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文档序号:16884911

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本发明公开一种扩散炉自动控制方法,包括如下步骤:S101、抽真空到设定压力;S102、炉体加热升温至设定温度;S103、停止抽真空,并充气到第二设定压力;S104、停止充气,并升温至第二温度;S105、停止升温,同时充气至第三压力;S106...
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