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一种涂布检测修复装置以及其对应的方法,检测单元与修复单元都集成于涂布机上,作为一个涂布‑检测‑修复的整体机台使用。当涂布机完成涂布工作后,检测单元采用微区透光率的手段对安放于涂布机上的承载基板和柔性基板进行检测,辨别并定位柔性基板中的气泡或...该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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一种涂布检测修复装置以及其对应的方法,检测单元与修复单元都集成于涂布机上,作为一个涂布‑检测‑修复的整体机台使用。当涂布机完成涂布工作后,检测单元采用微区透光率的手段对安放于涂布机上的承载基板和柔性基板进行检测,辨别并定位柔性基板中的气泡或...