硅片线切割机制造技术

本发明专利技术公开了一种硅片线切割机，包括框架、切割室、线筒室，所述切割室内设有切割头和收放线轮工装，所述线筒室，包括主板、收放线轮单元、分别设于收放线轮下方的两个导线轮工装、与导线轮工装相连的导线轮工装移动座、两个横移架、两个张力臂电机、与张力臂电机相连的张力臂、设于所述张力臂下端的张力臂导向轮，所述横移架水平设置。本发明专利技术优化导向轮排布结构，线筒安装方式为卧式安装，卧式安装排线负荷均匀，导轮数量减少，导线轮个数减少先增大钢线的破断张力，使进入线网的张力波动变小；线筒跳动小，排线更加稳定，张力臂运行时摆臂稳定。本发明专利技术有效监测断线，减少断线造成的线网拉空等损失。

Silicon wire cutting machine

The invention discloses a wafer line cutting machine, which comprises a frame, cutting room, line tube chamber, the cutting chamber is provided with a cutting head and a take-up wheel tooling, the line of the cylinder chamber, including motherboards, take-up wheel unit, are respectively arranged on the take-up wheel below two wire wheel tooling, and the wire wheel tooling connected wire wheels tooling mobile seat, two transverse frame, two tension arm motor, and the tension arm connected to the motor and the tension arm is arranged on the lower end of the tension arm tension arm guide wheel, the sliding frame level set. The optimization arrangement of guide wheel, reel for horizontal installation installation, horizontal installation of uniform load, reduce the number of guide wire wheels, reducing the number of broken steel wire tension increases, the tension fluctuation in line network becomes small; cable reel beating is small, more stable, a stable swing arm arm operation. The invention effectively monitor network disconnection, reduce the loss caused by the breaking of the air pull.

【技术实现步骤摘要】
硅片线切割机
本专利技术属于硅片线切割
，特别涉及一种硅片线切割机。
技术介绍
传统的硅片线切割设备，线筒安装方式为立式安装，线轮重量大，排线行程大，线筒跳动大；线筒室小导轮立式排线，排线在上升过程中阻力增大，导轮数量较多；硅片线切割设备的切割头，两根主辊轴间距比较宽，比较宽的中心距宽，不稳定，容易断线，切割效率低。
技术实现思路
为解决现有技术和实际情况中存在的上述问题，本专利技术提供了一种硅片线切割机，包括框架、设于框架前部的切割室、位于切割室后面的线筒室，所述切割室内设有切割头和收放线轮工装，所述线筒室，包括主板、收放线轮单元、分别设于收放线轮下方的两个导线轮工装、与导线轮工装相连的导线轮工装移动座、两个横移架、两个张力臂电机、与张力臂电机相连的张力臂、设于所述张力臂下端的张力臂导向轮，所述横移架水平设置，所述横移架下部设有水平导线轮工装移动座滑轨，所述导线轮工装移动座可沿所述滑轨横向移动；所述导线轮工装包括配重块、连接座、固定支架、导向轮支撑座、收放线导向轮Ⅲ、传感器、连接轴，所述固定支架用于导线轮工装固定于导线轮工装移动座，与固定支架相连设有连接座，所述连接座的另一侧设有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片线切割机，其特征在于，包括框架、设于框架前部的切割室、位于切割室后面的线筒室，所述切割室内设有切割头和收放线轮工装，所述线筒室，包括主板、收放线轮单元、分别设于收放线轮下方的两个导线轮工装、与导线轮工装相连的导线轮工装移动座、两个横移架、两个张力臂电机、与张力臂电机相连的张力臂、设于所述张力臂下端的张力臂导向轮，所述横移架水平设置，所述横移架下部设有水平导线轮工装移动座滑轨，所述导线轮工装移动座可沿所述滑轨横向移动；所述导线轮工装包括配重块、连接座、固定支架、导向轮支撑座、收放线导向轮Ⅲ、传感器、连接轴，所述固定支架用于导线轮工装固定于导线轮工装移动座，与固定支架相连设有连接座，所述连...

【技术特征摘要】
1.一种硅片线切割机，其特征在于，包括框架、设于框架前部的切割室、位于切割室后面的线筒室，所述切割室内设有切割头和收放线轮工装，所述线筒室，包括主板、收放线轮单元、分别设于收放线轮下方的两个导线轮工装、与导线轮工装相连的导线轮工装移动座、两个横移架、两个张力臂电机、与张力臂电机相连的张力臂、设于所述张力臂下端的张力臂导向轮，所述横移架水平设置，所述横移架下部设有水平导线轮工装移动座滑轨，所述导线轮工装移动座可沿所述滑轨横向移动；所述导线轮工装包括配重块、连接座、固定支架、导向轮支撑座、收放线导向轮Ⅲ、传感器、连接轴，所述固定支架用于导线轮工装固定于导线轮工装移动座，与固定支架相连设有连接座，所述连接座的另一侧设有配重块，与连接座相连接固定支架下面设有导向轮支撑座，与导向轮支撑座相连接安装有收放线导向轮Ⅲ，所述传感器位于导向轮支撑座与收放线导向轮Ⅲ相对，所述收放线导向轮Ⅲ与传感器之间通过连接轴相连；所述张力臂电机位于线筒室主板后方，两个所述张力臂导向轮分别位于两个收放线导向轮Ⅲ右侧，所述张力臂上设有张力臂传感器，所述张力臂上部外面设有张力臂盒11；所述收放线轮工装设有收放线导向轮Ⅰ、收放线导向轮Ⅱ，所述收放线导向轮Ⅰ高于收放线导向轮Ⅱ，所述收放线导向轮Ⅰ、收放线导向轮Ⅱ的位置分别与右侧的收放线导向轮Ⅲ、张力臂导向轮的位置相应；切割线依次通过上方收放线轮、上方收放线导向轮、上方张力臂导向轮收放线导向轮Ⅰ进入切割室，切割线通过收放线导向轮Ⅱ、下方张力臂导向轮、下方收放线导向轮、下方收放线轮由切割室引出。2.根据权利要求1所述的硅片线切割机，其特征在于，所述收放线轮工装，包括收放线导向轮Ⅰ、导向轮支撑块Ⅰ、导向轮支撑块调节座Ⅰ、调节座、收放线导向轮Ⅱ、导向轮支撑块Ⅱ、导向轮支撑块调节座Ⅱ、导向轮固定支架Ⅰ、导向轮固定支架Ⅱ、导轨，所述导向轮固定支架Ⅰ高于导向轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：李磊，
申请(专利权)人：江阴市展照科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32