有机电致发光装置制造方法及图纸

本发明专利技术的一个方式的有机电致发光装置具备：基材；设置在上述基材上的薄膜晶体管；平坦化层，该平坦化层设置在上述薄膜晶体管上，且具有在与上述基材相反的一侧开口的接触孔；至少沿着上述接触孔的表面设置的反射层；填充层，该填充层隔着上述反射层被填充在上述接触孔的内侧，且具有透光性；和形成在上述平坦化层和上述接触孔上的有机EL元件。

Organic electroluminescent device

One embodiment of the present invention of the organic electroluminescent device includes: a substrate; a thin film transistor is arranged on the substrate; a planarization layer and the planarization layer is arranged on the thin film transistor, and has a contact hole opening in the opposite side of the substrate; the reflective layer at least along the surface of the contact hole set the filling layer; the filling layer across the reflecting layer is filled inside the contact hole, and is transparent; and formed on the planarization layer and the organic EL element on the contact hole.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有机电致发光装置
本专利技术涉及有机电致发光装置。本申请基于2015年4月16日在日本申请的特愿2015-084359号主张优先权，在此援用其内容。
技术介绍
以往，有机EL元件(OLED)作为下一代显示技术的候补已进行了开发。有机EL元件是发光元件，其发光区域由被称为边缘罩的绝缘膜的开口区域规定。有机EL元件整体为200nm的极薄的膜厚，因此，不能在将像素电极和电路配线连接的接触孔等凹凸大的部分形成元件。因此，存在越是高精细，由接触孔导致的发光区域的减少越大的问题。由于配线与像素电极的接触电阻的关系，接触孔需要10μm左右的外形尺寸。因此，越是高精细面板，由接触孔导致的发光区域的减少越显著。另外，接触孔的壁面陡峭地形成。因此，当形成作为薄膜的有机EL元件时，有在有机EL元件的上部电极与下部电极之间发生短路，或者不发光而产生像素缺陷的情况。专利文献1公开了防止接触孔处的有机EL元件的成膜不良的技术。在专利文献1中，在像素电极上的电极孔中埋入绝缘体，形成保护部之后进行有机EL材料的成膜，由此，能够防止电极孔处的有机EL材料的成膜不良。由此，能够防止由于有机EL元件的上部电极与下部电极之间的短路而产生电流集中，防止有机EL层的发光不良。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-103117号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题但是，在现有文献1中，在电极孔中没有形成有机EL元件的下部电极，因此，有机EL元件在接触孔上不发光。在这样的结构的情况下，由接触孔导致的非发光区域占据像素面积的大部分，因此，难以实现显示面板的高精细化。本专利技术的一个方式是鉴于上述现有技术的问题点而做出的，其目的在于提供能够使接触孔上的有机EL元件发光的有机电致发光装置。用于解决技术问题的手段本专利技术的一个方式的有机电致发光装置具备：基材；设置在所述基材上的薄膜晶体管；平坦化层，该平坦化层设置在所述薄膜晶体管上，且具有在与所述基材相反的一侧开口的接触孔；至少沿着所述接触孔的表面设置的反射层；填充层，该填充层隔着所述反射层被填充在所述接触孔的内侧，且具有透光性；和形成在所述平坦化层和所述接触孔上的有机EL元件。在本专利技术的一个方式的有机电致发光装置中，可以构成为：用与所述基材的上表面垂直的任意平面切断而得到的所述接触孔的截面形状为圆弧状。在本专利技术的一个方式的有机电致发光装置中，可以构成为：所述接触孔的位置的所述有机EL元件的下表面，与位于所述接触孔以外的所述反射层的与所述基材相反的一侧的表面相比位于下方。在本专利技术的一个方式的有机电致发光装置中，可以构成为：所述接触孔中的所述反射层的截面是以通过所述接触孔的中央的最下点且与所述基材的所述上表面垂直的中心轴为中心旋转对称形的抛物面。在本专利技术的一个方式的有机电致发光装置中，可以构成为：所述接触孔中的所述反射层的截面形状是所述抛物面的焦点位置位于发光层的内部的抛物线形状。在本专利技术的一个方式的有机电致发光装置中，可以构成为，所述有机EL元件具备：第一电极，该第一电极至少设置在所述填充层的上层侧，且具有透光性；有机层，该有机层设置在所述第一电极的上层侧，且至少包含发光层；和第二电极，该第二电极设置在所述有机层的上层侧，且具有透光性和光反射性。在本专利技术的一个方式的有机电致发光装置中，可以构成为：通过将多个包含设置在所述接触孔上的所述有机EL元件的子像素排列而构成1个像素。