一种单晶体硅加工用转移装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶体硅加工用转移装置，包括滑轨和吸盘，所述滑轨平行设置有两个，所述滑轨的两端均固定连接于固定板，所述滑轨上滑动连接有滑套，所述滑套的底端与顶板固定连接，所述顶板的下表面通过液压杆固定连接于支架的一端，所述支架的另一端与连接板固定连接，所述连接板下表面通过弹簧连接于吸盘，所述吸盘上连接有气管，所述顶板的上表面中心处固定连接有滑块，所述滑块与丝杆螺纹连接，所述丝杆的一端连接于步进电机。本实用新型专利技术可以适应单晶硅加工件厚度的差异而造成的与吸盘间的间隙，避免转移时脱落，同时防止单晶硅加工件受到过大的压力，提高吸引效果，固定牢靠，提高转移时的安全性和效率。

A transfer device for single crystal silicon processing

【技术实现步骤摘要】
一种单晶体硅加工用转移装置
本技术属于加工装置
，具体涉及一种单晶体硅加工用转移装置。
技术介绍
单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域，在军事电子设备中也占有重要地位。在单晶硅加工过程中，需要不断的对工件进行转运，由于单晶硅产品质地脆弱易碎，现有的转运机构存在转运安全性底的问题，另外，由于单晶硅工件在一定范围内存在加工误差，导致现有的转移结构不能很好的适应不同厚度的单晶硅加工件，容易与加工件间产生间隙造成转移时脱落或者对加工件施加过大压力造成加工件破损的情况。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶体硅加工用转移装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶体硅加工用转移装置，包括滑轨和吸盘，所述滑轨平行设置有两个，所述滑轨的两端均固定连接于固定板，所述滑轨上滑动连接有滑套，所述滑套的底端与顶板固定连接，所述顶板的下表面通过液压杆固定连接于支架的一端，所述支架的另一端与连接板固定连接，所述连接板下表面通过弹簧连接于吸盘，所述吸盘上连接有气管，所述顶板的上表面中心处固定连接有滑块，所述滑块与丝杆螺纹连接，所述丝杆的一端连接于步进电机。优选的，所述吸盘的中部设有空腔，所述吸盘的下表面设置有一层橡胶防滑层，所述吸盘的下表面设置有连通于空腔的气孔。优选的，所述气管包括进气管和出气管，所述进气管的另一端与鼓风机连接，所述出气管的另一端与真空泵连接。优选的，所述鼓风机与滑轨上固定的接触开关电性连接。优选的，所述弹簧沿着吸盘上表面边缘等间隔分布。优选的，所述丝杆的两端分别与固定板转动连接，所述步进电机固定在远离吸盘一侧的固定板上。本技术的技术效果和优点：该单晶体硅加工用转移装置，通过步进电机驱动丝杆，进而推动滑块前进，使得顶板通过滑套沿着滑轨前进，当吸盘移动至单晶硅加工件上方时，液压杆伸出，进而使得吸盘与单晶硅加工件贴合，在真空泵的作用下，单晶硅加工件通过气孔被吸起固定在吸盘的下表面，此时步进电机反向转动，直至滑套触发接触开关时停止转动，通过接触开关启动鼓风机对吸盘内鼓入空气，可以将单晶硅加工件从吸盘上释放，完成单晶硅加工件的转移，通过橡胶防滑层可以保护单晶硅加工件避免损坏，通过弹簧，可以确保吸盘在一定范围内上下偏移，可以适应单晶硅加工件厚度的差异而造成的与吸盘间的间隙，防止单晶硅加工件受到过大的压力，提高吸引效果，固定牢靠。附图说明图1为本技术的侧视结构示意图。图2为本技术的图1中A处放大结构示意图。图3为本技术的俯视结构示意图。图4为本技术的气管结构示意图。图5为本技术的吸盘结构示意图。