一种冷凝吸附式金刚石薄膜生产废气处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种冷凝吸附式金刚石薄膜生产废气处理设备，包括外壳，所述外壳内部从左到右依次设置有亲油疏水海绵、挡板和冷凝管，且亲油疏水海绵通过通风孔与冷凝管相连接，所述通风孔通过出气口与引风机相连接，所述亲油疏水海绵通过挤压板与气泵相连接，且亲油疏水海绵与储油室之间设置有渗油层，所述冷凝管下方设置有渗水层，所述渗水层下方设置有集水箱，且集水箱通过高效过滤网与出水阀门相连接，所述外壳右壁安装有进气口，且进气口与通气孔在同一水平线上。本实用新型专利技术的投入、运行成本都很小，运行操作简单可靠，而且对废气中油、有机溶剂等分离效果好，其分离出来的油、有机溶剂可回用，净化后的水也可以返回使用。

A kind of condensing adsorbed diamond film production waste gas treatment equipment

【技术实现步骤摘要】
一种冷凝吸附式金刚石薄膜生产废气处理设备
本技术涉及金刚石薄膜制备
，具体为一种冷凝吸附式金刚石薄膜生产废气处理设备。
技术介绍
金刚石的硬度在固体材料中最高，达HV100GPa，热导率为20W·cm-l·K-1，为铜的5倍，禁带宽度为5.47eV，室温电阻率高达1016Ω·cm，通过掺杂可以形成半导体材料。金刚石在从紫外到红外广阔频带里都有很高的光学透射率，它还是一种优良耐腐蚀材料。金刚石膜的制备方法有热化学气相沉积(TCVD)和等离子体化学气相沉积(PCVD)两大类。现正在研究将研制得到的金刚石膜作耐磨涂层、声学膜片、光学窗口、集成电路高热导基片。还研究在硅片上外延单晶金刚石膜，以制备金刚石器件。化学气相沉积的主要方法有金属有机化学气相沉积(MOCVD)，等离子体辅助化学气相沉积和激光化学气相沉积(LCVD)等，而应用最广的主要是等离子体辅助化学气相沉积。在化工、石油化工、医药、纺织、涂层、脱脂、食品、农药等行业一般都要使用大量的有机溶剂，如苯、甲苯、二甲苯等芳香类溶剂及乙醇、异丙醇、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丁酮、二氯乙烷、氯乙烷、烃类等。这些有机溶剂主要是低沸点、易挥发性有机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种冷凝吸附式金刚石薄膜生产废气处理设备，包括外壳(7)，其特征在于：所述外壳(7)内部从左到右依次设置有亲油疏水海绵(2)、挡板(20)和冷凝管(5)，且亲油疏水海绵(2)通过通风孔(19)与冷凝管(5)相连接，所述通风孔(19)通过出气口(9)与引风机(1)相连接，所述亲油疏水海绵(2)通过挤压板(3)与气泵(4)相连接，且亲油疏水海绵(2)与储油室(11)之间设置有渗油层(13)，所述冷凝管(5)下方设置有渗水层(16)，所述渗水层(16)下方设置有集水箱(15)，且集水箱(15)通过高效过滤网(17)与出水阀门(18)相连接，所述外壳(7)右壁安装有进气口(8)，且进气口(8)与通风孔...

【技术特征摘要】
1.一种冷凝吸附式金刚石薄膜生产废气处理设备，包括外壳(7)，其特征在于：所述外壳(7)内部从左到右依次设置有亲油疏水海绵(2)、挡板(20)和冷凝管(5)，且亲油疏水海绵(2)通过通风孔(19)与冷凝管(5)相连接，所述通风孔(19)通过出气口(9)与引风机(1)相连接，所述亲油疏水海绵(2)通过挤压板(3)与气泵(4)相连接，且亲油疏水海绵(2)与储油室(11)之间设置有渗油层(13)，所述冷凝管(5)下方设置有渗水层(16)，所述渗水层(16)下方设置有集水箱(15)，且集水箱(15)通过高效过滤网(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚闯，吴剑波，朱长征，余斌，
申请(专利权)人：上海征世科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31