The present invention relates to the technical field of polysilicon production equipment, cleaning device for polysilicon production equipment and the public, including cleaning tank, cleaning the outer groove bottom is fixedly connected with the ring, the middle ring through a placing plate on the surface of the placing plate is fixedly connected with the ultrasonic device, a fixing rod connected with the placing plate at the bottom of the bottom end of the fixing rod is fixedly connected with the base, both ends of the base are fixedly connected with the longitudinal supporting frame, the top end of the longitudinal supporting frame is fixedly connected with the fixing frame, the fixing frame is fixed in the middle is connected with a stirring motor. Cleaning device of the polysilicon production equipment, by setting the ultrasonic device, cleaning solvent for cleaning tank ultrasonic vibrator produces strong vibration, increase the contact strength of solvent and production equipment, to better cleaning effect for more production equipment of the dead, to avoid the use of acid solvent cleaning of production equipment caused by corrosion.
【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产设备的清洗装置
本专利技术涉及多晶硅生产设备
,具体为一种多晶硅生产设备的清洗装置。
技术介绍
多晶硅,是单质硅的一种形态,熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。在多晶硅生产过程中,油分子、灰尘等污垢,对多晶硅的危害十分严重,实际证明,整个工艺系统几ppm的油含量就可能造成多晶硅反应速度减慢,产量降低,甚至硅反应停止,因此,在设备清洗过程中,对污垢进行清洗十分必要。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种多晶硅生产设备的清洗装置,具备清洗效果好的优点,解决了现有设备清洗效果不佳的问题。(二)技术方案为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种多晶硅生产设备的清洗装置,包括清洗槽,所述清洗槽底端的外侧固定连接有圆环,所述圆环的中部贯穿有放置板,所述放置板的上表面固定连接有超声波装置,所述放置板的底部固定连接有固定杆,所述固定杆的底端固定连接有底座,所述底座的两端均固定连接有纵向支撑架,所述纵向支撑架的顶端固定连 ...
【技术保护点】
一种多晶硅生产设备的清洗装置,包括清洗槽(1),其特征在于:所述清洗槽(1)底端的外侧固定连接有圆环(3),所述圆环(3)的中部贯穿有放置板(4),所述放置板(4)的上表面固定连接有超声波装置(12),所述放置板(4)的底部固定连接有固定杆(11),所述固定杆(11)的底端固定连接有底座(19),所述底座(19)的两端均固定连接有纵向支撑架(2),所述纵向支撑架(2)的顶端固定连接有固定架(5),所述固定架(5)的中部固定连接有搅拌电机(6),所述搅拌电机(6)的输出轴固定连接有搅拌转轴(8),所述搅拌转轴(8)的表面固定连接有连接杆(9),所述连接杆(9)的一端固定连接有 ...
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产设备的清洗装置,包括清洗槽(1),其特征在于:所述清洗槽(1)底端的外侧固定连接有圆环(3),所述圆环(3)的中部贯穿有放置板(4),所述放置板(4)的上表面固定连接有超声波装置(12),所述放置板(4)的底部固定连接有固定杆(11),所述固定杆(11)的底端固定连接有底座(19),所述底座(19)的两端均固定连接有纵向支撑架(2),所述纵向支撑架(2)的顶端固定连接有固定架(5),所述固定架(5)的中部固定连接有搅拌电机(6),所述搅拌电机(6)的输出轴固定连接有搅拌转轴(8),所述搅拌转轴(8)的表面固定连接有连接杆(9),所述连接杆(9)的一端固定连接有清洁刷(10),所述放置板(4)底端的中部固定连接有固定块(13),所述固定块(13)的表面固定连接有电机(14),所述底座(19)的中部设置有旋转盘(16),所述旋转盘(16)的上表面固定连接有固定台(15),所述旋转盘(16)的中心固定连接有转轴(17),所述电机(14)的输出轴固定连接有贯穿于固定台(...
【专利技术属性】
技术研发人员:张靖,田晓军,姚兴平,李素琴,张何,严磊,
申请(专利权)人:江苏新潮光伏能源发展有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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