膜厚测试装置及方法、蒸镀设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种膜厚测试装置及方法、蒸镀设备。膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，该膜厚测试装置包括驱动单元、传送单元和测试单元,驱动单元与传送单元连接，测试单元与传送单元连接；驱动单元用于驱动传送单元向靠近或远离工艺腔室的方向移动；传送单元用于当传送单元向靠近工艺腔室的方向移动时带动测试单元进入对应的工艺腔室中以使测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当传动单元向远离工艺腔室的方向移动时带动测试单元退出对应的工艺腔室。本发明专利技术优化了生产排程，节省了膜厚测试时间，增加了生产产能，节省了膜材料的消耗以及降低了蒸发源堵孔的风险，从而提高了连续生产时的生产可靠度。

Film thickness testing device and method and evaporation equipment

The invention provides a film thickness testing device and method, and a steaming equipment. Film thickness measuring device corresponding to a process chamber, the film thickness measuring device comprises a drive unit, transmission unit and test unit, driving unit and transmission unit connected test unit and a conveying unit connection; driving unit for moving the drive transmitting unit to near or far from the process chamber; the process chamber drives the transmission unit for testing when the corresponding unit enters the transmission unit to move close to the direction of the process chamber to the test unit for testing membrane in the process chamber in the corresponding evaporation, and when the drive unit to move away from the direction of the process chamber drives the process chamber to exit the corresponding test unit. The invention optimizes the production schedule, saves the film thickness test time, increases the production capacity, saves the consumption of the membrane material, and reduces the risk of the plugging of the evaporation source, thus improving the production reliability in the continuous production.

【技术实现步骤摘要】
膜厚测试装置及方法、蒸镀设备
本专利技术涉及显示
，特别涉及一种膜厚测试装置及方法、蒸镀设备。
技术介绍
在有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode,简称OLED)的蒸镀设备中，通常采用蒸发源和镀率侦测器的组合方式，来控制在生产过程中的有机膜层的厚度。在工艺生产的过程中，通过传送装置将硅片或白玻璃等载体传入工艺腔体中，蒸发源将有机材料蒸镀到载体上以在载体上形成有机膜层，传送装置再将载体传出工艺腔体，而后通过测量装置进行膜厚测量，并根据测量结果修正蒸发源的镀率参数，以达到对所蒸镀的有机膜层的厚度的准确性和均匀性的调整。但在对某个蒸发源所蒸镀的膜厚进行测试过程中，通常需要将蒸镀设备停止生产以空出传送载体的路径，并且需要停止其他蒸发源的蒸发工作，例如，通过蒸发源盖板将蒸发源盖上，以使蒸发源的蒸发工作停止，从而才能逐一检测各个蒸镀源的所蒸镀的膜厚的均匀性和准确性，直到逐一检测完所有的蒸发源后才能恢复蒸镀设备的生产。因此，现有技术中，生产排程较复杂，膜厚测试消耗的时间较长，影响了生产产能，也增加了不必要的有机材料的消耗，提高了蒸发源堵孔的风险，从而降低了连续生产时的生产可靠度。
技术实现思路
