一种有机发光显示面板，其显示装置及其制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显示技术领域，尤其涉及一种有机发光显示面板，其显示装置及其制作方法。有机发光显示面板包含：基板、显示层和薄膜封装层，薄膜封装层至少包括依次设置的第一无机层和第一有机层，第一无机层的表面粗糙度为0.01nm～0.99nm，至少在第一无机层和第一有机层之间设置有结合层，结合层为设置有通孔和/或盲孔的无机物层，且通孔和/或盲孔内填充有第一有机层的材料，从而显著增强了第一无机层和第一有机层之间的粘结性，避免了膜层之间剥离现象的发生。

Organic light emitting display panel, display device and manufacturing method thereof

The invention relates to the display technology field, in particular to an organic light emitting display panel, a display device and a manufacturing method thereof. The organic light emitting display panel comprises a substrate, display layer and thin film encapsulation layer, thin film encapsulation layer at least comprises a first inorganic layer and a first organic layer, the surface of the first inorganic layer roughness is 0.01nm ~ 0.99nm, between at least a first inorganic layer and a first organic layer is provided with a combining layer, bonding layer are arranged the inorganic layer through holes and / or blind hole, and the through holes and / or blind hole filled with the first organic layer material, and significantly enhances the adhesion between the first inorganic layer and a first organic layer, avoid the film between the peeling phenomenon.

【技术实现步骤摘要】
一种有机发光显示面板，其显示装置及其制作方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种有机发光显示面板，其显示装置及其制作方法。
技术介绍
有机发光二极管器件(OLED，OrganicLightEmittingDiode)由于其自身具有发光的功能，与传统的液晶显示器相比，具有更低的功耗，同时还拥有高亮度和高响应速度，并且可以制成柔性显示，已经成为显示领域目前的主流器件。空气中的水汽和氧气对OLED器件的寿命影响很大。因此需要对OLED器件进行有效封装，使OLED器件与大气中的水汽、氧气等成分充分隔离，可以大大延长OLED器件的寿命，从而可以延长包括OLED器件的显示装置的使用寿命。相关技术在对OLED器件进行封装时，通常会在待封装OLED器件上沉积至少一组薄膜封装层，其中，每组薄膜封装层包括一层有机层和一层无机层。薄膜封装层一般通过等离子体增强化学气相沉积法(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，PECVD)、原子层沉积法(AtomicLayerDeposition，ALD)、旋涂法(Spin-Coating)、印刷法(Printering)等方法制成，与其他方法相比，ALD膜层(由ALD法制备的膜层)在更薄的情况下具有更好的阻隔水氧的能力。然而ALD膜层具有较致密的膜层结构，使有机层和无机层之间的粘附性不好，在层间容易发生剥离现象。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供一种有机发光显示面板、有机发光显示面板的制作方法以及有机发光显示装置。第一方面，本专利技术实施例提供一种有机发光显示面板，包含：基板；显示层，设置在所述基板上；薄膜封装层，设置于所述显示层背离所述基板的一侧；所述薄膜封装层至少包括依次设置的第一无机层和第一有机层；所述第一无机层的表面粗糙度为0.01～0.99nm；至少在所述第一无机层和所述第一有机层之间设置有结合层，所述结合层为设置有通孔和/或盲孔的无机物层，且所述通孔和/或所述盲孔内填充有所述第一有机层的材料。第二方面，本专利技术实施例还提供一种有机发光显示装置，包含上述第一方面所述的显示面板。第三方面，本专利技术实施例还提供一种有机发光显示面板的制备方法，包含以下步骤：制备一基板；在所述基板上形成显示层；在所述显示层背离所述基板的一侧形成薄膜封装层；形成所述薄膜封装层至少包括：采用原子层沉积的方式形成第一无机层；在所述第一无机层上形成具有通孔和/或盲孔的结合层；在所述结合层上形成所述第一有机层，所述第一有机层的材料填充于所述通孔和/或所述盲孔内。本专利技术实施例的技术方案至少具有以下有益的效果：本专利技术实施例在有机发光显示面板的显示层上设置薄膜封装层，由于通过原子层沉积方式形成第一无机层的表面粗糙度为0.01nm～0.99nm，因而与第二无机层之间的粘结性较差，易发生剥离的现象。本专利技术实施例通过在第一无机层和第一有机层之间设置结合层，结合层为设置有通孔和/或盲孔的无机物层，且通孔和/或盲孔内填充有第一有机层的材料；待第一有机层的材料固化后，第一有机层就会牢固的结合于结合层上，从而显著增强了第一无机层和第一有机层之间的粘结性，避免了膜层之间剥离现象的发生。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种有机发光显示面板的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的另一种有机发光显示面板的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的一种第一有机层填充结合层的结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的一种显示装置的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的一种有机发光显示面板制作方法的流程示意图；图6为本专利技术实施例提供的一种薄膜封装层制作方法的流程示意图；图7为本专利技术实施例提供的另一种薄膜封装层制作方法的流程示意图；1-基板；2-显示层；3-薄膜封装层；31-第一无机层；32-结合层；321-盲孔；322-通孔；33-第一有机层；34-第二无机层；10-有机发光显示面板。具体实施方式为了更好的理解本专利技术的技术方案，下面结合附图对本专利技术实施例进行详细描述。应当明确，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本专利技术。在本专利技术实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。本专利技术实施例涉及一种有机发光显示面板，其结构示意图如图1所示，由图1可知，有机发光显示面板包含一基板1；基板1上设置有用于发光的显示层2。基板，包括衬底基板和阵列层，阵列层包括多个薄膜晶体管；薄膜晶体管TFT包括半导体有源层，半导体有源层包括通过掺杂N型杂质离子或P型杂质离子而形成的源极区域和漏极区域。在源极区域和漏极区域之间的区域是其中不掺杂离子的沟道区域。显示层，设置在基板上；显示层可以是现有的有机发光显示层中的任一种结构，例如可以包括阳极层、设置于阳极层上的有机发光层以及设置于有机发光层上的阴极层等，在此不予赘述。薄膜封装层3设置于显示层2背离基板1的一侧，薄膜封装层3至少包括依次设置的第一无机层31和第一有机层33。由于第一无机层31一般采用原子层沉积(ALD)的方法制备，因此第一无机层31的表面非常致密和光滑，通常条件下表面粗糙度Ra<1nm。正因如此，第一无机层31与第一有机层33之间的粘结力较差，易于发生剥离的现象。本专利技术经过锐意研究，通过至少在第一无机层31和第一有机层33之间设置结合层32，结合层32为设置有通孔和/或盲孔的无机物层，且通孔和/或盲孔内填充有第一有机层的材料。图3为本专利技术实施例提供的一种第一有机层填充结合层的结构示意图。由图3可知，结合层32内可以分布有盲孔321、通孔322，通孔322和盲孔321内填充有第一有机层33的材料，需要说明的是，通孔为贯穿结合层的孔，盲孔为没有贯穿结合层的孔，结合层32可以同时具有盲孔321、通孔322，或者只有通孔322、也可以只有盲孔321，图3中以结合层同时具有盲孔321和通孔322为例进行说明。本专利技术实施例在结合层中设置通孔可以增大第一有机层和结合层的结合性能，改善第一无机层和第一有机层间的剥离。在结合层中设置盲孔，在增加第一有机层和结合层间的粘附性的同时，由于结合层未被盲孔穿透，所以结合层的致密性对水氧有更一步的阻挡作用，改善封装效果。在采用原子层沉积的方法制备得到的第一无机层，在第一无机层表面再制备一层无机材料的结合层，结合层与第一无机层表面之间的结合非常牢固和紧密，且通孔和/或盲孔内填充有第一有机层的材料；第一有机层与结合层之间的接触面积呈几何倍增长，同时由于孔的不规则性，在结合层内发生分支、偏转、弯折或相互连通，或者形成开口小而底部大的孔结构，待第一有机层的材料固化后，使每一个通孔和/或盲孔内填充有第一有机层的材料就像手一样牢牢地“抓住”层间结合层，从而将本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机发光显示面板，其特征在于，所述有机发光显示面板包含：基板；显示层，设置在所述基板上；薄膜封装层，设置于所述显示层背离所述基板的一侧；所述薄膜封装层至少包括依次设置的第一无机层和第一有机层；所述第一无机层的表面粗糙度为0.01nm～0.99nm；至少在所述第一无机层和所述第一有机层之间设置有结合层，所述结合层为设置有通孔和/或盲孔的无机物层，且所述通孔和/或所述盲孔内填充有所述第一有机层的材料。

