一个密封本文档来自技高网...

【技术保护点】
多密封系统总漏率测试的测量系统，主要包括标准漏率装置、多种示漏气体气源、真空容器、抽气单元、取样单元、四极质谱分析单元和数据处理单元，所述标准漏率装置包括标准漏孔组，多种示漏气体气源通过标准漏孔组与真空容器连通，真空泵对标准漏孔组的前后端进行抽气，气源通过自动调压阀与标准漏孔组连通并将标准漏孔组前的压力稳定在一定数值，标准漏孔组与真空容器之间通过阀门进行连接，所述真空容器连接有抽气单元，抽气单元包括粗抽机组、分子泵高真空系统，粗抽机组与真空容器通过阀门直接连接，分子泵高真空系统与真空容器也通过阀门直接连接，分子泵采用了罗茨泵机组为前级，真空容器通过取样单元和四极质谱分析单元相连通，四极质谱分析...

【技术特征摘要】
1.多密封系统总漏率测试的测量系统，主要包括标准漏率装置、多种示漏气体气源、真空容器、抽气单元、取样单元、四极质谱分析单元和数据处理单元，所述标准漏率装置包括标准漏孔组，多种示漏气体气源通过标准漏孔组与真空容器连通，真空泵对标准漏孔组的前后端进行抽气，气源通过自动调压阀与标准漏孔组连通并将标准漏孔组前的压力稳定在一定数值，标准漏孔组与真空容器之间通过阀门进行连接，所述真空容器连接有抽气单元，抽气单元包括粗抽机组、分子泵高真空系统，粗抽机组与真空容器通过阀门直接连接，分子泵高真空系统与真空容器也通过阀门直接连接，分子泵采用了罗茨泵机组为前级，真空容器通过取样单元和四极质谱分析单元相连通，四极质谱分析单元与数据处理单元电连接，其中，将航天器测试组件放入真空容器内，对容器抽真空得到不同质量数气体的特征峰对应的离子流大小，作为本底值；再向真空容器依次分别引入不同示漏气体的标准漏率，得到不同示漏气体标准漏率对应的离子流大小，关闭标准漏孔；向航天器测试组件不同的被检密封系统内充入不同的示漏气体，系统稳定后，通过质谱分析，得到各个不同密封系统泄漏后反应出来的实际离子流大小；根据标准漏率和对应的离子流的比值，得到不同密封系统的实际漏率值。2.如权利要求1所述的多密封系统总漏率测试的测量系统，其中，标准漏孔优选为通道型漏孔，所述真空泵为无油涡旋真空泵。3.如权利要求1所述的多密封系统总漏率测试的测量系统，其中，所述粗抽机组优选为变频罗茨泵螺杆泵无油机组，分子...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵容平，孙立臣，孟冬辉，王勇，孙伟，綦磊，赵月帅，任国华，王健，
申请(专利权)人：北京卫星环境工程研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11