一种柔性触控母板及制备方法、柔性触控基板、触控面板技术

本发明专利技术实施例提供一种柔性触控母板及制备方法、柔性触控基板、触控面板，涉及显示技术领域，可降低方阻同时改善膜层应力问题，避免出现鼓泡不良，提高产品良率。该制备方法包括对形成在柔性薄膜上的第一透明导电层进行图案化处理，形成第一、第二电极；第一透明导电层由多次沉积的多层第一透明导电膜构成；沉积的第一层第一透明导电膜的厚度为15～45nm，且多层第一透明导电膜的总厚度为120～200nm。

A flexible touch board and preparation method, flexible substrate, touch touch panel

The embodiment of the invention provides a flexible touch board and preparation method, flexible substrate, touch touch panel, relates to the technical field of display, can reduce the resistance and improve the film stress, avoid bubbling, improve product yield. The preparation method comprises forming on a flexible film on the first transparent conductive layer is patterned, forming the first and second electrodes; a first transparent conductive layer is composed of multiple deposition multilayer first transparent conductive film; deposition of the first layer of a first transparent conductive film thickness is 15 ~ 45nm, and the total thickness of the first multilayer transparent conductive film the 120 ~ 200nm.

【技术实现步骤摘要】
一种柔性触控母板及制备方法、柔性触控基板、触控面板
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种柔性触控母板及制备方法、柔性触控基板、触控面板。
技术介绍
随着柔性触控显示产品窄边框、无边框的逐步发展，柔性触控电极(即Sensor)在边框边缘布线的空间将进一步缩小，要求Sensor的制备工艺在显示区(即Pattern区)必须达到更低的通道阻抗，以降低面电阻(或称方阻)。方阻的符号为Rs，表达式为Rs＝ρ/t；其中，ρ为电极材料的电阻率，t为电极的厚度。Sensor通常采用ITO(IndiumTinOxide，氧化铟锡)透明导电材料构成，目前业界普遍在使用的ITO方阻为100Ω/□(符号“□”表示方块)，为降低面内方阻，ITO方阻需要降低至30Ω/□左右，相应的厚度约为135nm由方阻的表达式可知，在电阻率ρ不变的情况下，为达成Sensor低通道阻抗工艺，走线方阻远小于显示区域的面内方阻，ITO镀膜需增加镀膜功率以增加膜厚，降低方阻。然而，增加镀膜功率后，由于厚度较大的ITO是经过一次镀膜直接形成的，膜层中应力分布不均，存在局部应力较大的区域。在后续形成覆盖ITO的保护层(OverCoat本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性触控母板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括，对形成在柔性薄膜上的第一透明导电层进行图案化处理，形成位于显示区域内的多条交叉设置的第一电极与第二电极；其中，所述第一透明导电层由多次沉积的多层第一透明导电膜构成；沉积的第一层所述第一透明导电膜的厚度为15～45nm，且所述多层第一透明导电膜的总厚度为120～200nm。

【技术特征摘要】
1.一种柔性触控母板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括，对形成在柔性薄膜上的第一透明导电层进行图案化处理，形成位于显示区域内的多条交叉设置的第一电极与第二电极；其中，所述第一透明导电层由多次沉积的多层第一透明导电膜构成；沉积的第一层所述第一透明导电膜的厚度为15～45nm，且所述多层第一透明导电膜的总厚度为120～200nm。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一透明导电层由两次沉积的两层第一透明导电膜构成；其中，沉积的第二层所述第一透明导电膜的厚度为90～120nm；或者，所述第一透明导电层由三次沉积的三层第一透明导电膜构成；其中，沉积的每层所述第一透明导电膜的厚度均为45nm。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述对形成在柔性薄膜上的第一透明导电层进行图案化处理，形成位于显示区域内的多条交叉设置的第一电极与第二电极的步骤之前，所述制备方法还包括，在玻璃基板上涂覆粘合剂；对所述粘合剂进行加热处理，以去除所述粘合剂中的有机溶剂组分；对加热处理后的所述粘合剂进行降温处理，并将柔性薄膜贴覆在所述粘合剂上。4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述加热处理的温度为150～200℃、加热时间为30～60min。5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述对形成在柔性薄膜上的第一透明导电层进行图案化处理，形成位于显示区域内的多条交叉设置的第一电极与第二电极的步骤之前，所述制备方法还包括，在所述柔性薄膜表面形成消隐层；所述第一透明导电层形成在所述消隐层上。6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述柔性触控母板在可见光区的反射率小于12％。7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述消隐层包括依次远离所述柔性薄膜的第一光学层和第二光学层；其中，所述第一光学层的折射率为1.65，厚度为40～50nm；所述第二光学层的折射率为1.49，厚度为160～200nm；或者，所述消隐层的折射率为1.65，厚度为40～50nm。8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在所述对形成在柔性薄膜上的第一透明导电层进行图案化处理，形成位...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾亭，张明，李红军，陈启程，张由婷，殷刘岳，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11