可预防管路堵塞的排气管路监控系统技术方案

一种可预防管路堵塞的排气管路监控系统，包含一个排气单元、一个尾气处理单元、一个感测单元，及一个监控单元。该排气单元包括一个用以运输废气的导气管。该感测单元包括一个连接该排气单元的导气管以侦测压力的压力侦测器，及一个电连接该压力侦测器并可显示该压力侦测器所测得的压力值的压力警示器。该压力侦测器可量测该导气管的压力值，并通过该压力警示器显示该导气管的压力状况，以供使用者评估该导气管是否有堵塞现象并可提早排除。

【技术实现步骤摘要】
可预防管路堵塞的排气管路监控系统
本技术涉及一种排气管路监控系统，特别是涉及一种用于半导体制程设备且可预防管路堵塞的排气管路监控系统。
技术介绍
半导体是目前市面上电子产品不可或缺的核心组件，因此需求甚巨，然而半导体制程中会产生具可燃性、爆炸性，及腐蚀性等性质的有害废气，若未经处理便直接排入大气中，不但会对人体造成伤害，也会对自然生态带来莫大的冲击。因此现时多会使用尾气处理系统来处理半导体制程设备所产生的有害气体。参阅图1，现有的排气管路系统1包含一个排气单元11、一个连接该排气单元11的尾气处理单元12，及一个设置于该排气单元11上的温度侦测单元13。该排气单元11包括一个提供抽气动力的真空泵111、一个连接该真空泵111及该尾气处理单元12的导气管112、一个连接该导气管112并可受控制地启闭的电磁阀113，及一个连接该电磁阀113的进气管114。该温度侦测单元13包括一个连接该导气管112以侦测温度的温度侦测器131，及一个电连接该温度侦测器131及该电磁阀113的温度警示器132。该真空泵111可将有害气体引入该导气管112中，并顺着该导气管112流向该尾气处理单元12进行处本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可预防管路堵塞的排气管路监控系统，其特征在于：该排气管路监控系统包含一个排气单元、一个尾气处理单元、一个感测单元，及一个监控单元，该排气单元包括一个导气管、一个连接该导气管并用于将气体沿该导气管泵送的真空泵、一个连接该导气管并可受控制而启闭的电磁阀，及一个连接该电磁阀并可导入氮气的进气管，当该电磁阀开启时，该进气管是连通该导气管，以将氮气送入该进气管，当该电磁阀关闭时，该进气管是不连通该导气管，该尾气处理单元连通该导气管并处理由该导气管输入的气体，该感测单元包括一个连接该导气管以侦测温度的温度侦测器、一个电连接该温度侦测器及该排气单元的电磁阀的温度警示器、一个连接该导气管以侦测压力的压力侦...

【技术特征摘要】
1.一种可预防管路堵塞的排气管路监控系统，其特征在于：该排气管路监控系统包含一个排气单元、一个尾气处理单元、一个感测单元，及一个监控单元，该排气单元包括一个导气管、一个连接该导气管并用于将气体沿该导气管泵送的真空泵、一个连接该导气管并可受控制而启闭的电磁阀，及一个连接该电磁阀并可导入氮气的进气管，当该电磁阀开启时，该进气管是连通该导气管，以将氮气送入该进气管，当该电磁阀关闭时，该进气管是不连通该导气管，该尾气处理单元连通该导气管并处理由该导气管输入的气体，该感测单元包括一个连接该导气管以侦测温度的温度侦测器、一个电连接该温度侦测器及该排气单元的电磁阀的温度警示器、一个连接该导气管以...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建霖，曾伟庭，
申请(专利权)人：汉科系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71