一种缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法技术

本发明专利技术提出一种缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法，包括下列步骤：在缺陷检测机台的检测程式内预设缺陷图形像素化处理后的形貌特征；利用缺陷检测机台对晶圆进行缺陷扫描生成晶圆缺陷图形；对晶圆缺陷图形进行缺陷图形像素化处理；将处理结果与检测程式内预设的形貌特征进行对比；确定晶圆缺陷预分类结果并发送报告。本发明专利技术提出的缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法，所要解决的技术问题是使缺陷检测机台能自动高效，精确的通过图形运算处理区分缺陷形貌，在缺陷扫描过程中就能对缺陷进行自动分类并报告出来从而方便工程人员分析缺陷更有针对性节省时间提高工作效率。

Automatic defect pre classification report method for defect detection machine

The invention provides an automatic defect classification method of pre report a defect detection machine, which comprises the following steps: the default morphology defects of image pixels after the treatment in the detection program of defect detection machine; pattern defect scanning of the wafer by wafer defect formation of wafer defect defect detection machine; graphics graphics processing defect pixel; comparing the morphology of presupposition and detection processing results in a program; determine the classification results of wafer defect and send pre report. Automatic defect classification method for defect detection machine pre report provided by the invention, the technical problem to be solved is the defect detection machine can automatically and efficiently, accurately by graphics processing can distinguish the defect morphology, the defect classification and report out so as to facilitate the engineering staff to analyze defects more targeted to save time and improve work efficiency the defects in the scanning process.

【技术实现步骤摘要】
一种缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法
本专利技术涉及半导体集成电路制造领域，且特别涉及一种缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法。
技术介绍
先进的集成电路制造工艺一般都包含几百步的工序，任何环节的微小错误都将导致整个芯片的失效，特别是随着电路关键尺寸的不断缩小，其对工艺控制的要求就越严格，所以在实际的生产过程中为能及时发现和解决问题都需要配置有高灵敏度光学缺陷检测设备对产品进行在线检测，以精确定位缺陷存在的位置。缺陷检测的基本工作原理是将芯片上的光学图像转换化成为由不同亮暗灰阶表示的数据图像，再通过相邻芯片上的数据图形特征的比较来检测有异常的缺陷所在位置。缺陷检测设备可以对芯片上物理缺陷的数据图像特征进行收集分类，在扫描的同时将获得的缺陷分成各种类型，但是目前这种分类方式生成的缺陷类别的准确性是比较低的。目前业内缺陷检测机台采用的缺陷预分类方法是在机台检测程式中人为设定缺陷尺寸，明暗度，分布区域等大致范围对缺陷进行简单预分类，该方法在检测机台检测完成后无法区别缺陷具体形貌故对具有特殊形貌特征的缺陷无法精确分类，随着工艺线宽不断缩小，影响良率缺陷数量也相应增多，在缺陷数量庞大时常规本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法，其特征在于，包括下列步骤：在缺陷检测机台的检测程式内预设缺陷图形像素化处理后的形貌特征；利用缺陷检测机台对晶圆进行缺陷扫描生成晶圆缺陷图形；对晶圆缺陷图形进行缺陷图形像素化处理；将处理结果与检测程式内预设的形貌特征进行对比；确定晶圆缺陷预分类结果并发送报告。

【技术特征摘要】
1.一种缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法，其特征在于，包括下列步骤：在缺陷检测机台的检测程式内预设缺陷图形像素化处理后的形貌特征；利用缺陷检测机台对晶圆进行缺陷扫描生成晶圆缺陷图形；对晶圆缺陷图形进行缺陷图形像素化处理；将处理结果与检测程式内预设的形貌特征进行对比；确定晶圆缺陷预分类结果并发送报告。2.根据权利要求1所述的缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法，其特征在于，所述缺陷图形像素化处理为获取缺陷中心像素点和边界像素点数据。3.根据权利要求2所述的缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法，其特征在于，所述检测程式内预设的形貌特征包括点状缺陷、线性缺陷、圆形缺陷和不规则多边形缺陷。4.根据权利要求3所述的缺陷检...

【专利技术属性】
技术研发人员：何广智，顾晓芳，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31