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本发明公开了一种灵敏度可调的真空检漏自动化系统，主要包括真空获得和测量单元以及检漏单元；所述真空获得与测量单元包括真空室、分子泵、螺杆泵、真空计、气动插板阀、可控蝶阀、电磁阀和过滤器；所述检漏单元包括氦质谱检漏仪、标准漏孔、充放气设备和计算...
该专利属于北京卫星环境工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京卫星环境工程研究所授权不得商用。

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