高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材的压力烧结装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材的压力烧结装置，包括机架，固定在机架上的压力炉、与压力炉连通的惰性气体瓶，压力炉设置有压力炉上盖、压力炉体和压力炉座，压力炉上盖设置有排气阀，压力炉体与压力炉座之间通过液压装置顶升密封，压力炉座内放置有高密度氧化铌旋转靶材生坯；高密度氧化铌旋转靶材生坯整体呈圆筒形，高密度氧化铌旋转靶材的内部设有内衬管，该内衬管与高密度氧化铌旋转靶材之间设有一邦定层。本实用新型专利技术压力烧结高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材为高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材，采用压力烧结的方式制造而成，密度高达98％以上，性能优良，靶材密度均匀，使用过程稳定。

Pressure sintering device for high density niobium oxide Nb2O5 rotating target

The utility model discloses a device, a high density of niobium oxide Nb2O5 rotary target pressure sintering comprises a frame, which is fixed on the machine frame, and the furnace pressure pressure furnace communicated with the inert gas pressure bottle, furnace is provided with a pressure furnace cover, furnace pressure and pressure furnace, furnace pressure is arranged on the upper cover of exhaust valve between the pressure, the furnace body and the furnace pressure through the hydraulic lifting device seat sealing seat is arranged in the furnace pressure, high density niobium oxide rotary target green; high density niobium oxide rotary target green cylindrical whole internal high density niobium oxide rotary target with inner liner, a bonding layer is arranged between the inner liner and high density niobium oxide rotary target. The pressure sintered high-density niobium oxide Nb2O5 rotary target is a high-density niobium oxide Nb2O5 rotary target material, which is made by pressure sintering. The density is higher than 98%, and its performance is excellent. The target density is uniform, and the use process is stable.

【技术实现步骤摘要】
高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材的压力烧结装置
本技术涉及靶材领域，尤其涉及的是一种高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材的压力烧结装置。
技术介绍
氧化铌Nb2O5靶材就是将氧化铌Nb2O5粉末经加水,加粘接剂混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结(1200度，通氩气烧结)形成的深色陶瓷半导体。氧化铌Nb2O5靶材广泛应用于增透膜、薄膜太阳能电池的制造。它的分子量为266，理论密度4.47g/cm3。熔点1485℃±5℃。不溶于水,难溶于酸,能溶于熔融硫酸氢钾或碱金属的碳酸盐、氢氧化物中。溶解情况:不溶于水，除硫酸和氢氟酸外，不溶于其它酸。不能在大气中烧结。目前的生产工艺方法就是真空热压法烧结，使用这种方法只能生产平面氧化铌Nb2O5靶材，而平面靶材的材料利用率很低，只有25％左右。致使镀膜材料成本很高。不用热压法,则烧结密度较低只有85％左右,使用中会产生打弧,杂质含量高等问题,无法生产高品质的增透层。因此，现有技术存在缺陷，需要改进。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是：提供一种采用可以压力烧结高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材的压力烧结装置。本技术的技术方案如下：一种高密度氧化铌本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材的压力烧结装置，其特征在于：包括机架，固定在机架上的压力炉、与压力炉连通的惰性气体瓶，其中，压力炉设置有压力炉上盖、压力炉体和压力炉座，压力炉上盖设置有排气阀，压力炉体与压力炉座之间通过液压装置顶升密封，并且，压力炉座内放置有高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材生坯；其中，高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材生坯整体呈圆筒形，高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材的内部设有内衬管，该内衬管与高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材之间设有一邦定层。

【技术特征摘要】
1.一种高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材的压力烧结装置，其特征在于：包括机架，固定在机架上的压力炉、与压力炉连通的惰性气体瓶，其中，压力炉设置有压力炉上盖、压力炉体和压力炉座，压力炉上盖设置有排气阀，压力炉体与压力炉座之间通过液压装置顶升密封，并且，压力炉座内放置有高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材生坯；其中，高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材生坯整体呈圆筒形，高密度氧化铌Nb2O5旋转靶材的内部设有内衬管，该内衬管与高密度...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡茂横，
申请(专利权)人：深圳恒泰克科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44