基板热干燥设备制造技术

本发明专利技术提供了一种基板热干燥设备，包括壳体，在壳体的相对两侧分别设有一进口和一出口，所述壳体内设有输送基板的输送机构，输送机构的两端穿过进口以及出口，在壳体内设有支架，所述支架上位于传送机构的上下两侧上分别设有至少一个通过驱动电机驱动转动的滚筒，滚筒的轴线与输送机构的输送方向垂直并且与输送机构的表面平行，滚筒的转动方向与输送机构的输送方向相反；所述滚筒内缠绕有用于加热的发热元件，所述发热元件与设于滚筒上的电热控制器连接，所述滚筒与输送机构之间设有间隙，在壳体上还设有排气管。与现有技术相比，从而降低发尘和异物的产生，避免对基板造成影响。

Substrate hot drying equipment

The invention provides a substrate thermal drying equipment, which comprises a shell, on opposite sides of shell are respectively provided with an inlet and an outlet, wherein the casing is provided with a conveying mechanism for conveying substrate, both ends of the conveying mechanism through the import and export, the bracket is arranged in the shell, wherein the support is located on both sides of the transfer mechanism are respectively arranged on at least one of the driving roller drive motor rotates, the surface of the conveying direction roller axis and the vertical conveying mechanism and conveying mechanism parallel to the conveying direction of a rotation direction and conveying mechanism are opposite; the drum is wrapped in the heating element for heating, the heating element and the electric controller a roller connecting gap is arranged between the roller and the conveying mechanism is also arranged on the casing body exhaust pipe. Compared with the existing technology, the dust and foreign matter can be reduced, and the influence on the substrate can be avoided.

【技术实现步骤摘要】
基板热干燥设备
本专利技术涉及一种显示面板技术，特别是涉及一种基板热干燥设备。
技术介绍
现阶段用于湿法工艺(Wet)的设备(例如清洗剂和显影机)作为LCD(液晶显示面板)/LTPS(低温多晶硅技术)的彩膜工艺制程中重要的制程设备，无论是能够满足生产中要求的特性值(CD)接近设计的水准，还是对产品品质(异物、Mura(波纹)等)的提升，是每个液晶面板工厂必争环节。目前无论是清洗机还是显影机这类设备，大体的设备结构都已经定型，而且从成本角度出发，大多数细小的缺陷不会被作为采购中的指标，或者在实际生产中才能实践出其真的问题点。在CF(彩色滤光片)工艺中，其工艺生产中使用的主要设备为清洗机和显影机。而一般在清洗或显影后都会利用光照或热风进行液体的去除干燥，然后进过热干燥装置，进行二次干燥，其中清洗机和显影机的热干燥装置有两种，一种是利用红外灯关进行干燥，均一性好，但是由于利用的是面干燥，发尘较严重，对基板或制成造成二次瑕疵(defect)；另一种是通过风刀吹热风进行干燥，利用的是线干燥，发尘较轻，但是由于利用的是加热的压缩干燥空气(CDA)，对加热装置和压缩干燥空气来源要求高压缩干燥空气和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板热干燥设备，其特征在于：包括壳体(7)，在壳体(7)的相对两侧分别设有一进口(71)和一出口(72)，所述壳体(7)内设有输送基板的输送机构(1)，输送机构(1)的两端穿过进口(71)以及出口(72)，在壳体(7)内设有支架(8)，所述支架(8)上位于传送机构(1)的上下两侧上分别设有至少一个通过驱动电机(4)驱动转动的滚筒(2)，滚筒(2)的轴线与输送机构(1)的输送方向垂直并且与输送机构(1)的表面平行，滚筒(2)的转动方向与输送机构(1)的输送方向相反；所述滚筒(2)内缠绕有用于加热的发热元件(3)，所述发热元件(3)与设于滚筒(2)上的电热控制器(6)连接，所述滚筒(2)与输送...

【技术特征摘要】
1.一种基板热干燥设备，其特征在于：包括壳体(7)，在壳体(7)的相对两侧分别设有一进口(71)和一出口(72)，所述壳体(7)内设有输送基板的输送机构(1)，输送机构(1)的两端穿过进口(71)以及出口(72)，在壳体(7)内设有支架(8)，所述支架(8)上位于传送机构(1)的上下两侧上分别设有至少一个通过驱动电机(4)驱动转动的滚筒(2)，滚筒(2)的轴线与输送机构(1)的输送方向垂直并且与输送机构(1)的表面平行，滚筒(2)的转动方向与输送机构(1)的输送方向相反；所述滚筒(2)内缠绕有用于加热的发热元件(3)，所述发热元件(3)与设于滚筒(2)上的电热控制器(6)连接，所述滚筒(2)与输送机构(1)之间设有间隙(5)，在壳体(7)上还设有排气管(18)。2.根据权利要求1所述的基板热干燥设备，其特征在于：两个滚筒(2)上设有可沿传送机构(1)的两侧表面垂直移动的调节机构，所述调节机构用于调节间隙(5)。3.根据权利要求2所述的基板热干燥设备，其特征在于：所述调节机构包括一对导轨(9)、第一步进电机(10)、第二步进电机(11)以及齿条(12)，所述导轨(9)分别设于支架(8)上与滚筒(2)两端相对的一侧上，导轨(9)与滚筒(2)的轴线垂直，第一步进电机(10)、第二步进电机(11)设置在与其中一侧导轨(9)位置相对应处，第一步进电机(10)和第二步进电机(11)设置在相同的一侧上，齿条(12)设置在支架(8)上与第一步进电机(10)、第二步进电机(11)相邻的导轨(9)旁，齿条(12)与导轨(9)平行，所述导轨(9)分别具有两个滑块，其中一个滑块与其中一个滚筒(2)连接固定，另一个滑块与另一个滚筒(2)连接固定，所述第一步进电机(10)固定在其中一个滚筒(2)上，第二步进电机(11)固定在另一个滚...

【专利技术属性】
技术研发人员：马海买提，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42