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多密封系统漏率测量方法和装置制造方法及图纸
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文档序号:16966896
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本发明公开了一种多密封系统总漏率测试的测量系统,主要包括标准漏率装置、多种示漏气体气源、真空容器、抽气单元、取样单元、四极质谱分析单元和数据处理单元,其中,将待测组件放入容器内,抽真空得到特征峰对应的离子流大小,作为本底值;再依次分别引入不...
该专利属于北京卫星环境工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京卫星环境工程研究所授权不得商用。
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