一种基于H型气浮导轨的运动平台制造技术

本发明专利技术公开了一种基于H型气浮导轨的运动平台，包括：载物平台，其底部两侧设有X向气浮导轨；Y向运动基座，其上固定有X向导轨基座，Y向运动基座两端的底部设有Y向气浮导轨；底座上设有Y向直线电机定子，Y向运动基座底部设有Y向直线电机动子；可伸缩的X向防护罩和Y向防护罩，Y向运动基座的两侧设有X向防护安装板，底座的两侧设有Y向防护安装板。当运动平台工作时，X向气浮导轨和Y向气浮导轨通入气体，调节气膜间隙，在X向直线电机和Y向直线电机的驱动下，即可实现运动平台的低摩擦运动。此外，通过X向防护罩和Y向防护罩，可防止生产加工产生的废屑进入气浮工作面内，进而影响运动平台的运动精度和正常工作。

A motion platform based on H air floating guide

The invention discloses a moving platform, based on H type air guide includes a loading platform on both sides of the bottom of the X to the air guide; Y to X to the moving base, a guide rail base fixed on the Y to exercise at the two ends of the base is arranged at the bottom of the Y to the air guide; the base is provided with a stator to line Y motor Y to exercise at the bottom of the base is provided with a Y to the linear motor; scalable X to shield and Y to shield Y to both sides of the motion base is provided with a X mounting plate to the door, the base are arranged on both sides of the mounting plate to the door Y. When the moving platform works, X moves the gas into the air floating guideway and Y to the air floating guideway, regulates the air gap. Under the driving of X to the linear motor and Y to the linear motor, the low friction motion of the moving platform can be realized. In addition, through the X to the protective cover and Y shield, we can prevent the waste generated by the production process from entering the air floating working face, and then affect the motion accuracy and normal work of the motion platform.

【技术实现步骤摘要】
一种基于H型气浮导轨的运动平台
本专利技术涉及精密运动
，特别是涉及一种基于H型气浮导轨的运动平台。
技术介绍
随着先进电子制造特征尺寸的越来越小，电子制造设备中对运动定位平台的精度性能要求也越来越高，如光刻机、大面板液晶显示器制造和检测设备、光学扫描检测等设备中的运动平台都要求达到微米级的定位精度。目前常用的十字形结构的运动平台将两个直线单自由度运动模块分别沿X和Y方向层叠安装，Y方向运动模块固定在基座上，X方向运动模块固定在Y方向运动模块的电机动子上，而工作台安置在X方向运动模块的电机动子上。这种结构形式简单，结构紧凑，但是系统刚度较差。当行程过长、负载过大时会产生较大的倾斜力矩，导致系统变形和振动，影响运动精度，此外系统的驱动电机均集中在工作空间的中心部位，在一些对温度要求严苛的应用场合并不适用。因此，如何提供一种刚度强、运动精度高的运动平台，是本领域技术人员急需解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种基于H型气浮导轨的运动平台，可以有效解决刚度差、运动精度低等问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供了如下技术方案：一种基于H型气浮导轨的运动平台，包括：载物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于H型气浮导轨的运动平台，其特征在于，包括：载物平台，其底部两侧设有X向气浮导轨，所述载物平台底部还设有X向直线电机动子；X向导轨基座，其设置在所述载物平台的底部，且和所述X向气浮导轨相互配合；Y向运动基座，其上固定有所述X向导轨基座，所述Y向运动基座上还设有和所述X向直线电机动子相互配合的X向直线电机定子，所述Y向运动基座两端的底部设有Y向气浮导轨；底座，所述Y向气浮导轨滑动连接在所述底座上，所述底座上设有Y向直线电机定子，所述Y向运动基座底部设有和所述Y向直线电机定子相互配合的Y向直线电机动子；可伸缩的X向防护罩和Y向防护罩，所述Y向运动基座的两侧设有X向防护安装板，所述底座的两侧设...

【技术特征摘要】
1.一种基于H型气浮导轨的运动平台，其特征在于，包括：载物平台，其底部两侧设有X向气浮导轨，所述载物平台底部还设有X向直线电机动子；X向导轨基座，其设置在所述载物平台的底部，且和所述X向气浮导轨相互配合；Y向运动基座，其上固定有所述X向导轨基座，所述Y向运动基座上还设有和所述X向直线电机动子相互配合的X向直线电机定子，所述Y向运动基座两端的底部设有Y向气浮导轨；底座，所述Y向气浮导轨滑动连接在所述底座上，所述底座上设有Y向直线电机定子，所述Y向运动基座底部设有和所述Y向直线电机定子相互配合的Y向直线电机动子；可伸缩的X向防护罩和Y向防护罩，所述Y向运动基座的两侧设有X向防护安装板，所述底座的两侧设有Y向防护安装板，所述X向防护罩的两端分别和所述X向防护安装板以及所述载物平台连接，所述Y向防护罩的两端分别和所述Y向防护安装板以及所述Y向运动基座...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹自强，刘震，刘浩，林剑，柴宁，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东,44