一种扩散炉自动控制方法技术
An automatic control method for diffusion furnace
The automatic control method of the invention discloses a diffusion furnace, which comprises the following steps: S101, vacuum pumping to set pressure; S102, the furnace heating to the set temperature; S103, stop pumping vacuum, and inflated to second set pressure; S104, stop aeration, heating to second temperature; S105, stop heating, and inflation to third pressure; S106, stop the inflation, while waiting for the furnace to third natural cooling temperature; S107, open the fan at the same time maintaining pressure, cooling to the set temperature; S108, stop the fan, deflation. The invention makes the furnace temperature strictly according to the given temperature curve, not only the heating stage can rise according to the requirements, but also can quickly reach a steady state, the overshoot and the temperature curve is very small, the control precision can reach 1%, and realize the automation of the whole process of the production process, reduce the labor intensity of operation personnel.
【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉自动控制方法
本专利技术涉及扩散炉领域，尤其涉及一种扩散炉自动控制方法。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。但是，传统的扩散炉控制系统的温度及工艺控制由人工通过调节各种控制仪表实现,不仅操作人员的劳动强度大、自动化程度低,而且试验准确性很难保证。
技术实现思路
本专利技术的目的在于通过一种扩散炉自动控制方法，来解决以上
技术介绍
部分提到的问题。为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：一种扩散炉自动控制方法，其包括如下步骤：S101、抽真空到设定压力；S102、炉体加热升温至设定温度；S103、停止抽真空，并充气到第二设定压力；S104、停止充气，并升温至第二温度；S105、停止升温，同时充气至第三压力；S106、停止充气，同时等待炉体自然降温至第三温度；S107、开风机同时保压，冷却至设定温度；S108、停止风机，放气。本专利技术提出的扩散炉自动控制方法实现了对扩散炉温度和工艺过程控制，操作简单，可靠性好,提高了温度控制精度及工艺过程自动...
【技术保护点】
一种扩散炉自动控制方法，其特征在于，包括如下步骤：S101、抽真空到设定压力；S102、炉体加热升温至设定温度；S103、停止抽真空，并充气到第二设定压力；S104、停止充气，并升温至第二温度；S105、停止升温，同时充气至第三压力；S106、停止充气，同时等待炉体自然降温至第三温度；S107、开风机同时保压，冷却至设定温度；S108、停止风机，放气。
【技术特征摘要】
1.一种扩散炉自动控制方法，其特征在于，包括如下步骤：S101、抽真空到设定压力；S102、炉体加热升温至设定温度；S103、停止抽真空，并充气到第二设定压力；S104、停止充气...
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