【技术特征摘要】
1.一种有机发光显示面板，其特征在于，所述有机发光显示面板包含：基板；显示层，设置在所述基板上；薄膜封装层，设置于所述显示层背离所述基板的一侧；所述薄膜封装层至少包括依次设置的第一无机层和第一有机层；所述第一无机层的表面粗糙度为0.01nm～0.99nm；至少在所述第一无机层和所述第一有机层之间设置有结合层，所述结合层为设置有通孔和/或盲孔的无机物层，且所述通孔和/或所述盲孔内填充有所述第一有机层的材料。2.根据权利要求1所述的有机发光显示面板，其特征在于，所述盲孔的开口方向朝向所述第一有机层。3.根据权利要求1所述的有机发光显示面板，其特征在于，所述结合层的厚度为10nm～1μm。4.根据权利要求1所述的有机发光显示面板，其特征在于，所述结合层的孔隙率为30％～90％。5.根据权利要求1所述的有机发光显示面板，其特征在于，所述通孔的孔径为1nm～100nm，所述盲孔的孔径为1nm～100nm。6.根据权利要求5所述的有机发光显示面板，其特征在于，所述通孔的孔径为2nm～50nm，所述盲孔的孔径为2nm～50nm。7.根据权利要求1所述的有机发光显示面板，其特征在于，所述第一无机层包含氧化硅、氧化铝、氮化硅、氮氧化硅、碳氧化硅中的至少一种。8.根据权利要求1所述的有机发光显示面板，其特征在于，所述薄膜封装层还包括第二无机层，所述第二无机层设置于所述第一有机层背离所述第一无机层的一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：金健，李针英，苏聪艺，
申请(专利权)人：上海天马有机发光显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31