抛光垫修整器及修整设备制造技术

本发明专利技术提供了一种抛光垫修整器及修整设备，属于化学抛光设备技术领域，该抛光垫修整器包括转动底座、转动轴和壳体组件；转动底座与转动轴的端部连接，壳体组件通过轴承组件与所述转动轴转动连接。通过改变壳体组件的质量，来调节该抛光垫修整器的下压力，以对抛光垫表面进行修整。具有结构简单、控制难度低、下压力可调、维护和维修简易便利的特点，并且无需外加其他动力源的方式对抛光垫进行修整。该修整设备包括导向装置、连接杆和上述的抛光垫修整器；导向装置起到对抛光垫修整器移动方向的引导作用，以便于操作者对抛光垫修整器再抛光垫上的移动位置进行精准调节，进而对抛光垫表面进行修整。

Polishing pad dresser and dressing equipment

The invention provides a polishing pad conditioner and finishing equipment, which belongs to the technical field of chemical polishing device, the polishing pad trimmer comprises a rotating base, a rotating shaft and a housing assembly; a rotary base is connected with the end portion of the rotating shaft through the bearing housing assembly, assembly and the rotating shaft is rotatably connected. The lower pressure of the polishing pad trimmer is adjusted by changing the quality of the shell component to trim the surface of the polishing pad. The utility model has the advantages of simple structure, low control difficulty, adjustable lower pressure, convenient maintenance and repair, and no need for adding other power sources to repair the polishing pad. The trimming apparatus includes a guide device, the connecting rod and the polishing pad conditioner; guiding device to play the guiding role of the pad dresser moving direction, to allow the operator to move the position pad dressing polishing pad for accurate adjustment, and dressing on the surface of the polishing pad.

