灵敏度可调的真空检漏自动化系统技术方案

本发明专利技术公开了一种灵敏度可调的真空检漏自动化系统，主要包括真空获得和测量单元以及检漏单元；所述真空获得与测量单元包括真空室、分子泵、螺杆泵、真空计、气动插板阀、可控蝶阀、电磁阀和过滤器；所述检漏单元包括氦质谱检漏仪、标准漏孔、充放气设备和计算机控制系统，计算机控制系统通过PLC程序对分子泵、螺杆泵、氦质谱检漏仪以及各阀门进行控制。本发明专利技术通过计算机控制系统，提高了试验仪器操作的便捷性和准确率，试验数据处理能力有效提升，节省了试验时间和经费。

Vacuum leak detection automation system with adjustable sensitivity

The invention discloses an automation system of vacuum leak detection sensitivity adjustable, including vacuum and measurement unit and detection unit; the vacuum and the measuring unit comprises a vacuum chamber, molecular pump, screw pump, vacuum gauge, pneumatic gate valve, butterfly valve, electric magnetic valve controllable filter and the leak detection; the unit includes a helium leak detector, standard leak, charging and discharging equipment and computer control system, computer control system through the PLC program of molecular pump, screw pump, helium leak detector and the valve control. Through the computer control system, the invention improves the convenience and accuracy of the operation of the test instrument, effectively improves the test data processing capacity, and saves the test time and funds.

【技术实现步骤摘要】
灵敏度可调的真空检漏自动化系统
本专利技术真空检漏
，具体而言，本专利技术涉及一种灵敏度可调的真空检漏自动化系统，该系统采用可控蝶阀调节检漏系统流量，电磁阀控制标准漏孔开闭，自动控制氦质谱检漏仪，实现灵敏度可调节。
技术介绍
目前，一般真空检漏系统主要包括真空室、高真空分子泵、辅助泵、真空计、截止阀、标准漏孔和检漏仪等。首先对真空室抽真空，达到检漏要求的真空度时打开截止阀，使真空室与正常工作的检漏仪连接，在检漏仪稳定后记录系统本底值，然后打开标准漏孔，待检漏仪示值稳定，记录反应值，关闭标准漏孔等待检漏仪回到本底初值，对被检件充入工作压力的氦气，记录检漏仪的反应值，从而达到真空检漏目的。系统灵敏度是指被检产品与检漏系统连接后，检漏仪和检漏系统在具体的工作条件下，纯示漏气体通过漏孔时检漏仪所能检出的最小漏率。目前，真空检漏系统的灵敏度基本是一个固定值。根据国外相关资料及国内经验，卫星推进系统的总漏率的真实值通常在10-6Pa·m3/s～10-7Pa·m3/s的量级。由于不同产品的漏率要求不同，因此对于允许漏率较小的产品，普通的真空检漏系统无法进行检漏。因此，有必要研制一种灵敏度可调本文档来自技高网...

【技术保护点】
灵敏度可调的真空检漏自动化系统，主要包括真空获得和测量单元以及检漏单元；所述真空获得与测量单元包括真空室、分子泵、螺杆泵、真空计、气动插板阀、可控蝶阀、电磁阀和过滤器；所述检漏单元包括氦质谱检漏仪、标准漏孔、充放气设备和计算机控制系统，其中，分子泵一端通过气动插板阀一连接在真空室上，分子泵另一端分别通过电磁阀一和可控蝶阀与氦质谱检漏仪、螺杆泵管路连通，螺杆泵与可控蝶阀管路又分别通过气动插板阀二和电磁阀二与真空室、过滤器一连通；真空室上还分别设置有真空计、通过电磁阀三连通的过滤器二以及通过电磁阀四连接的标准漏孔，真空室还连接有充放气设备，对待测样品进行充放气，计算机控制系统通过PLC程序对分子泵...

【技术特征摘要】
1.灵敏度可调的真空检漏自动化系统，主要包括真空获得和测量单元以及检漏单元；所述真空获得与测量单元包括真空室、分子泵、螺杆泵、真空计、气动插板阀、可控蝶阀、电磁阀和过滤器；所述检漏单元包括氦质谱检漏仪、标准漏孔、充放气设备和计算机控制系统，其中，分子泵一端通过气动插板阀一连接在真空室上，分子泵另一端分别通过电磁阀一和可控蝶阀与氦质谱检漏仪、螺杆泵管路连通，螺杆泵与可控蝶阀管路又分别通过气动插板阀二和电磁阀二与真空室、过滤器一连通；真空室上还分别设置有真空计、通过电磁阀三连通的过滤器二以及通过电磁阀四连接的标准漏孔，真空室还连接有充放气设备，对待测样品进行充放气，计算机控制系统通过PLC程序对分子泵、螺杆泵、氦质谱检漏仪以及各阀门进行控制。2.如权利要求1所述的系统，其中，所述可控蝶阀通过设置阀门开度来控制阀门的流量。3.如权利要求1所述的系统，其中所述计算机控制系统用于向真空泵、各阀门、氦质谱检漏仪发出...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪力，孙立臣，孟冬辉，史纪军，刘恩均，孙立志，张海峰，赵建超，齐飞飞，李文斌，
申请(专利权)人：北京卫星环境工程研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11