专利技术效果根据本专利技术的一个方式，能够提供能够使接触孔上的有机EL元件发光的有机电致发光装置。附图说明图1是第一实施方式的有机EL装置的平面图。图2是第一实施方式的有机EL装置的立体图。图3是用与基材的上表面垂直的任意平面将有机EL装置切断而得到的截面图。图4是表示各色的每个子像素的详细结构的截面图。图5A是表示比较例1的有机EL装置的子像素构造(分涂型、不包含接触孔上的构造)的图。图5B是表示实施例1的有机EL元件的子像素构造(分涂型、包含接触孔上的构造)的图。图5C是表示比较例2的有机EL元件的子像素构造(彩色滤光片型、不包含接触孔上的构造)的图。图5D是表示变形例的有机EL元件的子像素构造(彩色滤光片型、不包含接触孔上的构造)的图。图6A是表示以往的有机EL装置的截面图。图6B是表示本实施方式的有机EL装置的截面图。图7是表示第二实施方式的有机EL装置的主要部分结构的截面图。图8是将图7的由点划线包围的区域放大表示的光路图。图9是表示第三实施方式的有机EL装置的主要部分结构的截面图。图10是用于对第三实施方式的接触孔的形状效应进行说明的图。具体实施方式以下，对本专利技术的实施方式进行说明。此外，在以下的各附图中，为了使得容易看到各构成要素，有时使尺寸的比例尺根据构成要素而不同地进行表示。[第一实施方式]以下，对本专利技术的第一实施方式进行说明。第一实施方式的有机EL装置是采用微腔构造的顶部发光方式的有机EL装置的一个例子。图1是第一实施方式的有机EL装置的平面图。有机EL装置1是具有呈矩阵状排列有多个像素P的显示区域E的显示装置。各像素P由在显示区域E的左右方向上依次配置的RGB的3个子像素11构成。子像素11R发红色光，绿色的子像素11G发绿色光，蓝色的子像素11B发蓝色光。这些红色子像素11R、绿色子像素11G和蓝色子像素11B只是发光层的构成材料不同，其他的结构相同。在本实施方式中，通过公知的分涂法，形成各色的子像素11R、11B、11G。红色子像素11R、绿色子像素11G和蓝色子像素11B各自能够独立地进行电场施加(驱动)。在图1中，虽然省略图示，但是例如在基材7上，多个数据线和多个扫描线相互交叉地设置，在由彼此相邻的数据线和彼此相邻的扫描线包围的区域设置有一个子像素11。如图1所示，在从有机EL装置1的上表面的法线方向看时，1个子像素11各自具有长方形的形状。另外，1个像素P的平面形状为正方形，正方形的一边的长度L例如为90μm。在本实施方式中，在每个子像素11，设置有平面形状为圆形的接触孔9。接触孔9的直径φ例如为5～7μm。此外，接触孔9的平面形状并不限于圆形，也可以为其他形状。图2是第一实施方式的有机EL装置的立体图。图3是用与基材的上表面垂直的任意平面将有机EL装置切断而得到的截面图，是沿着图1的A-A’线的截面图。在图3中，表示TFT元件与像素电极连接的连接部分的构造。本实施方式的有机EL装置1，如图2所示，有机EL装置1具有TFT阵列基板2和多个有机EL元件10，在每个子像素11设置的有机EL元件10的一部分形成在接触孔9上。以往，除了TFT19的接触孔9上的区域以外，形成有有机EL元件10，但是在本实施方式中，为将有机EL元件10形成至包含接触孔9的区域的结构。因此，与以往相比，发光区域扩大。如图3所示，有机EL元件10具备：第一电极4；包含发光层的有机层5；和第二电极6。有机EL装置1是顶部发光型的有机EL装置，从发光层发出的光从第二电极6侧射出。本实施方式的有机EL元件10通过薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，以下简称为TFT19)等开关元件与数据线以及扫描线连接。即，本实施方式的有机EL装置1是有源矩阵方式的有机EL装置。在此，作为对各子像素11独立地施加电场的结构，采用了图3所示的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机电致发光装置，其特征在于，具备：基材；设置在所述基材上的薄膜晶体管；平坦化层，该平坦化层设置在所述薄膜晶体管上，且具有在与所述基材相反的一侧开口的接触孔；至少沿着所述接触孔的表面设置的反射层；填充层，该填充层隔着所述反射层被填充在所述接触孔的内侧，且具有透光性；和形成在所述平坦化层和所述接触孔上的有机EL元件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.04.16 JP 2015-0843591.一种有机电致发光装置，其特征在于，具备：基材；设置在所述基材上的薄膜晶体管；平坦化层，该平坦化层设置在所述薄膜晶体管上，且具有在与所述基材相反的一侧开口的接触孔；至少沿着所述接触孔的表面设置的反射层；填充层，该填充层隔着所述反射层被填充在所述接触孔的内侧，且具有透光性；和形成在所述平坦化层和所述接触孔上的有机EL元件。2.根据权利要求1所述的有机电致发光装置，其特征在于：用与所述基材的上表面垂直的任意平面切断而得到的所述接触孔的截面形状为圆弧状。3.根据权利要求1或2所述的有机电致发光装置，其特征在于：所述接触孔的位置的所述有机EL元件的下表面，与位于所述接触孔以外的所述反射层的与所述基材相反的一侧的表面相比位于下方。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上智，菊池克浩，内田秀树，小池英士，小原将纪，塚本优人，矶村良幸，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP