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本发明提供了一种基板热干燥设备，包括壳体，在壳体的相对两侧分别设有一进口和一出口，所述壳体内设有输送基板的输送机构，输送机构的两端穿过进口以及出口，在壳体内设有支架，所述支架上位于传送机构的上下两侧上分别设有至少一个通过驱动电机驱动转动的滚...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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