The utility model discloses a polishing device of single crystal silicon processing, including tray and desktop, the desktop is fixedly connected with a collar, the collar is arranged in the tray, the tray under the surface by a spring is fixedly connected to the telescopic end surface of roof, the center of the roof and the hydraulic rod is fixedly connected. The hydraulic rod is fixed on the frame, one side of the desktop and the bottom of the column is fixedly connected with the top of the column is installed on the motor, the output shaft of the motor is installed on the polishing disc, the other side of the desktop is provided with a switch box, a machine frame is provided with a vacuum pump. The utility model can relieve the situation that the polishing wheel causes great pressure due to the different thickness of the silicon wafer. Vacuum can effectively fix the monocrystalline silicon sheets, prevent the loosening of the monocrystalline silicon wafers when polishing, and improve the processing rate.
【技术实现步骤摘要】
一种单晶体硅加工用抛光装置
本技术属于晶体加工装置
,具体涉及一种单晶体硅加工用抛光装置。
技术介绍
单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势,近三十年来,太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展,成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域,在军事电子设备中也占有重要地位。在单晶体硅切割成薄片之后,通常需要至少对其中的一面进行打磨抛光后才能使用,现有的单晶硅薄片抛光装置由于不能很好的适应不同厚度的单晶硅薄片,容易对单晶硅薄片造成损坏,而且抛光时单晶硅薄片固定不牢靠,容易松动,造成次品率偏高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶体硅加工用抛光装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种单晶体硅加工用抛光装置,包括托盘和桌面,所述桌面上固定连接有套环,所述套环内设有托盘,所述托盘下表面通过弹簧固定连接于顶板,所述顶板下表面中心处与液压杆的伸缩端固定连接,所述液压杆固定在机架上,所述桌面的一侧与立柱的底端固定连接,所述立柱的顶部安装有电机,所述电机的输出转轴上安装有抛光盘,所述桌面的另一侧安装有开关盒,所述机架上还安装有真空泵。优选的,所述套环的两侧均设有用于单晶硅切片通过的通槽,所述通槽与桌面以及托盘的上表面重合,所述 ...
【技术保护点】
一种单晶体硅加工用抛光装置,包括托盘(9)和桌面(12),其特征在于:所述桌面(12)上固定连接有套环(3),所述套环(3)内设有托盘(9),所述托盘(9)下表面通过弹簧(11)固定连接于顶板(10),所述顶板(10)下表面中心处与液压杆(8)的伸缩端固定连接,所述液压杆(8)固定在机架(6)上,所述桌面(12)的一侧与立柱(14)的底端固定连接,所述立柱(14)的顶部安装有电机(1),所述电机(1)的输出转轴上安装有抛光盘(2),所述桌面(12)的另一侧安装有开关盒(4),所述机架(6)上还安装有真空泵(7)。
【技术特征摘要】
1.一种单晶体硅加工用抛光装置,包括托盘(9)和桌面(12),其特征在于:所述桌面(12)上固定连接有套环(3),所述套环(3)内设有托盘(9),所述托盘(9)下表面通过弹簧(11)固定连接于顶板(10),所述顶板(10)下表面中心处与液压杆(8)的伸缩端固定连接,所述液压杆(8)固定在机架(6)上,所述桌面(12)的一侧与立柱(14)的底端固定连接,所述立柱(14)的顶部安装有电机(1),所述电机(1)的输出转轴上安装有抛光盘(2),所述桌面(12)的另一侧安装有开关盒(4),所述机架(6)上还安装有真空泵(7)。2.根据权利要求1所述的一种单晶体硅加工用抛光装置,其特征在于:所述套环(3)的两侧均设有用于单晶硅切片通过的通槽(13),所述通槽(13)与桌面(12)以及托盘(9)的上表面重合,所述抛光盘(2)、套环(3)和托盘(9)的中...
【专利技术属性】
技术研发人员:李秀春,
申请(专利权)人:福建鑫隆光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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