一种涂布检测修复装置及其方法制造方法及图纸

一种涂布检测修复装置以及其对应的方法，检测单元与修复单元都集成于涂布机上，作为一个涂布‑检测‑修复的整体机台使用。当涂布机完成涂布工作后，检测单元采用微区透光率的手段对安放于涂布机上的承载基板和柔性基板进行检测，辨别并定位柔性基板中的气泡或粒子异物的存在；修复单元采用微波对检测定位的气泡进行局部加热，使气泡膨胀并移动至柔性基板表面溢出，并对需要后续修复或规避的缺陷进行标记定位，利用本装置的制造方法可以提高柔性显示屏制备的良品率，降低制造风险。

Coating detection and repair device and method thereof

A coating device and a method for the detection and repair corresponding to the detection unit and repair unit are integrated in the coating machine, a coating machine used as a whole detection repair. Dangtu cloth coating machine to complete the work, inspection unit by micro transmittance means to detect the bearing substrate and flexible substrate placed on the coating machine, identifying and positioning flexible substrate in the presence of foreign matter particles or bubbles; repair unit with bubble of microwave on detection and localization of local heating, the bubble expansion and move the surface of the flexible substrate to overflow, and mark position of defects need subsequent repair or avoidance, using the method of manufacturing the device can improve the yield rate of the preparation of flexible displays, reduce manufacturing risks.

【技术实现步骤摘要】
一种涂布检测修复装置及其方法
本专利技术属于柔性显示装置制备领域，尤其涉及AMOLED屏幕的制备。
技术介绍
柔性显示装置，尤其是AMOLED屏幕的制备中，柔性基板是其中至关重要的基础部分。作为承载基板，它需要具有很好的平整度、耐弯折性、耐高温特性、抗腐蚀性以及很好的阻隔水氧的特性。在柔性基板通常采用的制备过程中，涂布工序产生的气泡往往是最多的，例如原液中本身存在的但是过程中没有完全去除的气泡，以及涂布过程中基板上的异物造成的气泡等，直径较大的气泡和原液中本身存在的或者在柔性基板涂布过程中引入的直径较大的异物粒子一样，在后续的高温成膜、退火或者准分子激光晶化对a-Si结晶的过程中，很难再利用基板清洗等手段除去，也很难被后续气相沉积的无机膜层或者其他涂布的有机膜层完全覆盖，容易作为能量集中的“奇点”造成严重的破埙或者烧蚀，使得基板无法起到水氧阻隔的作用，同时对后续的支撑机台也会引入污染源，增加制程风险，甚至影响设备安全。因此，对柔性基板涂布过程中的粒子污染以及气泡的存在需要严密的监控。现有的检测手段，是采用自动光学检测机(AOI)，利用CCD扫描技术对所谓缺陷进行检测。但此种检测方法效本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布检测修复装置，其特征在于，检测单元集成在涂布机上，采用微区透光率的方法，对放置于涂布机上的待检测产品进行检测，所述待检测产品包括承载基板和贴合至所述承载基板表面的柔性基板，所述检测单元包括光源、光学模块、积分球和光谱仪，所述光学模块将所述光源发出的光垂直入射到所述柔性基板表面，所述光透过所述柔性基板和承载基板后被所述积分球收集，再由所述积分球传输给所述光谱仪对光量进行分析，以判定承载基板和柔性基板之间是否存在缺陷。

【技术特征摘要】
1.一种涂布检测修复装置，其特征在于，检测单元集成在涂布机上，采用微区透光率的方法，对放置于涂布机上的待检测产品进行检测，所述待检测产品包括承载基板和贴合至所述承载基板表面的柔性基板，所述检测单元包括光源、光学模块、积分球和光谱仪，所述光学模块将所述光源发出的光垂直入射到所述柔性基板表面，所述光透过所述柔性基板和承载基板后被所述积分球收集，再由所述积分球传输给所述光谱仪对光量进行分析，以判定承载基板和柔性基板之间是否存在缺陷。2.根据权利要求1所述的一种涂布检测修复装置，其特征在于，所述光源为高亮氙灯或高压汞灯。3.根据权利要求1所述的一种涂布检测修复装置，其特征在于，所述光学模块为准直或者聚焦模块。4.根据权利要求1所述的一种涂布检测修复装置，其特征在于，所述光谱仪为宽光谱仪。5.根据权利要求1所述的一种涂布检测修复装置，其特征在于，该涂布检测修复装置还包括集成于所述涂布机上的修复单元，所述修复单元用于发射微波，通过所述微波对检测到的所述缺陷进行修复。6.根据权利要求5所述的一种涂布检测修复装置，其特征在于，所述修复单元还包括微波发生器、功率调制单元、微波分束装置和微波发射天线，所述功率调制单元将所述微波发生器产生的微波能量维持一定时序，所述时序内发出的所述微波经所述微波分束装置调制后由所述微...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘哲，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42