一种太阳能电池干法制绒的弹片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种太阳能电池干法制绒的弹片装置，包括其设置在放置有线性等离子源的腔体内，腔体内还设置有集尘盒、驱使载板线性运行的滚轮、安装座、安装在安装座上的弹片，安装座的底部通过导电连接装置连接至外部接地低频电源以与弹片形成电连接；弹片在复位状态下的顶端水平位置高于滚轮的顶端水平位置；当载板通过时，弹片产生弹性变形并提供恒定的弹力以持续接触载板的下表面。该实用新型专利技术采用弹片以使运动状态中的载板和低频电源导通而增强等离子体对硅片的物理轰击，保证硅片制绒的效果；弹片采用铝材质，以抗离子轰击并保证和载板间的良好导通及保持良好弹性；通过集尘盒有效收集刻蚀过程的废尘，方便清理，提高了生产效率。

A shrapnel device for dry making of solar cells

The utility model discloses a solar cell device shell dry texturing, comprises a cavity which is provided with a linear plasma source placed within the cavity is provided with a dust collecting box, drive roller, shrapnel carrier plate linear operation installation seat, mounted on the mounting seat, the bottom of the mounting seat is connected to an external grounding low frequency power supply with shrapnel electrically connected through a conductive connection device; the top level in the reset state is higher than the top level of the spring roller position; when the carrier plate by shrapnel, elastic deformation and elastic constant to continue under the contact surface of the carrier plate. The utility model uses the shrapnel to make motion of a carrier plate and a low frequency power supply and conduction of silicon plasma enhanced physical bombardment, ensure the silicon texturing effect; elastic sheet made of aluminum material, with a good guide and guarantee against ion bombardment and carrier plate between the pass and keep good elasticity; easy to clean the dust. The dust collection box effective etching process, improve production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池干法制绒的弹片装置
本技术属于太阳能电池生产
，涉及一种太阳能电池干法制绒技术，特别涉及一种太阳能电池干法制绒的弹片装置。
技术介绍
太阳能电池制造近年来得到了飞速发展，利用晶硅太阳能发电在全世界已经有250GW的电站安装容量。为了使太阳能发电更具有商业优势，业界在不断寻求技术革新，使光电转换效率更高，生产成本更低，环境影响最小。干法制绒是最近才开始产业化的一种技术，它利用真空中化学刻蚀的方法，把原光滑硅片表面在纳米级粗糙化，使入射光在硅表面的反射率从30%降低到10%以下，相比于传统的湿法（在溶液中）制绒，反射率只能到达20%左右，而且避免了使用强酸或强碱制绒，不仅减少污染环境，而且降低了成本。由于反射率降低，表面颜色发黑，所以俗称“黑硅”。授权公告号为CN102534622B的中国技术专利公开了一种“在晶硅太阳能电池片表面制绒的方法”，该方法具体的工艺步骤如下：①自动传送装置带动硅片载板，通过硅片上料将需刻蚀硅片置于硅片载板上；②载有硅片的硅片载板在自动传输装置的带动下经过平行放置的线性等离子源，载有硅片的硅片载板在自动传输装置的带动下在真空中按一定速度经过线本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池干法制绒的弹片装置，其设置在放置有线性等离子源的腔体内，其特征在于，所述腔体内还设置有：对应设置在所述线性等离子源下方以用于驱使载板线性运行的滚轮，以及弹性导电结构；所述弹性导电结构包括对应所述载板线性运行方向设置的安装座，每侧所述安装座的上端设置有至少一个弹性导电体，所述安装座的底部通过导电连接装置连接至外部接地电源以与所述弹性导电体形成电连接；所述弹性导电体在复位状态下的顶端水平位置高于所述滚轮的顶端水平位置；当所述载板通过时，所述弹性导电体产生弹性变形并提供恒定的弹力以持续接触所述载板的下表面。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池干法制绒的弹片装置，其设置在放置有线性等离子源的腔体内，其特征在于，所述腔体内还设置有：对应设置在所述线性等离子源下方以用于驱使载板线性运行的滚轮，以及弹性导电结构；所述弹性导电结构包括对应所述载板线性运行方向设置的安装座，每侧所述安装座的上端设置有至少一个弹性导电体，所述安装座的底部通过导电连接装置连接至外部接地电源以与所述弹性导电体形成电连接；所述弹性导电体在复位状态下的顶端水平位置高于所述滚轮的顶端水平位置；当所述载板通过时，所述弹性导电体产生弹性变形并提供恒定的弹力以持续接触所述载板的下表面。2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池干法制绒的弹片装置，其特征在于，所述弹性导电体为弹片或弹簧。3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池干法制绒的弹片装置，其特征在于，所述弹性导电体为弹片。4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池干法制绒的弹片装置，其特征在于，所述弹片的截面呈锐角夹角或垂直夹角并通过一侧水平安装在所述安装座上并使锐角朝向所述载板线性运行的方向，且复位状态下所述弹片的最高点水平位置高于所述滚轮最高点水平位置，当所述载板通过时，所述弹片产生弹性变形而形成锐角夹角并提供...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱海剑，上官泉元，
申请(专利权)人：常州比太科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32