一种显影设备及其摆动喷淋装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种显影设备的摆动喷淋装置，包括并行排列的多个喷淋管和分别设置于多个喷淋管相对两侧的第一支撑座和第二支撑座，所述多个喷淋管的第一端的端面设置有第一连接支架，第二端的端面设置有第二连接支架，所述第一连接支架和第二连接支架分别与所述多个喷淋管相互紧固连接；所述第一连接支架紧固地连接有第一驱动支架，所述第二连接支架紧固地连接有第二驱动支架，所述第一驱动支架通过第一驱动轴连接到所述第一支撑座，所述第二驱动支架通过第二驱动轴连接到所述第二支撑座；其中，所述第一驱动轴和第二驱动轴驱动所述多个喷淋管在所述第一支撑座和第二支撑座之间往复摆动。本发明专利技术还公开一种显影设备，其包括如上所述的摆动喷淋装置。

Developing device and swinging spraying device thereof

The invention discloses a swing spraying device a developing device, comprising a plurality of spray pipe arranged in parallel and are respectively arranged on a plurality of spray pipe to opposite sides of the first support and a second support seat, a first end face of the plurality of spray pipe is provided with a first connecting bracket, second end face is provided with second the connecting bracket, the first bracket and the second bracket are respectively connected with the plurality of spray pipes which are firmly connected; the first connecting bracket is tightly connected with a first drive bracket, the second bracket is tightly connected with second drive bracket, the first bracket driven by a first driving shaft connected to the the first supporting seat, the second drive bracket through the drive shaft second is connected to the second supporting seat; wherein the first drive shaft and second driven shaft driving the plurality of spray The pipe is swung back and forth between the first supporting seat and the second supporting seat. The invention also discloses a developing device, which comprises a swing spraying device as described above.

【技术实现步骤摘要】
一种显影设备及其摆动喷淋装置
本专利技术涉及液晶显示器制造过程中的生产设备，尤其涉及一种显影设备及其摆动喷淋装置。
技术介绍
薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD，ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay)工艺可分为三大流程，第一段为阵列基板及彩膜基板的工艺，第二段为配向、液晶填充与封合面板工艺；第三段则为偏光片、背光片与面板组装的液晶显示模块。其中，阵列基板和彩膜基板的工艺中包含多个清洗、曝光显影的步骤，需要使用到清洗机、显影机等湿式设备。对于显影设备，现有技术一般采用喷淋式的显影设备，该显影设备通常包括具有传输功能的固定基座以及设置在该固定基座上方的喷淋装置，在进行显影时，可以将曝光完成的基板放置在固定基座上，同时喷淋装置向基板表面喷淋显影液。通常地，显影设备中的喷淋装置采用水平摆动的喷淋装置，在喷淋显影液中，喷淋装置可以在水平面内摆动，以使显影液的喷洒更加均匀。如图1所示，现有的摆动喷淋装置包括沿第一方向并行排列的多个喷淋管1，多个喷淋管1上设置有多个连接支架2，多个连接支架2沿与第一方向垂直的第二方向上并行排列，每个连接支架2连接所有的喷本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影设备的摆动喷淋装置，包括并行排列的多个喷淋管和分别设置于所述多个喷淋管相对两侧的第一支撑座和第二支撑座，其特征在于，所述多个喷淋管的第一端的端面设置有第一连接支架，所述多个喷淋管的第二端的端面设置有第二连接支架，所述第一连接支架和所述第二连接支架分别与所述多个喷淋管相互紧固连接；所述第一连接支架紧固地连接有第一驱动支架，所述第二连接支架紧固地连接有第二驱动支架，所述第一驱动支架通过第一驱动轴连接到所述第一支撑座，所述第二驱动支架通过第二驱动轴连接到所述第二支撑座；其中，所述第一驱动轴和所述第二驱动轴驱动所述多个喷淋管在所述第一支撑座和第二支撑座之间往复摆动。

【技术特征摘要】
1.一种显影设备的摆动喷淋装置，包括并行排列的多个喷淋管和分别设置于所述多个喷淋管相对两侧的第一支撑座和第二支撑座，其特征在于，所述多个喷淋管的第一端的端面设置有第一连接支架，所述多个喷淋管的第二端的端面设置有第二连接支架，所述第一连接支架和所述第二连接支架分别与所述多个喷淋管相互紧固连接；所述第一连接支架紧固地连接有第一驱动支架，所述第二连接支架紧固地连接有第二驱动支架，所述第一驱动支架通过第一驱动轴连接到所述第一支撑座，所述第二驱动支架通过第二驱动轴连接到所述第二支撑座；其中，所述第一驱动轴和所述第二驱动轴驱动所述多个喷淋管在所述第一支撑座和第二支撑座之间往复摆动。2.根据权利要求1所述的显影设备的摆动喷淋装置，其特征在于，所述多个喷淋管的第一端设置有第一密封组件，所述第一密封组件用于密封所述第一连接支架、多个喷淋管以及第一驱动支架之间的连接位置，所述多个喷淋管的第二端设置有第二密封组件，所述第二密封组件用于密封所述第二连接支架、多个喷淋管以及第二驱动支架之间的连接位置。3.根据权利要求2所述的显影设备的摆动喷淋装置，其特征在于，所述第一连接支架和所述第二连接支架通过螺纹紧固件分别与所述喷淋管相互紧固连接；所述第一驱动支架通过螺纹紧固件与所述第一连接支架相互...

【专利技术属性】
技术研发人员：李超，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42