一种光伏电池PECVD镀膜检测装置制造方法及图纸

一种光伏电池PECVD镀膜检测装置，包括分度盘、发射装置、接收装置，校准装置、控制中心、显示输出装置以及样品架组件，所述样品架组件包括上下依次设置的样品台、螺套、螺杆、底座以及检测台，所述样品台的下端与螺套固定连接，所述螺套与螺杆的一端螺纹活动连接，所述螺杆的另一端与底座固定连接，所述底座的下部设有滑块，所述滑块安装在滑轨内，所述滑轨设置在检测台上部。

A PECVD coating detection device for photovoltaic cells

A photovoltaic cell PECVD coating detection device, including dividing disk, transmitting device, receiving device, calibration device, control center, display output device and sample frame components, the sample holder assembly includes upper and lower sequentially arranged on the sample stage, screw sleeve, screw, base and test sets, the sample table is fixed on the lower end of the connected with the screw sleeve, one end of the screw thread sleeve and the screw connection, the other end of the screw is fixedly connected with the base, the lower part of the base is provided with a slider, the slider is mounted on the slide, the slide rail is arranged in the upper part of test bench.

【技术实现步骤摘要】
一种光伏电池PECVD镀膜检测装置
本技术涉及光伏制造
，尤其涉及一种光伏电池PECVD镀膜检测装置。
技术介绍
太阳能电池生产过程中，包括制绒、扩散、湿法刻蚀、PECVD和印刷测试等工序。其中PECVD镀膜工序要对镀膜质量进行检测，目前常用的设备为椭偏仪，检测项目为膜厚以及折射率。而现有镀膜检测仪即椭偏仪的设计存在缺陷，尤其是样品架组件，现有的样品架组件在设备安装期间调试一次即永久固定放置，测试时通过样品校准装置进行偏差校准来达到测试目的。现有设备中的样品组件存在如下缺陷：1、由于样品台、底座以及检测台面是固定相连，测试时样品台无法移动的，而测试时候，需要对同一个电池片的不同位置的点进行测试，这就需要通过人手移动镀膜片来找寻测试点，在此种操作下，会引起镀膜片表面的污染以及镀膜片表面划伤等，造成以上伤害的镀膜片无法进行印刷，由于测量数据较大导致造成表面污染以及划伤等的镀膜片较多，此种情况下造成的损失较大。2、个人的操作习惯不同，移动镀膜片的速度以及测量位置的不同，导致同台椭偏仪之间的测量基准有所差异，使数据之间缺少严格的对比性，测量数据失真。3、手工操作工作效率低下。所以，如何提供一种新型光伏电池PECVD镀膜检测装置，解决现有技术中存在的缺陷，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种光伏电池PECVD镀膜检测装置，解决现有技术中存在的问题，具体方案如下：一种光伏电池PECVD镀膜检测装置，包括分度盘、发射装置、接收装置，校准装置、控制中心、显示输出装置以及样品架组件，所述样品架组件包括上下依次设置的样品台、螺套、螺杆、底座以及检测台，所述样品台的下端与螺套固定连接，所述螺套与螺杆的一端螺纹活动连接，所述螺杆的另一端与底座固定连接，所述底座的下部设有滑块，所述滑块安装在滑轨内，所述滑轨设置在检测台上部。具体的，所述滑轨有两条，呈十字交叉形状。具体的，所述控制中心控制所述滑块在所述滑轨内的位移。具体的，所述样品台上部还设有真空吸孔。本技术与现有技术相比，具有的优点是：1、避免了手动移动镀膜片造成的镀膜片的报废。2、测试结果避免了人为的主观因素，更加客观合理，可以有效的指导镀膜工序的工艺调整。3、有效提高检测效率，降低检测成本。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术提供的光伏电池PECVD镀膜检测装置的主视图；图2为样品架组件的俯视图；图中：10、底座11、螺杆12、螺套13、样品台130、真空吸孔14、滑块20、分度盘30、发射装置40、接收装置50、校准装置60、检测台61、滑轨70、显示输出装置90、控制中心100、电池片。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。图1为本技术提供的光伏电池PECVD镀膜检测装置的主视图，图2为样品架组件的俯视图，参照图1和图2所示，本技术请求保护一种一种光伏电池PECVD镀膜检测装置，包括分度盘20、发射装置30、接收装置40，校准装置50、控制中心90、显示输出装置70以及样品架组件。所述样品架组件包括上下依次设置的样品台13、螺套13、螺杆11、底座10以及检测台60，所述样品台13的下端与螺套13固定连接，所述螺套13与螺杆11的一端螺纹活动连接，所述螺杆11的另一端与底座10固定连接，所述底座10的下部设有滑块14，所述滑块14安装在滑轨61内，所述滑轨61设置在检测台60上部。使用时，只需将电池片100放置在样品台13的上方，通过滑块14在滑轨61内移动，移动电池片在测试区的相对位置，避免了手动移动电池片带来的种种弊端。滑块14在滑轨61内的移动位置和方向可以通过控制中心90设定的固定程序来完成，这样可以保证每片电池片的检测位置一致，也就是说避免了人为移动电池片带来的主观性，使检测效果更加客观，有利于镀膜工艺的及时调整。样品台13的上下调整可以通过螺套13和螺杆11之间的螺纹连接轻易实现。具体的，所述滑轨60有两条，呈十字交叉形状。具体的，所述控制中心90可以控制所述滑块14在所述滑轨61内的位移，也可以通过手动推动样品台来实现。具体的，所述样品台13上部还设有真空吸孔130来固定电池片100，所述真空吸孔130的真空度有控制中心90控制，可以避免由于机械固定带来的对电池片100镀膜层的破坏。上面结合附图对本专利技术的实施例进行了描述，但是本专利技术并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本专利技术的启示下，在不脱离本专利技术宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，这些均属于本专利技术的保护之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光伏电池PECVD镀膜检测装置，包括分度盘、发射装置、接收装置，校准装置、控制中心、显示输出装置以及样品架组件，其特征在于：所述样品架组件包括上下依次设置的样品台、螺套、螺杆、底座以及检测台，所述样品台的下端与螺套固定连接，所述螺套与螺杆的一端螺纹活动连接，所述螺杆的另一端与底座固定连接，所述底座的下部设有滑块，所述滑块安装在滑轨内，所述滑轨设置在检测台上部。

【技术特征摘要】
1.一种光伏电池PECVD镀膜检测装置，包括分度盘、发射装置、接收装置，校准装置、控制中心、显示输出装置以及样品架组件，其特征在于：所述样品架组件包括上下依次设置的样品台、螺套、螺杆、底座以及检测台，所述样品台的下端与螺套固定连接，所述螺套与螺杆的一端螺纹活动连接，所述螺杆的另一端与底座固定连接，所述底座的下部设有滑块，所述滑块安装在滑轨内，...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁楠楠，
申请(专利权)人：天津英利新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12