彩膜基板瑕疵修复装置及修复方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种彩膜基板瑕疵修复装置，包括承载平台、设于承载平台上方的至少一组行走装置、设于行走装置上的激光源、墨水喷嘴以及紫外光源，所述激光源、墨水喷嘴以及紫外光源与承载平台相对。本发明专利技术还提供了一种修复方法，包括：对瑕疵部位通过激光进行刻蚀，形成裸露部；对裸露部填充光阻材料；通过紫外光源进行固化形成填充体。与现有技术相比，通过激光源、墨水喷嘴以及紫外光源对瑕疵处依次进行激光刻蚀、注入光阻材料、固化从而完成对瑕疵部位进行修复，不仅操作简单，而且修复效果好，在提高了修复的成功率同时改善面板修复后检测的良率。

Defect repairing device and repairing method for color film substrate

The invention provides a color film substrate defect repair device comprises a bearing platform, a bearing platform above the at least one group is arranged on the walking device, walking device of laser source, the ink nozzle and the UV light, the laser source, the ink nozzle and the UV light source and relative bearing platform. The invention also provides a repair method, including: etching the defective parts by laser, forming the exposed part; filling the photoresist material on the exposed part; solidifying the ultraviolet light source to form the filling body. Compared with the prior art, the laser source, ink nozzle and UV source of defects in laser etching, into the resist material, thus completing the curing of defective parts repair, not only has the advantages of simple operation, good repair effect, improve the success rate of repairing and improving the yield of panel after repair detection.

【技术实现步骤摘要】
彩膜基板瑕疵修复装置及修复方法
本专利技术涉及一种显示面板技术，特别是一种彩膜基板瑕疵修复装置及修复方法。
技术介绍
完美的视觉效果来源于优质的屏幕，人们从未停止研究&优化屏幕的生产工艺。其中彩膜基板(CF基板)中的具有色阻层的一面与阵列基板相对，而为了对色阻层进行保护以及配向等要求，会在彩色滤光片(CF)制程中通过保护层(OC，Overcoat)对CF制程中的全覆盖膜层，瑕疵(Defect)好发率是黑色矩阵(BM，BlackMatrix)、色阻(RGB)、隔离子(PS，photospacer)的3倍以上，若对已发Defect不能得到有效修补，将会影响面板的配向、液晶旋转模式及响应速率，在最终产品体现为点类不良，产品判定不通过。目前，传统的保护层瑕疵修复方法为研磨，其修补成功率约50％；研磨不均匀或不足导致Defect高度超过规定；而研磨过量会破坏Defect周围色阻和保护层，如何能够更好的对瑕疵进行修复，是业界正在研究的课题之一。
技术实现思路
为克服现有技术的不足，本专利技术提供一种彩膜基板瑕疵修复装置及修复方法，提高修复成功率，改善面板修复后的良率。本专利技术提供了一种彩膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种彩膜基板瑕疵修复装置，其特征在于：包括承载平台(1)、设于承载平台(1)上方的至少一组行走装置(2)、设于行走装置(2)上的激光源(3)、墨水喷嘴(4)以及紫外光源(5)，所述激光源(3)、墨水喷嘴(4)以及紫外光源(5)与承载平台(1)相对，所述行走装置(2)可在承载平台(1)表面上方行走；所述激光源(3)用于将彩膜基板表面的瑕疵进行刻蚀；所述墨水喷嘴(4)用于对刻蚀处填充光阻材料；紫外光源(5)用于将光阻材料进行固化。

【技术特征摘要】
1.一种彩膜基板瑕疵修复装置，其特征在于：包括承载平台(1)、设于承载平台(1)上方的至少一组行走装置(2)、设于行走装置(2)上的激光源(3)、墨水喷嘴(4)以及紫外光源(5)，所述激光源(3)、墨水喷嘴(4)以及紫外光源(5)与承载平台(1)相对，所述行走装置(2)可在承载平台(1)表面上方行走；所述激光源(3)用于将彩膜基板表面的瑕疵进行刻蚀；所述墨水喷嘴(4)用于对刻蚀处填充光阻材料；紫外光源(5)用于将光阻材料进行固化。2.根据权利要求1所述的彩膜基板瑕疵修复装置，其特征在于：所述行走装置(2)包括第一行走机构(21)以及第二行走机构(22)，所述第一行走机构(21)驱动第二行走机构(22)沿承载平台(1)表面的X轴方向移动，第二行走机构(22)带动激光源3、墨水喷嘴(4)以及紫外光源(5)沿承载平台(1)表面的Y轴方向移动。3.根据权利要求2所述的彩膜基板瑕疵修复装置，其特征在于：所述第一行走机构(21)和第二行走机构(22)为直线电机。4.根据权利要求1所述的彩膜基板瑕疵修复装置，其特征在于：所述行走装置(2)设有三组，分别为第一行走装置(6)、第二行走装置(7)、第三行走装置(8)，所述第一行走装置(6)用...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗俊，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42