图中：1固定板、2滑套、3滑轨、4步进电机、5接触开关、6顶板、7液压杆、8支架、9丝杆、10滑块、11连接板、12气管、121进气管、122鼓风机、123出气管、124真空泵、13吸盘、14弹簧、15气孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了如图1-5所示的一种单晶体硅加工用转移装置，包括滑轨3和吸盘13，所述滑轨3平行设置有两个，所述滑轨3的两端均固定连接于固定板1，所述滑轨3上滑动连接有滑套2，所述滑套2的底端与顶板6固定连接，所述顶板6的下表面通过液压杆7固定连接于支架8的一端，所述支架8的另一端与连接板11固定连接，所述连接板11下表面通过弹簧14连接于吸盘13，所述吸盘13上连接有气管12，所述顶板6的上表面中心处固定连接有滑块10，所述滑块10与丝杆9螺纹连接，所述丝杆9的一端连接于步进电机4。进一步的，所述吸盘13的中部设有空腔，所述吸盘13的下表面设置有一层橡胶防滑层，所述吸盘13的下表面设置有连通于空腔的气孔15。进一步的，所述气管12包括进气管121和出气管123，所述进气管121的另一端与鼓风机122连接，所述出气管123的另一端与真空泵124连接。进一步的，所述鼓风机122与滑轨3上固定的接触开关5电性连接。进一步的，所述弹簧14沿着吸盘13上表面边缘等间隔分布。进一步的，所述丝杆9的两端分别与固定板1转动连接，所述步进电机4固定在远离吸盘13一侧的固定板1上。具体的，使用时，通过步进电机4驱动丝杆9，进而推动滑块10前进，使得顶板6通过滑套2沿着滑轨3前进，当吸盘13移动至单晶硅加工件上方时，液压杆7伸出，进而使得吸盘13与单晶硅加工件贴合，在真空泵124的作用下，单晶硅加工件通过气孔15被吸起固定在吸盘13的下表面，此时步进电机4反向转动，直至滑套2触发接触开关5时停止转动，通过接触开关5启动鼓风机122对吸盘13内鼓入空气，可以将单晶硅加工件从吸盘13上释放，完成单晶硅加工件的转移，通过橡胶防滑层可以保护单晶硅加工件避免损坏，通过弹簧14，可以确保吸盘13在一定范围内上下偏移，可以适应单晶硅加工件厚度的差异而造成的与吸盘13间的间隙，防止单晶硅加工件受到过大的压力，提高吸引效果，固定牢靠。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶体硅加工用转移装置，包括滑轨（3）和吸盘（13），其特征在于：所述滑轨（3）平行设置有两个，所述滑轨（3）的两端均固定连接于固定板（1），所述滑轨（3）上滑动连接有滑套（2），所述滑套（2）的底端与顶板（6）固定连接，所述顶板（6）的下表面通过液压杆（7）固定连接于支架（8）的一端，所述支架（8）的另一端与连接板（11）固定连接，所述连接板（11）下表面通过弹簧（14）连接于吸盘（13），所述吸盘（13）上连接有气管（12），所述顶板（6）的上表面中心处固定连接有滑块（10），所述滑块（10）与丝杆（9）螺纹连接，所述丝杆（9）的一端连接于步进电机（4）。

【技术特征摘要】
1.一种单晶体硅加工用转移装置，包括滑轨（3）和吸盘（13），其特征在于：所述滑轨（3）平行设置有两个，所述滑轨（3）的两端均固定连接于固定板（1），所述滑轨（3）上滑动连接有滑套（2），所述滑套（2）的底端与顶板（6）固定连接，所述顶板（6）的下表面通过液压杆（7）固定连接于支架（8）的一端，所述支架（8）的另一端与连接板（11）固定连接，所述连接板（11）下表面通过弹簧（14）连接于吸盘（13），所述吸盘（13）上连接有气管（12），所述顶板（6）的上表面中心处固定连接有滑块（10），所述滑块（10）与丝杆（9）螺纹连接，所述丝杆（9）的一端连接于步进电机（4）。2.根据权利要求1所述的一种单晶体硅加工用转移装置，其特征在于：所述吸盘（13）的中部设有空腔，所述吸盘（13）的下表面设置有一层橡胶...

【专利技术属性】
技术研发人员：李秀春，
申请(专利权)人：福建鑫隆光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35