蓝宝石部件、及蓝宝石部件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种蓝宝石部件，其特征在于，其是以蓝宝石为主成分且具备与蓝宝石晶体的C面平行的主面的蓝宝石部件，在上述主面的至少一部分区域配置多个平台结构层，所述平台结构层具有与蓝宝石晶体的C面平行的平台面、和与上述平台面的边缘线抵接的侧面，在从与上述主面垂直的方向俯视时，在上述区域配置有多个彼此不平行的曲线状的上述边缘线。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蓝宝石部件、及蓝宝石部件的制造方法
本专利技术涉及一种蓝宝石部件、及蓝宝石部件的制造方法。
技术介绍
就作为氧化铝的单晶的蓝宝石而言，其晶体晶格常数接近成为LED元件的材料的氮化镓(GaN)，并且被广泛地用作用于制成LED元件的GaN晶体的生长用基板。用作GaN晶体的生长用基板的蓝宝石基板不仅表面(主面)被高精度地平坦化，而且例如出于使为了抑制GaN等晶体的位错缺陷的缓冲层有效地生长的目的，有时还使用在主面形成有凹凸的蓝宝石基板、主面被适度粗面化的蓝宝石基板。例如在日本特开平11-274568号公报(专利文献1)中公开了在主面形成有凹部的蓝宝石基板。在专利文献1中记载了：通过利用反应性离子蚀刻对主面进行加工来形成凹部、或者通过使用较粗糙的研磨磨粒的机械性研磨来对主面进行粗面化。
技术实现思路
本实施方式的蓝宝石部件以蓝宝石为主成分，且具备沿着蓝宝石晶体的C面的平行的主面。在该主面的至少一部分区域配置有多个平台结构层，所述平台结构层具有沿着上述C面的平台面、和与该平台面的边缘线抵接的侧面。另外，上述蓝宝石部件的制造方法具有：加工工序，得到具有沿着蓝宝石晶体的C面的主面的基材；加热工序，将上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石部件，其特征在于，其是以蓝宝石为主成分且具备沿着蓝宝石晶体的C面的主面的蓝宝石部件，在所述主面的至少一部分区域配置有多个平台结构层，所述平台结构层具有沿着所述C面的平台面、和与该平台面的边缘线抵接的侧面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.26 JP 2015-0637351.一种蓝宝石部件，其特征在于，其是以蓝宝石为主成分且具备沿着蓝宝石晶体的C面的主面的蓝宝石部件，在所述主面的至少一部分区域配置有多个平台结构层，所述平台结构层具有沿着所述C面的平台面、和与该平台面的边缘线抵接的侧面。2.根据权利要求1所述的蓝宝石部件，其特征在于，所述平台面具备比1μm见方的正方形大的平坦部。3.根据权利要求2所述的蓝宝石部件，其特征在于，所述平台面具备比5μm见方的正方形大的平坦部。4.根据权利要求1～3中任一项所述的蓝宝石部件，其特征在于，在所述主面的俯视中，具备闭合曲线状的圆周边缘，周长长的第一圆周边缘不交叉地围绕周长短的第二圆周边缘。5.根据权利要求4所述的蓝宝石部件，其特征在于，所述第二圆周边缘位于所述第一圆周边缘的上侧。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：奥村雅弘，加藤真也，尾崎嘉秀，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP