硅片花篮慢提拉装置制造方法及图纸

本申请公开了一种硅片花篮慢提拉装置，包括一抬升装置，所述抬升装置包括水平抬升支架，所述水平抬升支架沿竖直方向移动，所述水平抬升支架顶面支撑有一活动支架，所述活动支架上表面支撑所述硅片花篮，所述活动支架与所述水平抬升支架之间固定安装有活动杆，所述活动杆对称设置于所述活动支架两侧，所述活动杆一端固定于所述活动支架侧面中部靠左或者靠右位置，另一端转动连接于所述水平抬升支架，所述硅片花篮轴向垂直于两所述活动杆连线方向。本发明专利技术的优点在于避免了相邻的两片硅片粘合在一起，这样抬升装置缓慢抬升的话保证了硅片表面水分较少，进入烘干槽后可以快速实现烘干。

Silicon chip basket slow pulling device

The invention discloses a wafer carrier slow pulling apparatus comprises a lifting device, the lifting device comprises a horizontal lifting bracket, moving the horizontal lifting bracket along the vertical direction, the top surface of the support level lifting bracket has a movable support, the movable support on the surface of the silicon wafer support basket with a movable rod fixed between the movable bracket and the level of the uplift bracket, the movable rod are symmetrically arranged on both sides of the movable bracket, one end of the movable rod is fixed on the movable bracket side central left or right position, the other end of the rotating connection on the horizontal lifting bracket, the axis perpendicular to the wafer carrier the direction of the movable rod two line. The advantage of the invention is that the adjacent two pieces of silicon chips are prevented from sticking together. If the lifting device is slowly lifted, it ensures that the moisture on the silicon wafer surface is less, and it can be quickly dried after entering the drying slot.

【技术实现步骤摘要】
硅片花篮慢提拉装置
本申请涉及一种硅片花篮慢提拉装置。
技术介绍
在硅片清洗移动过程中，工装花篮始终处于一个水平状态，花篮中硅片到慢提拉槽中，因为没有超声波作振动作用，在慢提拉提升时，相邻二片硅片处于左右随机状态，有点靠左，有点靠右，虽然有塑料隔板隔开，考虑到间距小原因，偶尔二片会粘在一起，造成后面无法有效烘干，影响硅片质量和生产效率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅片花篮慢提拉装置，以克服现有技术的不足。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案。本申请实施例公开了一种硅片花篮慢提拉装置，包括一抬升装置，所述抬升装置包括水平抬升支架，所述水平抬升支架沿竖直方向移动，所述水平抬升支架顶面支撑有一活动支架，所述活动支架上表面支撑所述硅片花篮，所述活动支架与所述水平抬升支架之间固定安装有活动杆，所述活动杆对称设置于所述活动支架两侧，所述活动杆一端固定于所述活动支架侧面中部靠左或者靠右位置，另一端转动连接于所述水平抬升支架，所述硅片花篮轴向垂直于两所述活动杆连线方向，所述硅片花篮两侧底部分别向外凸伸设置有第一凸部件，所述活动支架两侧分别开设有配合所述第一凸部件的缺口。优选的，在上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片花篮慢提拉装置，其特征在于，包括一抬升装置，所述抬升装置包括水平抬升支架，所述水平抬升支架沿竖直方向移动，所述水平抬升支架顶面支撑有一活动支架，所述活动支架上表面支撑所述硅片花篮，所述活动支架与所述水平抬升支架之间固定安装有活动杆，所述活动杆对称设置于所述活动支架两侧，所述活动杆一端固定于所述活动支架侧面中部靠左或者靠右位置，另一端转动连接于所述水平抬升支架，所述硅片花篮轴向垂直于两所述活动杆连线方向，所述硅片花篮两侧底部分别向外凸伸设置有第一凸部件，所述活动支架两侧分别开设有配合所述第一凸部件的缺口。

【技术特征摘要】
1.一种硅片花篮慢提拉装置，其特征在于，包括一抬升装置，所述抬升装置包括水平抬升支架，所述水平抬升支架沿竖直方向移动，所述水平抬升支架顶面支撑有一活动支架，所述活动支架上表面支撑所述硅片花篮，所述活动支架与所述水平抬升支架之间固定安装有活动杆，所述活动杆对称设置于所述活动支架两侧，所述活动杆一端固定于所述活动支架侧面中部靠左或者靠右位置，另一端转动连接于所述水平抬升支架，所述硅片花篮轴向垂直于两所述活动杆连线方向，所述硅片花篮两侧底部分别向外凸伸设置有第一凸部件，所述活动支架两侧分别开设有配合所述第一凸部件的缺口。2.根据权利要求1所述的硅片花篮慢提拉装置，其特征在于，所述硅片花篮...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏，
申请(专利权)人：张家港市超声电气有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32