【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学，尤其是涉及一种显微镜照明组件及显微镜。
技术介绍
1、显微镜在各种领域被广泛应用，是了解微观世界的重要工具。目前，需要观察测量的物体已经达到微纳米的尺度，图形之间的对准的要求也已经达到微纳的级别。
2、为了满足高精度图像测量与图像对准，出现了仰视显微镜，如图1所示，示出了一种目前常用的仰视显微镜。该仰视显微镜包括管镜、照明系统和物镜，其中，管镜、照明系统和物镜均设置于预定轴线上，照明系统包括反射镜且其提供的平行光经过反射镜反射到物镜模块，并经过物镜模块照射在物体表面，而后由物体表面往回反射，再次经过物镜、反射镜和管镜成像在相机的靶面上。
3、该仰视显微镜虽然满足了高精度图像测量与图像对准的需求，但是由于照明系统所占空间过大，使得仰视显微镜整体不够紧凑，但是在进行观察与图像对准时往往需要较大的移动空间，因而照明系统所占空间使得仰视显微镜出现了较大的使用局限性。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种显微镜照明组件及显微镜，以在一定程度上解决现有技术...
【技术保护点】
1.一种显微镜照明组件，其特征在于，包括第一透镜组件、反射镜和半透半反镜；
2.根据权利要求1所述的显微镜照明组件，其特征在于，所述第一透镜组件包括至少一个第一透镜，所述第一透镜的直径为9-15mm。
3.根据权利要求2所述的显微镜照明组件，其特征在于，所述第一透镜组件还包括安装部；
4.根据权利要求1所述的显微镜照明组件，其特征在于，所述反射镜与所述半透半反镜平行设置；
5.根据权利要求1所述的显微镜照明组件，其特征在于，还包括滤光片，所述滤光片设置于所述第一轴线，且位于所述第一透镜组件背离于所述反射镜的一侧。
...【技术特征摘要】
1.一种显微镜照明组件，其特征在于，包括第一透镜组件、反射镜和半透半反镜；
2.根据权利要求1所述的显微镜照明组件，其特征在于，所述第一透镜组件包括至少一个第一透镜，所述第一透镜的直径为9-15mm。
3.根据权利要求2所述的显微镜照明组件，其特征在于，所述第一透镜组件还包括安装部；
4.根据权利要求1所述的显微镜照明组件，其特征在于，所述反射镜与所述半透半反镜平行设置；
5.根据权利要求1所述的显微镜照明组件，其特征在于，还包括滤光片，所述滤光片设置于所述第一轴线，且位于所述第一透镜组件背离于所述反射镜的一侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘冰鑫，李康平，朱朋旭，王振宇，王超，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：
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