本专利技术提供一种膜厚测试装置及方法、蒸镀设备，用于优化生产排程，节省膜厚测试时间，增加生产产能，节省膜材料的消耗以及降低蒸发源堵孔的风险，从而提高连续生产时的生产可靠度。为实现上述目的，本专利技术提供了一种膜厚测试装置，所述膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，所述膜厚测试装置包括驱动单元、传送单元和测试单元,所述驱动单元与所述传送单元连接，所述测试单元与所述传送单元连接；所述驱动单元，用于驱动所述传送单元向靠近或远离所述工艺腔室的方向移动；所述传送单元，用于当所述传送单元向靠近所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元进入对应的工艺腔室中以使所述测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当所述传动单元向远离所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元退出对应的工艺腔室。可选地，所述传送单元包括伸缩结构，所述伸缩结构内部中空，所述伸缩结构的一端与所述测试单元的一端连接且所述测试单元位于所述伸缩结构中，所述伸缩结构的另一端与对应的工艺腔室对接；所述驱动单元用于驱动所述伸缩结构伸缩以使所述伸缩结构的一端向靠近或远离所述工艺腔室的方向移动；所述伸缩结构用于当一端向靠近所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元进入对应的工艺腔室中以使所述测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当一端向远离所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元退出对应的工艺腔室。可选地，所述伸缩结构的一端上设置有盖板，所述测试单元的一端固定于所述盖板上且位于所述伸缩结构中。可选地，所述膜厚测试装置还包括进气单元和排气单元，所述进气单元与所述伸缩结构连通，所述排气单元与所述伸缩结构连通；所述进气单元用于控制所述伸缩结构与外界空气之间的隔离或连通；所述排气单元用于将所述伸缩结构内的气体排出，以使所述伸缩结构内的真空度与对应的工艺腔室的真空度一致。可选地，所述传送单元还包括第一连接结构和第二连接结构，所述第一连接结构的一端与所述伸缩结构的一端固定且连通，所述第一连接结构的另一端与盖板的一端固定，所述第二连接结构的一端与所述伸缩结构另一端固定且连通，所述第二连接结构的另一端与对应的工艺腔室对接；所述进气单元与所述第一连接结构连通，所述排气单元与所述第二连接结构连通。可选地，所述膜厚测试装置还包括开关单元，所述开关单元的一端与所述第二连接结构的另一端连接，所述开关单元的另一端与对应的工艺腔室对接；所述开关单元用于控制所述伸缩结构与对应的工艺腔室之间的连通或隔离。可选地，所述测试单元包括工具条和基板，所述基板的一侧固定于所述工具条上，所述工具条的一端固定于所述传送单元的一端且位于所述传送单元中，所述基板的另一侧用于蒸镀所述测试膜。可选地，所述驱动单元为传动螺杆，所述传动螺杆设置于所述传送单元的外部的两侧且与所述传送单元连接；所述传动螺杆传动以驱动所述传送单元向靠近或远离所述工艺腔室的方向移动。可选地，所述伸缩结构为波纹管。为实现上述目的，本专利技术还提供了一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括多个工艺腔室，每个工艺腔室对应一个膜厚测试装置，所述膜厚测试装置采用上述权利要求1至8任一所述的膜厚测试装置。为实现上述目的，本专利技术还提供了一种膜厚测试方法，所述膜厚测试方法基于膜厚测试装置，所述膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，所述膜厚测试装置包括驱动单元、传送单元和测试单元,所述驱动单元与所述传送单元连接，所述测试单元与所述传送单元连接；所述膜厚测试方法包括：所述驱动单元驱动所述传送单元向靠近所述工艺腔室的方向移动；所述传送单元带动所述测试单元进入对应的工艺腔室中以使所述测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀；所述驱动单元驱动所述传动单元向远离所述工艺腔室的方向移动；所述传送单元带动所述测试单元退出对应的工艺腔室。可选地，所述膜厚测试装置还包括进气单元、排气单元和开关单元，所述传送单元包括盖板、伸缩结构、第一连接结构和第二连接结构，所述伸缩结构内部中空，所述测试单元的一端固定于所述盖板上且位于所述伸缩结构中，所述第一连接结构的一端与所述伸缩结构的一端固定且连通，所述第一连接结构的另一端与所述盖板的一端固定，所述伸缩结构的另一端与所述第二连接结构的一端固定且连通，所述第二连接结构的另一端与所述开关单元的一端连接，所述开关单元的另一端与对应的工艺腔室对接，所述进气单元与所述第一连接结构连通，所述排气单元与所述第二连接结构连通，以使所述进气单元与所述伸缩结构连通，所述排气单元与所述伸缩结构连通；所述驱动单元驱动所述传送单元向靠近所述工艺腔室的方向移动之前还包括：所述进气单元控制所述伸缩结构与外界空气之间隔离；所述排气单元将所述伸缩结构内的气体排出，以使所述伸缩结构内的真空度与对应的工艺腔室的真空度一致；所述开关单元控制所述伸缩结构与对应的工艺腔室之间连通；所述传送单元带动所述测试单元移动，以使所述测试单元在所述测试膜蒸镀完成后退出对应的工艺腔室之后还包括：所述开关单元控制所述伸缩结构与对应的工艺腔室之间隔离；所述进气单元控制所述伸缩结构与外界空气之间连通。