下载硅片线切割机的技术资料

文档序号:16623679

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本发明公开了一种硅片线切割机,包括框架、切割室、线筒室,所述切割室内设有切割头和收放线轮工装,所述线筒室,包括主板、收放线轮单元、分别设于收放线轮下方的两个导线轮工装、与导线轮工装相连的导线轮工装移动座、两个横移架、两个张力臂电机、与张力臂...
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