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本申请公开了一种硅片花篮慢提拉装置，包括一抬升装置，所述抬升装置包括水平抬升支架，所述水平抬升支架沿竖直方向移动，所述水平抬升支架顶面支撑有一活动支架，所述活动支架上表面支撑所述硅片花篮，所述活动支架与所述水平抬升支架之间固定安装有活动杆，...
该专利属于张家港市超声电气有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过张家港市超声电气有限公司授权不得商用。

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