【技术实现步骤摘要】
抛光垫修整器及修整设备
本专利技术涉及抛光设备
，具体涉及一种抛光垫修整器及修整设备。
技术介绍
化学机械抛光工艺过程中，抛光垫在使用一段时间后，其自身的磨损消耗和形变，以及磨屑物和抛光液研磨颗粒对抛光垫表面微孔的填充,会造成抛光垫表面釉化，抛光垫留存、分配磨料的能力降低，导致材料去除率下降，晶圆平面度变差及最终被抛光表面出现质量问题。因此，在化学机械平坦化工艺中或者空闲时间对抛光垫进行适当修整，对于获得稳定的去除率非常重要，此外，通过对抛光垫的修整，可以保证抛光垫使用寿命和晶圆片间均匀性。化学机械抛光设备是集成电路制造流程中能够实现多种材料全局平坦化的关键工艺设备，其中抛光垫修整器作为设备主要功能结构之一，其功能和稳定性会直接影响化学机械抛光工艺的最终结果。因此随着工艺关键性的不断突出，设备生产商都在此结构的设计上花费更多人力和财力。现有修整器的结构主要是自动修整、压力可调，修整器摆动轨迹及时间可调。因此在抛光盘上方及周围空间都会占用一部分位置以保证所需硬件正常安装，这就从设备整体结构上加大了设备的外形尺寸，软件和电器控制上也会更加复杂，作为关键工艺设备其运行过程中各部件工作的稳定性要求更高，设计及后期维护维修成本较高。因此以上修整器工作方式具有控制难度高、部件结构复杂、维护和维修需要时间长，并且需要整机停工等缺点。
技术实现思路
本专利技术的第一目的在于提供一种抛光垫修整器，该抛光垫修整器具有部件结构简单、控制难度低、下压力可调、维护和维修简易便利的特点，并且无需外加其他动力源的方式对抛光垫进行修整。本专利技术的第二目的在于提供一种修整设备，该修整设备具有抛光垫修整器的优点；同时，利用导向装置起到对抛光垫修整器移动方向的引导作用，以便于操作者对抛光垫修整器再抛光垫上的移动位置进行精准调节，进而对抛光垫表面进行修整。基于上述第一目的，本专利技术提供的抛光垫修整器，包括：转动底座、转动轴和壳体组件；所述转动底座与转动轴的端部连接，以使所述转动底座与所述转动轴能够同步转动；该转动底座在应用时，放置在抛光垫上，抛光垫转动过程中由于摩擦力和相对线速度不同会带动转动底座和转动轴自由转动；所述壳体组件通过轴承组件与所述转动轴转动连接，所述壳体组件能够相对于转动轴转动。由于壳体组件与转动轴采用转动连接方式，底座和转动轴转动时，壳体组件不会产生转动，通过改变壳体组件的质量，来调节该抛光垫修整器的下压力，以对抛光垫表面进行修整。进一步的，所述壳体组件包括外壳和固定盖；所述外壳通过轴承组件与所述转动轴转动连接；所述固定盖与所述外壳远离所述转动底座的端部连接。外壳一方面起到保护转动轴的作用，并且采用轴承组件与转动轴装配，不随转动轴同步转动；另一方面，外壳起到支撑固定盖的作用。固定盖与外壳共同起到对设置在两者组成的内部空间的转动轴、轴承组件等部件起到保护作用；同时，通过改变固定盖的质量，来调节该抛光垫修整器的下压力，以对抛光垫表面进行修整。进一步的，所述固定盖与所述外壳可拆卸连接，以便更换不同质量的固定盖。上述固定盖与外壳之间可拆卸连接，更便于操作者根据不同的下压力的工艺要求，更换不同质量的固定盖，来调节该抛光垫修整器的下压力，以对抛光垫表面进行修整。进一步的，还包括轴承外端盖，该轴承外端盖位于外壳和固定盖组成空间内，所述轴承外端盖装配在所述外壳的内壁和所述轴承组件上。该轴承外端盖具体与轴承组件的外转动圈连接，轴承外端盖能够与壳体同步转动，同时，起到稳定轴承组件的作用。进一步的，还包括轴承内端盖，该轴承内端盖位于外壳和固定盖组成空间内，所述轴承内端盖装配在转动轴和所述轴承组件上。该轴承内端盖具体与轴承组件的内转动圈连接，轴承内端盖能够与转动轴同步转动，同时，起到稳定轴承组件的作用。进一步的，还包括手持部，所述手持部与所述固定盖连接。该手持部便于操作者对抛光垫修整器进行移动。进一步的，所述轴承组件包括第一轴承、第二轴承、以及设置在所述第一轴承和所述第二轴承之间的轴承内隔套和轴承外隔套；所述第一轴承和第二轴承自下至上套接所述转动轴上；所述轴承内隔套分别与所述第一轴承和所述第二轴承的内转动圈相接触。以使第一轴承和所述第二轴承的内转动圈以及轴承内隔套能够同步转动。所述轴承外隔套分别与所述第一轴承和所述第二轴承的外转动圈相接触。以使第一轴承和所述第二轴承的外转动圈以及轴承外隔套能够同步转动。进一步的，所述转动底座包括转动轴底盘、研磨座、圆盘和底座压盖；所述转动轴底盘靠近转动轴的一端与所述转动轴连接，所述转动轴底盘远离所述转动轴的一端与所述研磨座连接；转动轴底盘起到连接转动轴和研磨座的作用，能够使转动轴、转动轴底盘和研磨座同步进行转动；所述圆盘底面与抛光垫相接触，所述圆盘与所述研磨座远离所述转动轴底盘的一端连接；以使圆盘能够与研磨座同步转动；所述底座压盖设置在所述研磨座上，所述底座压盖通过销钉分别连接所述研磨座、转动轴底盘和底座压盖；以使转动轴底盘、研磨座、圆盘和底座压盖和转动轴能够同步转动。底座压盖同时还起到对转动轴底盘的保护作用。基于上述第二目的，本专利技术提供的一种修整设备，包括导向装置、连接杆和上述的抛光垫修整器；所述导向装置通过连接杆与所述抛光垫修整器相连接。导向装置起到对抛光垫修整器移动方向的引导作用，以便于操作者对抛光垫修整器再抛光垫上的移动位置进行精准调节，进而对抛光垫表面进行修整。进一步的，所述导向装置包括导轨和滑块，所述滑块套接在所述导轨上，所述滑块能够沿所述导轨长度方向移动，所述滑块通过连接杆与所述抛光垫修整器相连接。该导向装置具有结构简单、操作方便的特点。本专利技术提供的抛光垫修整器包括转动底座、转动轴和壳体组件；转动底座与转动轴的端部连接，以使转动底座与所述转动轴能够同步转动；该转动底座在应用时，放置在抛光垫上，抛光垫转动过程中由于摩擦力和相对线速度不同会带动转动底座和转动轴自由转动；壳体组件通过轴承组件与所述转动轴转动连接，所述壳体组件能够相对于转动轴转动。由于壳体组件与转动轴采用转动连接方式，底座和转动轴转动时，壳体组件不会产生转动，通过改变壳体组件的质量，来调节该抛光垫修整器的下压力，以对抛光垫表面进行修整。针对现有技术中自动化修正方式机械结构复杂、控制难、维护和维修困难，并且需要整机停工等缺点的问题，该抛光垫修整器采用手动方式，具有部件结构简单、控制难度低、下压力可调、维护和维修简易便利的特点，并且无需外加其他动力源的方式对抛光垫进行修整。本专利技术提供的修整设备，包括导向装置、连接杆和上述的抛光垫修整器；导向装置通过连接杆与抛光垫修整器相连接。该修整设备具有抛光垫修整器的优点；同时，导向装置起到对抛光垫修整器移动方向的引导作用，以便于操作者对抛光垫修整器再抛光垫上的移动位置进行精准调节，进而对抛光垫表面进行修整。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例一提供的抛光垫修整器的结构示意图；图2为为本专利技术实施例二提供的修整设备的结构示意图；图3为本专利技术抛光垫修整器的修整本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抛光垫修整器，其特征在于，包括：转动底座、转动轴和壳体组件；所述转动底座与转动轴的端部连接，以使所述转动底座与所述转动轴能够同步转动；所述壳体组件通过轴承组件与所述转动轴转动连接，所述壳体组件能够相对于转动轴转动。

【技术特征摘要】
1.一种抛光垫修整器，其特征在于，包括：转动底座、转动轴和壳体组件；所述转动底座与转动轴的端部连接，以使所述转动底座与所述转动轴能够同步转动；所述壳体组件通过轴承组件与所述转动轴转动连接，所述壳体组件能够相对于转动轴转动。2.根据权利要求1所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述壳体组件包括外壳和固定盖；所述外壳通过轴承组件与所述转动轴转动连接；所述固定盖与所述外壳远离所述转动底座的端部连接。3.根据权利要求2所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述固定盖与所述外壳可拆卸连接，以便于更换不同质量的固定盖。4.根据权利要求2所述的抛光垫修整器，其特征在于，还包括轴承外端盖，所述轴承外端盖装配在所述外壳的内壁和所述轴承组件上。5.根据权利要求2所述的抛光垫修整器，其特征在于，还包括轴承内端盖，所述轴承内端盖装配在转动轴和所述轴承组件上。6.根据权利要求2所述的抛光垫修整器，其特征在于，还包括手持部，所述手持部与所述固定盖连接。7.根据权利要求1-6任一项所述的抛光垫修整器，其特征在于，所述轴承组件包括第一轴承、第二轴承...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹阳，姜家宏，李婷，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11