温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提出一种缺陷检测机台的自动缺陷预分类报告方法，包括下列步骤：在缺陷检测机台的检测程式内预设缺陷图形像素化处理后的形貌特征；利用缺陷检测机台对晶圆进行缺陷扫描生成晶圆缺陷图形；对晶圆缺陷图形进行缺陷图形像素化处理；将处理结果与检测程式内...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。