本专利技术的有益效果：本专利技术所提供的膜厚测试装置及方法、蒸镀设备中，膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，驱动单元用于驱动传送单元向靠近或远离工艺腔室的方向移动，传送单元用于当传送单元向靠近工艺腔室的方向移动时带动测试单元进入对应的工艺腔室中以使测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当传动单元向远离工艺腔室的方向移动时带动测试单元退出对应的工艺腔室。在实际应用中，仅需要在生产过程中使蒸镀设备中断少许的时间即可同时对所有待测试的蒸发源所蒸镀的膜进行检测，无需停止蒸发源的蒸发工作，从而优化了生产排程，节省了膜厚测试时间，增加了生产产能，节省了膜材料的消耗以及降低了蒸发源堵孔的风险，从而提高了连续生产时的生产可靠度。附图说明图1为本专利技术实施例一提供的一种膜厚测试装置的结构示意图；图2为图1中的开关单元的结构示意图；图3为图1中的测试单元的结构示意图；图4为图1中的测试单元进入工艺腔室中进行测试膜的蒸镀的状态示意图；图5本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种膜厚测试装置，其特征在于，所述膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，所述膜厚测试装置包括驱动单元、传送单元和测试单元,所述驱动单元与所述传送单元连接，所述测试单元与所述传送单元连接；所述驱动单元，用于驱动所述传送单元向靠近或远离所述工艺腔室的方向移动；所述传送单元，用于当所述传送单元向靠近所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元进入对应的工艺腔室中以使所述测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当所述传动单元向远离所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元退出对应的工艺腔室。

【技术特征摘要】
1.一种膜厚测试装置，其特征在于，所述膜厚测试装置对应于一个工艺腔室，所述膜厚测试装置包括驱动单元、传送单元和测试单元,所述驱动单元与所述传送单元连接，所述测试单元与所述传送单元连接；所述驱动单元，用于驱动所述传送单元向靠近或远离所述工艺腔室的方向移动；所述传送单元，用于当所述传送单元向靠近所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元进入对应的工艺腔室中以使所述测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当所述传动单元向远离所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元退出对应的工艺腔室。2.根据权利要求1所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述传送单元包括伸缩结构，所述伸缩结构内部中空，所述伸缩结构的一端与所述测试单元的一端连接且所述测试单元位于所述伸缩结构中，所述伸缩结构的另一端与对应的工艺腔室对接；所述驱动单元用于驱动所述伸缩结构伸缩以使所述伸缩结构的一端向靠近或远离所述工艺腔室的方向移动；所述伸缩结构用于当一端向靠近所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元进入对应的工艺腔室中以使所述测试单元在对应的工艺腔室中进行测试膜的蒸镀，以及当一端向远离所述工艺腔室的方向移动时带动所述测试单元退出对应的工艺腔室。3.根据权利要求2所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述伸缩结构的一端上设置有盖板，所述测试单元的一端固定于所述盖板上且位于所述伸缩结构中。4.根据权利要求3所述的膜厚测试装置，其特征在于，还包括进气单元和排气单元，所述进气单元与所述伸缩结构连通，所述排气单元与所述伸缩结构连通；所述进气单元用于控制所述伸缩结构与外界空气之间的隔离或连通；所述排气单元用于将所述伸缩结构内的气体排出，以使所述伸缩结构内的真空度与对应的工艺腔室的真空度一致。5.根据权利要求4所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述传送单元还包括第一连接结构和第二连接结构，所述第一连接结构的一端与所述伸缩结构的一端固定且连通，所述第一连接结构的另一端与盖板的一端固定，所述第二连接结构的一端与所述伸缩结构另一端固定且连通，所述第二连接结构的另一端与对应的工艺腔室对接；所述进气单元与所述第一连接结构连通，所述排气单元与所述第二连接结构连通。6.根据权利要求5所述的膜厚测试装置，其特征在于，还包括开关单元，所述开关单元的一端与所述第二连接结构的另一端连接，所述开关单元的另一端与对应的工艺腔室对接；所述开关单元用于控制所述伸缩结构与对应的工艺腔室之间的连通或隔离。7.根据权利要求1所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述测试单元包括工具条和基板，所述基板的一侧固定于所述工具...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏志玮，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11